一种连续式原子层沉积设备的制作方法

本发明涉及原子层沉积，具体涉及一种连续式原子层沉积设备。

背景技术：

1、是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处，但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。

2、在先技术中，原子层沉积的过程需要经过加温、反应镀膜和降温三个步骤，目前反应腔室往往设置在一个壳体中，壳体设置有开关门，通过人工将基体放入和去除反应腔中进行镀膜，一次只能实现一个镀膜工艺，并且不能连续生产，降低了反应腔室的利用率，生产效率极其低下，为此提出一种连续式原子层沉积设备。

技术实现思路

1、本发明的目的在于：为解决一次只能实现一个镀膜工艺，并且不能连续生产的问题，本发明提供了一种连续式原子层沉积设备。

2、本发明为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

3、一种连续式原子层沉积设备，包括底板，所述底板上设置有用于进行原子层沉积的加工组件，所述加工组件上设置有用于遮挡的滑动组件，所述底板上设置有用于对产品位置进行移动的移动组件，所述移动组件上设置有用于取出产品的伸缩组件，所述加工组件上设置有用于对产品进行保护的防护组件，所述加工组件内部设置有用于对产品进行固定的夹持组件。

4、进一步地，所述底板顶部固定连接有多个引导条。

5、进一步地，所述加工组件包括多个第一固定箱和第二固定箱，所述第一固定箱分布在第二固定箱两侧，且第一固定箱、第二固定箱与底板相连接，所述第一固定箱一侧均转动连接有转动板，所述第一固定箱相对面一侧均开设有通孔，所述通孔贯穿第二固定箱，所述第一固定箱、第二固定箱底部均固定连接有工作台。

6、进一步地，所述滑动组件包括多个固定罩，所述固定罩分别与第一固定箱和第二固定箱线连接，所述固定罩外侧均固定连接有电动机，所述电动机输出端安装有第一齿轮，所述第一齿轮外侧啮合有第一齿条，所述第一齿条底部均固定连接有挡板，且挡板与通孔相对应，所述挡板两侧均滑动连接有挡条，且挡条分别与第一固定箱、第二固定箱相连接。

7、进一步地，所述夹持组件包括多个固定板，多个所述固定板与第一固定箱和第二固定箱相对应，且固定板与工作台相连接，所述固定板两侧均开设有凹槽，所述固定板内部转动连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆两侧均滑动连接有夹板。

8、进一步地，所述防护组件包括多个固定框，多个所述固定框分布在第一固定箱和第二固定箱之间，所述固定框内部均转动连接有l形板，所述l形板内部均固定连接有观察窗。

9、进一步地，所述移动组件包括多个电动滑块，所述电动滑块在引导条顶部滑动，且多个电动滑块与固定框相对应，所述电动滑块顶部均转动连接有伸缩柱。

10、进一步地，所述伸缩组件包括多个固定条，所述固定条均与伸缩柱相连接，所述固定条内部固定连接有电动推杆，所述电动推杆伸缩端固定连接有滑动杆，所述滑动杆内部转动连接有多个第二齿轮，所述滑动杆内部滑动连接有第二齿条，且第二齿轮分别与第二齿条和固定条相啮合，所述第二齿条一端固定连接有固定件。

11、本发明的有益效果如下：

12、本发明通过加工组件、伸缩组件和移动组件的设置，实现了通过第一固定箱、第二固定箱、电动滑板、伸缩柱、第二齿条、滑动杆和固定条的配合，从而对第一加工后的基体依次转入第二固定箱内部进行再次原子层沉淀加工，避免一次只能实现一个镀膜工艺，不能连续生产，确保了反应腔室的利用率，提高生产效率。

13、通过防护组件和滑动组件的设置，实现了通过第一齿条、第一齿轮、挡板、固定框和l形板的配合，从而对移动过程中的原子层沉淀的基板进行防护，确保使用时的稳定性。

技术特征：

1.一种连续式原子层沉积设备，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)上设置有用于进行原子层沉积的加工组件(2)，所述加工组件(2)上设置有用于遮挡的滑动组件(4)，所述底板(1)上设置有用于对产品位置进行移动的移动组件(5)，所述移动组件(5)上设置有用于取出产品的伸缩组件(6)，所述加工组件(2)上设置有用于对产品进行保护的防护组件(3)，所述加工组件(2)内部设置有用于对产品进行固定的夹持组件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种连续式原子层沉积设备，其特征在于，所述底板(1)顶部固定连接有多个引导条(101)。

3.根据权利要求2所述的一种连续式原子层沉积设备，其特征在于，所述加工组件(2)包括多个第一固定箱(201)和第二固定箱(202)，所述第一固定箱(201)分布在第二固定箱(202)两侧，且第一固定箱(201)、第二固定箱(202)与底板(1)相连接，所述第一固定箱(201)一侧均转动连接有转动板(203)，所述第一固定箱(201)相对面一侧均开设有通孔(204)，所述通孔(204)贯穿第二固定箱(202)，所述第一固定箱(201)、第二固定箱(202)底部均固定连接有工作台(205)。

4.根据权利要求2所述的一种连续式原子层沉积设备，其特征在于，所述滑动组件(4)包括多个固定罩(401)，所述固定罩(401)分别与第一固定箱(201)和第二固定箱(202)线连接，所述固定罩(401)外侧均固定连接有电动机(402)，所述电动机(402)输出端安装有第一齿轮(403)，所述第一齿轮(403)外侧啮合有第一齿条(404)，所述第一齿条(404)底部均固定连接有挡板(405)，且挡板(405)与通孔(204)相对应，所述挡板(405)两侧均滑动连接有挡条(406)，且挡条(406)分别与第一固定箱(201)、第二固定箱(202)相连接。

5.根据权利要求3所述的一种连续式原子层沉积设备，其特征在于，所述夹持组件(7)包括多个固定板(701)，多个所述固定板(701)与第一固定箱(201)和第二固定箱(202)相对应，且固定板(701)与工作台(205)相连接，所述固定板(701)两侧均开设有凹槽(704)，所述固定板(701)内部转动连接有双向螺纹杆(702)，所述双向螺纹杆(702)两侧均滑动连接有夹板(703)。

6.根据权利要求3所述的一种连续式原子层沉积设备，其特征在于，所述防护组件(3)包括多个固定框(301)，多个所述固定框(301)分布在第一固定箱(201)和第二固定箱(202)之间，所述固定框(301)内部均转动连接有l形板(302)，所述l形板(302)内部均固定连接有观察窗(303)。

7.根据权利要求2所述的一种连续式原子层沉积设备，其特征在于，所述移动组件(5)包括多个电动滑块(501)，所述电动滑块(501)在引导条(101)顶部滑动，且多个电动滑块(501)与固定框(301)相对应，所述电动滑块(501)顶部均转动连接有伸缩柱(502)。

8.根据权利要求7所述的一种连续式原子层沉积设备，其特征在于，所述伸缩组件(6)包括多个固定条(601)，所述固定条(601)均与伸缩柱(502)相连接，所述固定条(601)内部固定连接有电动推杆(602)，所述电动推杆(602)伸缩端固定连接有滑动杆(603)，所述滑动杆(603)内部转动连接有多个第二齿轮(604)，所述滑动杆(603)内部滑动连接有第二齿条(605)，且第二齿轮(604)分别与第二齿条(605)和固定条(601)相啮合，所述第二齿条(605)一端固定连接有固定件(8)。

技术总结
本发明公开了一种连续式原子层沉积设备，涉及原子层沉积技术领域。包括底板，所述底板上设置有用于进行原子层沉积的加工组件，所述加工组件上设置有用于遮挡的滑动组件，所述底板上设置有用于对产品位置进行移动的移动组件，所述移动组件上设置有用于取出产品的伸缩组件，所述加工组件上设置有用于对产品进行保护的防护组件。本发明通过加工组件、伸缩组件和移动组件的设置，实现了通过第一固定箱、第二固定箱、电动滑板、伸缩柱、第二齿条、滑动杆和固定条的配合，从而对第一加工后的基体依次转入第二固定箱内部进行再次原子层沉淀加工，避免一次只能实现一个镀膜工艺，不能连续生产，确保了反应腔室的利用率，提高生产效率。

技术研发人员：刘载安,张小强,南炳允
受保护的技术使用者：东领科技装备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15