PBN制品的制造方法与流程

本公开涉及气相沉积领域，尤其涉及一种pbn制品的制造方法。

背景技术：

1、pbn(热解氮化硼)制品沉积时一般采用石墨材质的模具，在石墨模具表面进行沉积，会出现粘模情况，在降温时则会导致pbn制品局部出现褶皱变形情况。随着pbn制品的厚度减薄以及尺寸变大，pbn制品出现褶皱变形情况愈显严重。

技术实现思路

1、本公开提供了一种pbn制品的制造方法，以至少解决现有技术中存在的以上技术问题。

2、根据本公开的第一方面，提供了一种pbn制品的制造方法，包括：

3、将石墨材料的粗模具进行第一烘干；

4、对第一烘干后的所述粗模具进行抛光，得到细模具；

5、以所述细模具为沉积模具，在所述细模具的沉积面上沉积形成pbn涂层；

6、通过加热器控制沉积炉内的温度，以按预设降温策略进行降温。

7、在一可实施方式中，所述粗模具的第一烘干的温度为100-200℃。

8、在一可实施方式中，以所述细模具为沉积模具，形成pbn涂层，包括：

9、在所述细模具的表面沉积形成热解石墨层；

10、在所述热解石墨层之上形成所述pbn涂层。

11、在一可实施方式中，所述热解石墨层的厚度为5-100μm。

12、在一可实施方式中，形成pbn涂层，包括：

13、在与所述细模具的非沉积面相对的位置设置悬置结构，以减少所述非沉积面处pbn的沉积量。

14、在一可实施方式中，所述悬置结构与所述细模具非沉积面之间的距离为2-5mm。

15、在一可实施方式中，所述降温策略包括：

16、设置多个恒温点，温度降至所述恒温点时，保持设定时长。

17、在一可实施方式中，所述恒温点包括：1600℃、1400℃、1200℃和1000℃。

18、在一可实施方式中，在所述恒温点保持30-180分钟。

19、在一可实施方式中，所述的制造方法还包括：待沉积炉降至室温，取出沉积有pbn涂层的模具；

20、将热解氮化硼涂层与所述模具分离，得到pbn制品。

21、本公开的pbn制品的制造方法中，将石墨材料的粗模具进行第一烘干，然后对第一烘干后的所述粗模具进行抛光，得到细模具；通过烘干处理可以去除粗模具中吸附的水汽，并且通过抛光改善表面状态，降低粗糙度，能减少模具再次吸附水汽，避免了吸附的水汽在高温沉积时排出并氧化模具表面，而导致模具出现细小坑洞的情况，从而改善了pbn在沉积时与模具粘连的情况，消除在降温时由于pbn粘模而导致pbn制品出现褶皱变形情况。通过加热器控制沉积炉内的温度，以按预设降温策略进行降温。避免自然降温速度过快，由于pbn材料的各项异性以及与石墨材料热导率、热容方面的差异，从而导致pbn制品变形情况的出现。

22、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本公开的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种pbn制品的制造方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述粗模具的第一烘干的温度为100-200℃。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，以所述细模具为沉积模具，形成pbn涂层，包括：

4.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述热解石墨层的厚度为5-100μm。

5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，沉积形成pbn涂层，包括：

6.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于，所述悬置结构与所述细模具非沉积面之间的距离为2-5mm。

7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述降温策略，包括：

8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述恒温点包括：1600℃、1400℃、1200℃和1000℃。

9.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，在所述恒温点保持30-180分钟。

10.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，还包括：待沉积炉降至室温，取出沉积有pbn涂层的模具；

技术总结
本公开提供了一种PBN制品的制造方法，包括：将石墨材料的粗模具进行第一烘干；对第一烘干后的所述粗模具进行抛光，得到细模具；以所述细模具为沉积模具，在所述细模具的沉积面上沉积形成PBN涂层；通过加热器控制沉积炉内的温度，以按预设降温策略进行降温。本公开的方法能够改善PBN制品变形的情况。

技术研发人员：王军勇,何军舫
受保护的技术使用者：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/5