一种真空镀膜机用可调固定装置的制作方法

本技术涉及可调固定装置领域，特别涉及一种真空镀膜机用可调固定装置。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，现有的蒸发型的真空镀膜机在使用中，主要通过内部的挂钩对基片进行悬挂，但是现有的挂钩的位置不便于调节，下方位置挂钩上的基片容易将上方基片的部分位置遮挡住，从而造成镀膜不均匀，因此需要改进。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种真空镀膜机用可调固定装置，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、一种真空镀膜机用可调固定装置，包括机体，所述机体的下方固定安装有支撑脚，所述机体的上方位置固定安装有真空箱，所述真空箱的侧面位置活动安装有箱盖，所述真空箱上固定安装有驱动电机，所述真空箱内活动安装有中心转动杆，所述中心转动杆上活动安装有调节机构，所述调节机构包含有螺旋板、连接台、螺纹台、支撑杆、限位槽、限位板、活动管、挂钩、连接管和固定杆，所述螺旋板固定安装在中心转动杆的外侧位置，所述连接台固定安装在螺旋板的外侧位置，所述螺纹台活动安装在连接台内，所述支撑杆固定安装在螺纹台的侧面位置，所述限位槽固定开设在支撑杆上，所述限位板固定开设在限位槽内，所述活动管活动安装在支撑杆上，所述挂钩固定安装在活动管的底面位置，所述连接管固定安装在活动管的上面位置，所述固定杆活动安装在连接管内。

4、优选的，所述调节机构还包含有连接杆，所述连接杆的数量为两个，且位于螺旋板的上端、下端位置，所述螺旋板通过连接杆与中心转动杆固定安装。

5、优选的，所述调节机构还包含有连接螺孔和限制板，所述连接螺孔固定开设在连接台内，所述螺纹台活动安装在连接螺孔内，所述限制板固定安装在螺纹台的侧面位置，所述支撑杆固定安装在限制板的另一侧面位置。

6、优选的，所述调节机构还包含有挡板，所述挡板固定安装在支撑杆的外端位置。

7、优选的，所述调节机构还包含有活动孔，所述活动孔贯穿连接管的上面、下面位置，所述固定杆活动安装在连接管的活动孔内。

8、优选的，所述调节机构还包含有外拉板、弹簧和内活动板，所述外拉板固定安装在固定杆的外端位置，所述内活动板固定安装在固定杆上，且位于连接管内，所述弹簧活动安装在固定杆上，且位于内活动板的上方位置，所述弹簧同样位于连接管内。

9、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

10、本实用新型中，通过设置的调节机构，通过螺旋板将支撑杆沿着圆周螺旋分布，使得上下位置的基片容易错位、相互隔开，再通过活动管与各个支撑杆上不同位置的限位槽内的限位板进行相互固定，从而改变各个挂钩的位置，固定杆插入限位槽内不同的限位板之间位置，从而便于改变挂钩的角度，使得上下位置挂钩上的基片便于充分的分散开，相互之间不遮挡，便于蒸汽镀膜时更为均匀。

技术特征：

1.一种真空镀膜机用可调固定装置，包括机体(1)，所述机体(1)的下方固定安装有支撑脚(2)，所述机体(1)的上方位置固定安装有真空箱(3)，所述真空箱(3)的侧面位置活动安装有箱盖(4)，所述真空箱(3)上固定安装有驱动电机(5)，所述真空箱(3)内活动安装有中心转动杆(6)，其特征在于：所述中心转动杆(6)上活动安装有调节机构(7)，所述调节机构(7)包含有螺旋板(702)、连接台(703)、螺纹台(705)、支撑杆(707)、限位槽(709)、限位板(710)、活动管(711)、挂钩(712)、连接管(713)和固定杆(715)，所述螺旋板(702)固定安装在中心转动杆(6)的外侧位置，所述连接台(703)固定安装在螺旋板(702)的外侧位置，所述螺纹台(705)活动安装在连接台(703)内，所述支撑杆(707)固定安装在螺纹台(705)的侧面位置，所述限位槽(709)固定开设在支撑杆(707)上，所述限位板(710)固定开设在限位槽(709)内，所述活动管(711)活动安装在支撑杆(707)上，所述挂钩(712)固定安装在活动管(711)的底面位置，所述连接管(713)固定安装在活动管(711)的上面位置，所述固定杆(715)活动安装在连接管(713)内。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用可调固定装置，其特征在于：所述调节机构(7)还包含有连接杆(701)，所述连接杆(701)的数量为两个，且位于螺旋板(702)的上端、下端位置，所述螺旋板(702)通过连接杆(701)与中心转动杆(6)固定安装。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用可调固定装置，其特征在于：所述调节机构(7)还包含有连接螺孔(704)和限制板(706)，所述连接螺孔(704)固定开设在连接台(703)内，所述螺纹台(705)活动安装在连接螺孔(704)内，所述限制板(706)固定安装在螺纹台(705)的侧面位置，所述支撑杆(707)固定安装在限制板(706)的另一侧面位置。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机用可调固定装置，其特征在于：所述调节机构(7)还包含有挡板(708)，所述挡板(708)固定安装在支撑杆(707)的外端位置。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机用可调固定装置，其特征在于：所述调节机构(7)还包含有活动孔(714)，所述活动孔(714)贯穿连接管(713)的上面、下面位置，所述固定杆(715)活动安装在连接管(713)的活动孔(714)内。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机用可调固定装置，其特征在于：所述调节机构(7)还包含有外拉板(716)、弹簧(717)和内活动板(718)，所述外拉板(716)固定安装在固定杆(715)的外端位置，所述内活动板(718)固定安装在固定杆(715)上，且位于连接管(713)内，所述弹簧(717)活动安装在固定杆(715)上，且位于内活动板(718)的上方位置，所述弹簧(717)同样位于连接管(713)内。

技术总结
本技术公开了一种真空镀膜机用可调固定装置，属于可调固定装置领域，包括机体，机体的下方固定安装有支撑脚，机体的上方位置固定安装有真空箱，真空箱的侧面位置活动安装有箱盖，真空箱上固定安装有驱动电机，真空箱内活动安装有中心转动杆，中心转动杆上活动安装有调节机构，通过设置的调节机构，通过螺旋板将支撑杆沿着圆周螺旋分布，使得上下位置的基片容易错位、相互隔开，再通过活动管与各个支撑杆上不同位置的限位槽内的限位板进行相互固定，从而改变各个挂钩的位置，固定杆插入限位槽内不同的限位板之间位置，从而便于改变挂钩的角度，使得上下位置挂钩上的基片便于充分的分散开，相互之间不遮挡，便于蒸汽镀膜时更为均匀。

技术研发人员：高耀强,张文龙,刘世均
受保护的技术使用者：赫得纳米科技重庆有限公司
技术研发日：20230104
技术公布日：2024/1/13