一种制作金属电极用加热平台的制作方法

本技术属于电极制作设备，尤其涉及一种制作金属电极用加热平台。

背景技术：

1、在化合物半导体领域，蓝宝石片与晶圆通过胶带粘接的方式组成晶圆片，在做n面金属电极时，第一次n面溅射后需使用加热平台加热晶圆片至200℃左右，以将晶圆片上的蓝宝石片与晶圆剥离，加热过程中，将蓝宝石片与加热平台的顶面接触，蓝宝石片的尺寸大约为3寸至4寸的圆形，且表面光滑，当蓝宝石片与加热板顶面接触时，两个光滑的表面之间摩擦力小，加热过程中极易受到外部影响导致蓝宝石片从加热板上滑脱，需要作业人员穿带隔热手套进行维护，影响加热进程，降低了作业效率。

技术实现思路

1、本申请旨在至少能够在一定程度上解决现有的加热平台上的蓝宝石片容易滑脱的技术问题，为此，本申请提供了一种制作金属电极用加热平台。

2、本申请的技术方案如下：

3、一种制作金属电极用加热平台，包括：

4、座体；

5、加热板，所述加热板设置于所述座体顶端；

6、隔热板，多个隔热板设置于座体的顶面，多个所述隔热板绕设于所述加热板的四周，所述隔热板与所述加热板的侧壁之间具有间隙；

7、阻挡件，多个所述阻挡件间隔设于所述加热板的四周，所述阻挡件的底端设置于所述间隙内，所述阻挡件的顶端高于所述加热板的顶端。

8、在一些实施方式中，所述阻挡件呈板状，所述阻挡件的厚度不大于所述间隙的宽度。

9、在一些实施方式中，所述阻挡件背向所述加热板的侧壁加工有多个散热槽。

10、在一些实施方式中，所述散热槽的走向垂直于所述加热板。

11、在一些实施方式中，所述阻挡件包括横杆和多个间隔设置于所述横杆上的竖杆，每个所述竖杆均与所述横杆固定连接。

12、在一些实施方式中，所述多个所述竖杆的长度相等，多个所述竖杆的底端齐平。

13、在一些实施方式中，多个所述阻挡件依次固定连接。

14、在一些实施方式中，相邻的所述阻挡件之间设置有加强筋。

15、在一些实施方式中，所述加强筋设置于所述阻挡件的顶端。

16、在一些实施方式中，所述隔热板的厚度大于所述阻挡件的厚度。

17、本申请实施例至少具有如下有益效果：

18、由上述技术方案可知，本申请公开的加热平台通过隔热板与所述加热板的侧壁之间具有间隙，以避免加热板的热量传递至隔热板，隔热板可避免作业人员误触加热板边缘导致烫伤，提高加热平台的安全性能；通过设置于间隙中的阻挡件，阻挡蓝宝石片滑脱，进而保护加热过程中蓝宝石片，避免蓝宝石片滑脱甚至因滑脱破损，进而降低滑脱带来的对作业效率的影响，降低蓝宝石片的损耗。

技术特征：

1.一种制作金属电极用加热平台，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的制作金属电极用加热平台，其特征在于，所述阻挡件呈板状，所述阻挡件的厚度不大于所述间隙的宽度。

3.根据权利要求2所述的制作金属电极用加热平台，其特征在于，所述阻挡件背向所述加热板的侧壁加工有多个散热槽。

4.根据权利要求3所述的制作金属电极用加热平台，其特征在于，所述散热槽的走向垂直于所述加热板。

5.根据权利要求1所述的制作金属电极用加热平台，其特征在于，所述阻挡件包括横杆和多个间隔设置于所述横杆上的竖杆，每个所述竖杆均与所述横杆固定连接。

6.根据权利要求5所述的制作金属电极用加热平台，其特征在于，所述多个所述竖杆的长度相等，多个所述竖杆的底端齐平。

7.根据权利要求1所述的制作金属电极用加热平台，其特征在于，多个所述阻挡件依次固定连接。

8.根据权利要求7所述的制作金属电极用加热平台，其特征在于，相邻的所述阻挡件之间设置有加强筋。

9.根据权利要求8所述的制作金属电极用加热平台，其特征在于，所述加强筋设置于所述阻挡件的顶端。

10.根据权利要求1所述的制作金属电极用加热平台，其特征在于，所述隔热板的厚度大于所述阻挡件的厚度。

技术总结
本技术公开了一种制作金属电极用加热平台，属于电极制作设备技术领域，解决了现有的加热平台上的蓝宝石片容易滑脱的技术问题。加热平台包括：座体、加热板、隔热板和阻挡件，加热板设置于座体顶端；多个隔热板设置于座体的顶面，多个隔热板绕设于加热板的四周，隔热板与加热板的侧壁之间具有间隙；多个阻挡件间隔设于加热板的四周，阻挡件的底端设置于间隙内，阻挡件的顶端高于加热板的顶端。本申请能够有效阻挡蓝宝石片滑脱。

技术研发人员：逯卓野,刘德超,彭运虎,王政奥,徐马记,胡韵爽,贺慧婷
受保护的技术使用者：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
技术研发日：20230113
技术公布日：2024/1/11