物理气相沉淀设备的制作方法

本技术涉及气相沉淀，具体而言，涉及一种物理气相沉淀设备。

背景技术：

1、通过物理气相沉积(physical vapor deposition，简称：pvd)技术是半导体工业中最广为使用的一类薄膜制造技术，泛指采用物理方法制备薄膜的薄膜制备工艺，其制备工艺中一般需要使用到物理气相沉淀设备，即pvd设备。

2、现有技术中，在pvd设备在开启或者需要进行维修的时候，pvd设备的腔盖需要开启，但由于腔盖容易在重力作用下，盖合下来，对人员安全造成影响，存在安全隐患。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种物理气相沉淀设备，其能够保证人员安全，消除安全隐患。

2、本实用新型的实施例可以这样实现：

3、本实用新型的实施例提供了一种物理气相沉淀设备，其包括：

4、加热腔体；

5、加热腔盖，所述加热腔盖可转动连接于所述加热腔体，以开启或盖合所述加热腔体；以及

6、连接组件，所述连接组件包括驱动杆、锁止杆和连接块，所述驱动杆和所述加热腔盖连接，所述驱动杆可转动地连接于所述连接块；

7、其中，在所述加热腔盖开启或盖合所述加热腔体的情况下，所述加热腔盖带动所述驱动杆移动，以使所述连接块相对于所述加热腔体移动，所述锁止杆用于同时可拆卸地连接于所述连接块和所述加热腔体，以限制所述连接块和所述加热腔体的相对位置。

8、可选地，所述连接组件还包括动力杆，所述动力杆安装于所述加热腔体，所述动力杆和所述连接块驱动连接，所述动力杆用于驱使所述连接块远离或靠近所述加热腔体。

9、可选地，所述驱动杆为l形杆体，所述驱动杆的一端和所述加热腔盖固定连接，所述驱动杆的另一端可转动地连接于所述连接块。

10、可选地，所述物理气相沉淀设备还包括阻挡块，所述阻挡块设置在所述加热腔体，所述阻挡块用于抵接所述驱动杆的另一端。

11、可选地，所述连接块上设有锁止孔，所述锁止杆用于同时贯穿所述加热腔体和所述锁止孔，以限制所述连接块和所述加热腔体的相对位置。

12、可选地，所述连接组件还包括关节轴承，所述关节轴承可转动地连接于所述连接块，且所述关节轴承和所述动力杆驱动连接。

13、可选地，所述锁止杆为插销。

14、可选地，所述物理气相沉淀设备还包括到位传感器，所述到位传感器设置在所述加热腔体，所述到位传感器用于获取所述锁止杆的位置信息。

15、可选地，所述动力杆为液压缸或者电缸或者气缸。

16、可选地，所述加热腔盖相对于所述加热腔体的开启角度大于90度。

17、本实用新型实施例的物理气相沉淀设备的有益效果包括，例如：

18、本实用新型的实施例提供了一种物理气相沉淀设备，其包括加热腔体、加热腔盖和连接组件，加热腔盖可转动连接于加热腔体，以开启或盖合加热腔体，连接组件包括驱动杆、锁止杆和连接块，驱动杆和加热腔盖连接，驱动杆可转动地连接于连接块，其中，在加热腔盖开启或盖合加热腔体的情况下，加热腔盖带动驱动杆移动，以使连接块相对于加热腔体移动，锁止杆用于同时可拆卸地连接于连接块和加热腔体，以限制连接块和加热腔体的相对位置，在加热腔盖开启的情况下，使锁止杆同时连接于连接块和加热腔体，限制连接块和加热腔体的相对位置，可以避免加热腔盖相对于加热腔体发生相对转动，进而防止加热腔盖突然下压盖合，保证人员安全，消除安全隐患。

技术特征：

1.一种物理气相沉淀设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的物理气相沉淀设备，其特征在于，所述连接组件还包括动力杆，所述动力杆安装于所述加热腔体，所述动力杆和所述连接块驱动连接，所述动力杆用于驱使所述连接块远离或靠近所述加热腔体。

3.根据权利要求1所述的物理气相沉淀设备，其特征在于，所述驱动杆为l形杆体，所述驱动杆的一端和所述加热腔盖固定连接，所述驱动杆的另一端可转动地连接于所述连接块。

4.根据权利要求3所述的物理气相沉淀设备，其特征在于，所述物理气相沉淀设备还包括阻挡块，所述阻挡块设置在所述加热腔体，所述阻挡块用于抵接所述驱动杆的另一端。

5.根据权利要求1所述的物理气相沉淀设备，其特征在于，所述连接块上设有锁止孔，所述锁止杆用于同时贯穿所述加热腔体和所述锁止孔，以限制所述连接块和所述加热腔体的相对位置。

6.根据权利要求2所述的物理气相沉淀设备，其特征在于，所述连接组件还包括关节轴承，所述关节轴承可转动地连接于所述连接块，且所述关节轴承和所述动力杆驱动连接。

7.根据权利要求1所述的物理气相沉淀设备，其特征在于，所述锁止杆为插销。

8.根据权利要求1所述的物理气相沉淀设备，其特征在于，所述物理气相沉淀设备还包括到位传感器，所述到位传感器设置在所述加热腔体，所述到位传感器用于获取所述锁止杆的位置信息。

9.根据权利要求2所述的物理气相沉淀设备，其特征在于，所述动力杆为液压缸或者电缸或者气缸。

10.根据权利要求1所述的物理气相沉淀设备，其特征在于，所述加热腔盖相对于所述加热腔体的开启角度大于90度。

技术总结
本技术的实施例提供了一种物理气相沉淀设备，涉及气相沉淀技术领域。该物理气相沉淀设备包括加热腔体、加热腔盖和连接组件，加热腔盖可转动连接于加热腔体，以开启或盖合加热腔体，连接组件包括驱动杆、锁止杆和连接块，驱动杆和加热腔盖连接，驱动杆可转动地连接于连接块，其中，在加热腔盖开启或盖合加热腔体的情况下，加热腔盖带动驱动杆移动，以使连接块相对于加热腔体移动，锁止杆用于同时可拆卸地连接于连接块和加热腔体，以限制连接块和加热腔体的相对位置，在加热腔盖开启的情况下，该物理气相沉淀设备可以避免加热腔盖相对于加热腔体发生相对转动，进而防止加热腔盖突然下压盖合，保证人员安全，消除安全隐患。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：广东利元亨智能装备股份有限公司
技术研发日：20230203
技术公布日：2024/1/12