一种CVD整形炉的制作方法

本技术涉及铝制工件表面处理领域，具体为一种cvd整形炉。

背景技术：

1、在液晶显示面板的制造过程中，需要使用化学气相沉积(简称cvd)工艺在加热底板表面沉积一些功能薄膜(即耐腐蚀、电击的氧化膜)。

2、客户使用一段时间后，设备内制程气体对这些氧化膜会有一定的腐蚀及电击，同时由于持续加热，加热底板会出现形变，导致平整度超规，需要进行整形再生。再生处理时会使用热整形炉进行整形处理，但由于常规整形炉仅有一个孔，每次仅能热处理一件加热底板，导致生产效率偏低，单件整形生产成本大，在实际生产中受限于电力紧张局面，热整形炉实际可用利用的时间较少，使得产品交期跟不上。为此，发明人提出一种cvd整形炉。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种cvd整形炉，具有节省了生产成本，提高了生产效率的优点，解决了背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种cvd整形炉，所述整形炉包括有整形炉本体、加热装置和炉盖，所述炉盖安装在所述整形炉本体顶部，所述加热装置设置在所述整形炉本体内部，所述炉盖中间开设有柱孔，所述炉盖上对角线的1/3和2/3处分别开设有提效孔，所述提效孔顶部均安装有保温盖一，所述保温盖一上开设有贯穿孔,所述贯穿孔上活动连接有保温盖二。

3、优选的，所述柱孔的直径为35cm。

4、优选的，所述提效孔长度为100cm,宽度为40cm。

5、优选的，所述提效孔和保温盖一之间的间隙、所述贯穿孔和保温盖二之间的间隙中均设置有保温圈。

6、优选的，所述保温盖一一侧固定有u型卡块，所述保温盖一上开始有u型槽，所述炉盖上固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆顶部穿过所述u型槽且螺纹连接有锁紧盘。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

8、本实用新型在现有的炉盖上增设若干个提效孔，使得整形炉一次可以对多个工件进行热处理整形，节省了生产成本，提高了生产效率；通过在提效孔和保温盖一之间的间隙、贯穿孔和保温盖二之间的间隙中设置保温圈，可以提高工件整形时保温效果，保证整形质量。

技术特征：

1.一种cvd整形炉，所述整形炉包括有整形炉本体(4)、加热装置(8)和炉盖(1)，所述炉盖(1)安装在所述整形炉本体(4)顶部，所述加热装置(8)设置在所述整形炉本体(4)内部，所述炉盖(1)中间开设有柱孔(2)，其特征在于：所述炉盖(1)上对角线的1/3和2/3处分别开设有提效孔(3)，所述提效孔(3)顶部均安装有保温盖一(5)，所述保温盖一(5)上开设有贯穿孔,所述贯穿孔上活动连接有保温盖二。

2.根据权利要求1所述的cvd整形炉，其特征在于：所述柱孔(2)的直径为35cm。

3.根据权利要求1所述的cvd整形炉，其特征在于：所述提效孔(3)长度为100cm,宽度为40cm。

4.根据权利要求1所述的cvd整形炉，其特征在于：所述提效孔(3)和保温盖一(5)之间的间隙、所述贯穿孔和保温盖二之间的间隙中均设置有保温圈。

5.根据权利要求1所述的cvd整形炉，其特征在于：所述保温盖一(5)一侧固定有u型卡块(51)，所述保温盖一(5)上开始有u型槽，所述炉盖(1)上固定连接有螺纹杆(9)，所述螺纹杆(9)顶部穿过所述u型槽且螺纹连接有锁紧盘(10)。

技术总结
本技术公开了一种CVD整形炉，整形炉包括有整形炉本体、加热装置和炉盖，炉盖安装在整形炉本体顶部，加热装置设置在整形炉本体内部，炉盖中间开设有柱孔，炉盖上对角线的1/3和2/3处分别开设有提效孔，提效孔顶部均安装有保温盖一，保温盖一上开设有贯穿孔,贯穿孔上活动连接有保温盖二。本技术在现有的炉盖上增设若干个提效孔，使得整形炉一次可以对多个工件进行热处理整形，节省了生产成本，提高了生产效率。

技术研发人员：李秀锋,郑军东,余宵,李根水,代勇超
受保护的技术使用者：安徽晶海纳光电科技有限公司
技术研发日：20230227
技术公布日：2024/1/13