一种石墨盘烘烤除杂装置的制作方法

本技术涉及led芯片，具体涉及一种石墨盘烘烤除杂装置。

背景技术：

1、在led芯片的制程中，常使用到mocvd机台，将led芯片的原料放置在石墨盘上，并将衬底和石墨盘放入mocvd机台，使原料被反应后生长衬底上。

2、石墨盘在使用后要经过高温烘烤，在烘烤的过程中需要用到特定的除杂气体去反应石墨盘表面的杂质。

3、现有技术中，多个石墨盘是一同参与高温烘烤工序的，因为石墨盘是水平设置，而除杂气体的流向几乎是竖直的，这使多个石墨盘中，设置在中部的石墨盘较少的接触到了除杂气体。本领域技术人员为了使石墨盘被有效清洁，只得增大除杂气体的使用量(或者延长烘烤时长)，这大大增加了led芯片的生产成本。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种石墨盘烘烤除杂装置，降低清洁石墨盘的成本。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用的一种技术方案为：一种石墨盘烘烤除杂装置，包括烘烤桶、治具和导流圆锥；

3、所述烘烤桶的底面设有多个吹气孔，所有所述吹气孔均匀设置在烘烤桶的底面中部；

4、所述治具设置在烘烤桶中，多个所述石墨盘互相平行且间隔设置，所述石墨盘竖直设置在治具上，所述治具在石墨盘的侧边沿；

5、所述烘烤桶具有顶盖，所述导流圆锥尖端朝下且设置在顶盖内壁的中部。

6、进一步地，所述烘烤桶的内侧壁上设有竖直的滑轨，所述治具远离石墨盘的一侧设有与滑轨对应的滑槽。

7、进一步地，所有所述石墨盘设置在烘烤桶的中部。

8、进一步地，所述导流圆锥的母线为弧线。

9、进一步地，还包括外桶，所述烘烤桶设置在外桶中，所述外桶的内壁上设有保温石棉瓦。

10、本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供的石墨盘烘烤除杂装置中，所述吹气孔向上吹出除杂气体，石墨盘和治具的方位设置，使除杂气体流过石墨盘表面之间的间隙，避免了石墨盘和治具阻挡除杂气体的流动。

11、除杂气体在经过石墨盘后，被导流圆锥和顶盖导流而在烘烤桶中形成涡流，这提高了除杂气体与石墨盘接触的机会。

12、故本实用新型提供的石墨盘烘烤除杂装置使除杂气体更多的接触各个石墨盘，降低了除杂气体的使用量，降低了清洁石墨盘的成本。

技术特征：

1.一种石墨盘烘烤除杂装置，其特征在于，包括烘烤桶、治具和导流圆锥；

2.根据权利要求1所述石墨盘烘烤除杂装置，其特征在于，所述烘烤桶的内侧壁上设有竖直的滑轨，所述治具远离石墨盘的一侧设有与滑轨对应的滑槽。

3.根据权利要求1所述石墨盘烘烤除杂装置，其特征在于，所有所述石墨盘设置在烘烤桶的中部。

4.根据权利要求1所述石墨盘烘烤除杂装置，其特征在于，所述导流圆锥的母线为弧线。

5.根据权利要求1所述石墨盘烘烤除杂装置，其特征在于，还包括外桶，所述烘烤桶设置在外桶中，所述外桶的内壁上设有保温石棉瓦。

技术总结
本技术涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种石墨盘烘烤除杂装置，所有所述吹气孔均匀设置在烘烤桶的底面中部；所述治具设置在烘烤桶中，多个所述石墨盘互相平行且间隔设置，所述石墨盘竖直设置在治具上，所述治具在石墨盘的侧边沿；所述烘烤桶具有顶盖，所述导流圆锥尖端朝下且设置在顶盖内壁的中部。本技术的有益效果在于：本技术提供的石墨盘烘烤除杂装置中，所述吹气孔向上吹出除杂气体，石墨盘和治具的方位设置，使除杂气体流过石墨盘表面之间的间隙，避免了石墨盘和治具阻挡除杂气体的流动。除杂气体在经过石墨盘后，被导流圆锥和顶盖导流而在烘烤桶中形成涡流，这提高了除杂气体与石墨盘接触的机会。

技术研发人员：李林,朱建海,刘坚,欧辉映
受保护的技术使用者：福建兆元光电有限公司
技术研发日：20230313
技术公布日：2024/1/15