本技术涉及冷却装置，尤其涉及一种多路冷却组件。
背景技术：
1、真空镀膜设备由于构成复杂，且存在多处发热量较大的部件，为保持设备的稳定长时间运行，需要对其进行散热，为避免灰尘聚集，通常采用液冷散热，即通过冷却水流经发热部分，通过热交换源源不断带走发热体的热量，避免出现过热现象；但是大型的复杂设备中往往含有多个发热体，其发热量各有区别，需要多路冷却水进行同时冷却，现有的液冷冷却装置的冷却水的通路数量较少，且难以实现同时对多路冷却水进行集中管理和实时监测。
技术实现思路
1、鉴于目前液冷冷却装置存在的上述不足，本实用新型提供一种多路冷却组件，能够达到同对多路冷却水进行集中管理和实时监测的效果。
2、为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：
3、一种多路冷却组件，包括支座架和固定在支座架上的冷却水端口管理组件，所述冷却水管理端口包括供水端口和回水端口所述冷却水端口管理组件设置有若干组；所述供水端口包括供水主阀、供水排管、供水次阀和流量开关；回水端口包括回水主阀、回水排管和回水次阀；所述供水主阀连接在供水排管端口，供水次阀数量为若干，间隔地设置于供水排管上，流量开关连接在供水次阀出口；所述回水主阀连接在回水排管端口，回水次阀数量为若干，间隔地设置于回水排管上；冷却水经供水主阀、供水排管、供水次阀、流量开关后经管道流经待冷却区域，再经回水次阀、回水排管流入回水主阀。
4、所述流量开关包括进端、出端和控制端；所述进端与供水次阀的出水口连接；流量开关可以控制并调节每一路冷却水的流量。
5、所述冷却水端口管理组件至少设置有两组，一组接常温水作为冷却水，一组接冰水作为冷却水，根据不同部件发热情况的不同选用合适的冷却管路，以满足不同部件的冷却需求，同时合理分配冷却水资源。
6、所述供水排管、回水排管采用不锈钢方管制成；采用方管便于加工焊接接头，便于保证接头处于同一侧。
7、所述供水排管上连接有压力表，用于实时监测供水排管中的水压。
8、所述回水排管上设置有备用端口，该备用端口可用作冷却水回水入口。
9、所述支座架包括稳定框和底座；所述稳定框为矩形框；所述底座通过焊接固定在稳定框一侧。
10、所述支座架上还设置有ω型固定件；供水排管、回水排管通过ω型固定件与稳定框固接。
11、所述供水次阀、回水次阀为手动球阀。
12、所述供水次阀、回水次阀也可设置为电控阀。
13、本实用新型实施的优点：
14、具有多组冷却水端口管理组件，不同的管理组件可通入不同的冷却介质，每组管理组件包括供水端口和回水端口，具有若干路冷却水通路，每一路均可通过单独的流量开关控制该路的冷却介质流量，实现对冷却水流量和压力等的集中管理和实时监测的效果，可以满足不同区域、元件的散热需求，适配其发热情况，便于合理动态分配冷却水资源，保证冷却效果。
1.一种多路冷却组件，包括支座架(1)和固定在支座架(1)上的冷却水端口管理组件，所述冷却水管理端口包括供水端口(2)和回水端口(3)，其特征在于，所述冷却水端口管理组件设置有若干组；所述供水端口(2)包括供水主阀(21)、供水排管(22)、供水次阀(23)和流量开关(24)；回水端口(3)包括回水主阀(31)、回水排管(32)和回水次阀(33)；所述供水主阀(21)连接在供水排管(22)端口，供水次阀(23)数量为若干，间隔地设置于供水排管(22)上，流量开关(24)连接在供水次阀(23)出口；所述回水主阀(31)连接在回水排管(32)端口，回水次阀(33)数量为若干，间隔地设置于回水排管(32)上；冷却水经供水主阀(21)、供水排管(22)、供水次阀(23)、流量开关(24)后经管道流经待冷却区域，再经回水次阀(33)、回水排管(32)流入回水主阀(31)。
2.根据权利要求1所述的多路冷却组件，其特征在于，所述流量开关(24)包括进端、出端和控制端(241)；所述进端与供水次阀(23)的出水口连接。
3.根据权利要求1所述的多路冷却组件，其特征在于，所述冷却水端口管理组件至少设置有两组。
4.根据权利要求1所述的多路冷却组件，其特征在于，所述供水排管(22)、回水排管(32)采用不锈钢方管制成。
5.根据权利要求1所述的多路冷却组件，其特征在于，所述供水排管(22)上连接有压力表(4)。
6.根据权利要求1所述的多路冷却组件，其特征在于，所述回水排管(32)上设置有备用端口(5)。
7.根据权利要求1所述的多路冷却组件，其特征在于，所述支座架(1)包括稳定框(11)和底座(12)；所述稳定框(11)为矩形框；所述底座(12)通过焊接固定在稳定框(11)一侧。
8.根据权利要求7所述的多路冷却组件，其特征在于，所述支座架(1)上设置有ω型固定件(6)；供水排管(22)、回水排管(32)通过ω型固定件与稳定框(11)固接。
9.根据权利要求1所述的多路冷却组件，其特征在于，所述供水次阀(23)、回水次阀(33)为手动球阀。
10.根据权利要求1所述的多路冷却组件，其特征在于，所述供水次阀(23)、回水次阀(33)为电控阀。