一种具有防护罩的抛光垫清洁设备的制作方法

本技术涉及一种抛光垫清洁领域，尤其是涉及一种具有防护罩的抛光垫清洁设备。

背景技术：

1、电子晶圆是由沉积不同层化材料而形成，如硅圆片即是层化材料的基材之一，当每一个新的材料层被沉积上时，常需要使用研磨或抛光的步骤，以去除多余的沉积层材料，以使晶圆平坦化，因此该抛光的过程常被称为化学机械抛光平坦化(chemical mechanicalpolishing，cmp)。由于晶圆是由各种不同的薄膜材料层所堆积形成，因此必须经过多次的cmp抛光步骤，才能将材料层从晶圆的表面均匀去除，达到平坦化的目的。

2、在进行化学机械抛光作业时，会于晶圆与抛光垫之间导入化学抛光液，沉积的薄膜材料层通过与化学抛光液所产生的化学作用，或通过与化学抛光液中的颗粒发生机械作用，实现移除晶圆表面多余的薄膜层。一般会在抛光垫的抛光面上刻设沟槽，一方面沟槽可增加抛光垫与晶圆之间的摩擦力，另一方面可确保抛光液均匀分布于抛光垫的表面上，同时使得悬浮于抛光液中的研磨颗粒和抛光碎屑经顺着沟槽流出抛光垫表面。

3、在抛光垫刻槽后，刻槽留下的碎屑分布在抛光垫的抛光面和凹槽上，一方面凹槽内的碎屑会堵塞沟槽，影响后续抛光液在沟槽中的分布及流动，降低平坦化效果；另一方面抛光面上的碎屑会与晶圆摩擦，损伤晶圆表面。因此需要专门的装置对刻槽后的抛光垫进行深度清洁，同时在抛光垫清洁过程中，抛光垫表面的碎屑会四处飞散，导致二次清洁问题，并危害操作人员的人身安全。

技术实现思路

1、本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，有效保证清洁设备运行的安全性。

2、本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现：

3、一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，所述抛光垫清洁设备包括：

4、工作台；

5、抛光垫固定台，所述抛光垫固定台设于所述工作台上，用于放置抛光垫；

6、清洁组件，所述清洁组件与所述抛光垫固定台相对设置；

7、设于所述工作台上的防护罩，所述防护罩围绕所述抛光垫固定台设置，防护罩上设有安全门。

8、在其中一个实施例中，所述防护罩还设有门框，所述安全门上设有检测器，所述门框上设有感应件，当所述安全门关闭时，所述检测器能够检测到所述感应件。

9、在其中一个实施例中，所述安全门包括活动门和固定门，所述检测器设于所述活动门上，所述门框沿所述工作台的周向间隔设置多个，一部门所述门框上设有门体滑轨，所述活动门与所述门体滑轨滑动配合，另一部分所述门框上设有固定门。

10、在其中一个实施例中，所述门体滑轨为圆弧状滑轨，所述门体滑轨的圆心角大于90度，所述活动门的形状与所述门体滑轨的形状相适应。

11、在其中一个实施例中，所述门体滑轨内设有滑动凹槽，所述活动门的底部设有多个滚轮，所述滚轮的圆周与所述滑动凹槽的侧壁抵接。

12、在其中一个实施例中，所述工作台上设有水平滑轨，所述清洁组件包括清洁刷、清洁支架和驱动电机，所述清洁支架与水平滑轨滑动连接，所述清洁刷与所述清洁支架转动连接，所述驱动电机设于所述清洁支架上，并用于驱动所述清洁刷转动；

13、所述工作台上设有与所述水平滑轨并列的电线收纳盒，所述驱动电机的电线穿过所述电线收纳盒的两端与电源连接。

14、在其中一个实施例中，所述电线收纳盒包括多个沿长度方向依次铰接的收纳节，所述电线收纳盒上靠近清洁组件的第一端与所述电线固定连接，所述电线收纳盒的第二端与所述工作台固定连接。

15、在其中一个实施例中，所述工作台上设有收纳轨道，所述收纳轨道与所述水平滑轨并列设置，所述电线收纳盒设于所述收纳轨道内，且所述电线收纳盒的第一端与所述收纳轨道固定连接。

16、在其中一个实施例中，所述水平滑轨包括第一水平滑轨和第二水平滑轨，所述清洁支架与所述第一水平滑轨滑动连接，所述第一水平滑轨与所述第二水平滑轨滑动连接，所述第一水平滑轨与所述第二水平滑轨垂直；

17、所述电线收纳盒包括与所述第一水平滑轨并列设置的第一电线收纳盒和与所述第二水平滑轨并列设置的第二电线收纳盒，所述驱动电机的电线依次穿过所述第一电线收纳盒、所述第二电线收纳盒与所述电源连接。

18、在其中一个实施例中，所述防护罩包括顶盖，所述顶盖上设有开口，所述顶盖上设有管道支架，所述清洁组件的吸尘管道依次穿过所述开口、所述管道支架。

19、与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

20、1、上述的抛光垫清洁设备在抛光垫固定台外围设置了防护罩，将抛光垫固定台、清洁组件与外部工作人员隔离开来，避免抛光垫清洁过程中有碎屑飞出，提高清洁过程的安全性。

21、2、安全门、门框上分别设置检测器和感应件，用于监测安全门的开合状态，避免在安全门开启状态时启动清洁设备，有效提高清洁设备的安全性。

22、3、抛光垫清洁设备上设置固定门和活动门，活动门沿门体滑轨滑动，便于推拉开启安全门，并通过检测器和感应件监测活动门的开合状态，有效提高清洁设备的使用效率。

23、4、抛光垫清洁设备上设置电线收纳盒，电线收纳盒通过套设于电线实现电线的收纳，避免碎屑飞入电线的缝隙中导致清理困难，同时防止电线干扰清洁设备运行。

24、5、电线收纳盒设置多个铰接的收纳节，电线收纳盒的第一端可以随着清洁支架沿所述水平滑轨的移动靠近或远离所述电线收纳盒的第二端，因此电线收纳盒能够有效电线的位置并保证电线的活动度，一方面能够避免电线完全固定后限制清洁支架的移动，另一方面避免电线随着清洁支架的移动随意移动，进而影响清洁组件和抛光垫固定台的运行，提高了抛光垫清洁设备的运行效率和安全性。

25、4、抛光垫清洁设备上设置顶盖和管道支架，吸尘管道活动穿设于管道支架内，便于吸尘管道随着清洁组件沿水平滑轨移动，避免吸尘管道影响清洁设备的运行，同时防止吸尘管道上堆积碎屑导致难以清理。

26、附图说明

27、图1为一实施例中抛光垫清洁设备的结构示意图。

28、图2为一实施例中抛光垫清洁设备(隐去顶盖)的俯视图。

29、图3为另一实施例中抛光垫清洁设备的结构示意图。

30、图4为另一实施例中抛光垫清洁设备的俯视图。

31、图5为另一实施例中抛光垫清洁设备的后视图。

32、图6为另一实施例中抛光垫清洁设备的侧视图。

33、图7为一实施例中清洁组件的结构示意图。

技术特征：

1.一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述抛光垫清洁设备(100)包括：

2.根据权利要求1所述的一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述防护罩还设有门框(41)，所述安全门(40)上设有检测器(42)，所述门框(41)上设有感应件(43)，当所述安全门(40)关闭时，所述检测器(42)能够检测到所述感应件(43)。

3.根据权利要求2所述的一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述安全门(40)包括活动门(44)和固定门(45)，所述检测器(42)设于所述活动门(44)上，所述门框(41)沿所述工作台(10)的周向间隔设置多个，一部门所述门框(41)上设有门体滑轨，所述活动门(44)与所述门体滑轨滑动配合，另一部分所述门框(41)上设有固定门(45)。

4.根据权利要求3所述的一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述门体滑轨为圆弧状滑轨，所述门体滑轨的圆心角大于90度，所述活动门(44)的形状与所述门体滑轨的形状相适应。

5.根据权利要求4所述的一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述门体滑轨内设有滑动凹槽(411)，所述活动门(44)的底部设有多个滚轮(441)，所述滚轮(441)的圆周与所述滑动凹槽(411)的侧壁抵接。

6.根据权利要求1所述的一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述工作台(10)上设有水平滑轨(50)，所述清洁组件(30)包括清洁刷(32)、清洁支架(31)和驱动电机，所述清洁支架(31)与水平滑轨(50)滑动连接，所述清洁刷(32)与所述清洁支架(31)转动连接，所述驱动电机设于所述清洁支架(31)上，并用于驱动所述清洁刷(32)转动；

7.根据权利要求6所述的一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述电线收纳盒(80)包括多个沿长度方向依次铰接的收纳节(81)，所述电线收纳盒(80)上靠近清洁组件(30)的第一端与所述电线(85)固定连接，所述电线收纳盒(80)的第二端与所述工作台(10)固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述工作台(10)上设有收纳轨道(82)，所述收纳轨道(82)与所述水平滑轨(50)并列设置，所述电线收纳盒(80)设于所述收纳轨道(82)内，且所述电线收纳盒(80)的第一端与所述收纳轨道(82)固定连接。

9.根据权利要求7所述的一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述水平滑轨(50)包括第一水平滑轨(51)和第二水平滑轨(52)，所述清洁支架(31)与所述第一水平滑轨(51)滑动连接，所述第一水平滑轨(51)与所述第二水平滑轨(52)滑动连接，所述第一水平滑轨(51)与所述第二水平滑轨(52)垂直；

10.根据权利要求6所述的一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述防护罩包括顶盖(60)，所述顶盖(60)上设有开口，所述顶盖(60)上设有管道支架(71)，所述清洁组件(30)的吸尘管道(70)依次穿过所述开口和所述管道支架(71)。

技术总结
本技术涉及一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，抛光垫清洁设备包括工作台、抛光垫固定台和清洁组件；抛光垫固定台设于工作台上，用于放置抛光垫；清洁组件与抛光垫固定台相对设置；设于工作台上的防护罩，防护罩围绕抛光垫固定台设置，防护罩上设有安全门。与现有技术相比，上述的抛光垫清洁设备在抛光垫固定台外围设置了防护罩，将抛光垫固定台、清洁组件与外部工作人员隔离开来，避免抛光垫清洁过程中有碎屑飞出，提高清洁过程的安全性。

技术研发人员：张莉娟
受保护的技术使用者：上海芯谦集成电路有限公司
技术研发日：20230329
技术公布日：2024/1/13