一种蒸镀机的遮挡装置的制作方法

文档序号:36593820发布日期:2024-01-06 23:06阅读:19来源:国知局
一种蒸镀机的遮挡装置的制作方法

本技术涉及气相沉积设备清洁,尤其涉及一种蒸镀机的遮挡装置。


背景技术:

1、蒸镀是将蒸发材料在真空环境中加热,使之气化并沉积到基片而获得薄膜材料的方法。蒸镀机在作业到一定次数时,需要进行保养,把黄金和其他金属从机台中剥离,以保证蒸镀机内腔的蒸镀环境。目前蒸镀机内腔中用于连接镀锅的连接件无任何遮挡措施,进而连接件上会镀有较厚的金属膜层,每次保养时为了避免损坏连接件,导致不能采用药液回收金属材料,只能用錾子凿下金属膜层,然而此种方式不仅效率低下,而且连接件会残留较多的金属未回收。


技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种蒸镀机的遮挡装置,能够有效遮挡蒸发材料蒸镀到蒸镀机的连接件上。

2、为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:一种蒸镀机的遮挡装置,所述蒸镀机的连接件具有圆环固定架以及与圆环固定架相连的连接臂,包括拆卸设置在所述圆环固定架上的遮挡片和拆卸设置在所述连接臂上的遮挡臂;

3、所述遮挡片用于遮挡所述圆环固定架朝向蒸发材料的一端面,所述遮挡臂用于遮挡所述连接臂朝向蒸发材料的一端面。

4、进一步地,所述遮挡片为多个沿所述圆环固定架轮廓铺设的片体构成,所述遮挡臂的一端与所述圆环固定架拆卸连接,所述遮挡片的端部与遮挡臂连接所述圆环固定架的一端之间相互堆叠。

5、进一步地,所述片体的端部设置有压帽,所述压帽抵压在遮挡臂连接所述圆环固定架的一端上。

6、进一步地,所述压帽包括第一折边和第二折边;所述第一折边垂直连接在遮挡片上,所述第二折边垂直连接在第一折边上,且所述第二折边抵压在遮挡臂连接所述圆环固定架的一端上。

7、进一步地,所述遮挡臂由螺丝与所述圆环固定架螺纹连接。

8、进一步地,所述遮挡片由螺丝与所述圆环固定架螺纹连接,所述遮挡臂由螺丝与所述连接臂螺纹连接。

9、本实用新型的有益效果在于:在蒸镀机的圆环固定架上增设遮挡片,由遮挡片遮挡气化的金属材料,防止圆环固定架被蒸镀上金属膜层;在蒸镀机的连接臂上增设遮挡臂,由遮挡臂遮挡气化的金属材料,防止连接臂被蒸镀上金属膜层。进而蒸镀机在保养时,可将遮挡片和遮挡臂从蒸镀机的连接件上拆卸下用药液收金属材料,以提高金属材料回收的效率,并且不会对蒸镀机的连接件造成损伤。



技术特征:

1.一种蒸镀机的遮挡装置,所述蒸镀机的连接件具有圆环固定架以及与圆环固定架相连的连接臂,其特征在于:包括拆卸设置在所述圆环固定架上的遮挡片和拆卸设置在所述连接臂上的遮挡臂;

2.根据权利要求1所述蒸镀机的遮挡装置,其特征在于:所述遮挡片为多个沿所述圆环固定架轮廓铺设的片体构成,所述遮挡臂的一端与所述圆环固定架拆卸连接,所述片体的端部与遮挡臂连接所述圆环固定架的一端之间相互堆叠。

3.根据权利要求2所述蒸镀机的遮挡装置,其特征在于:所述片体的端部设置有压帽,所述压帽抵压在遮挡臂连接所述圆环固定架的一端上。

4.根据权利要求3所述蒸镀机的遮挡装置,其特征在于:所述压帽包括第一折边和第二折边;所述第一折边垂直连接在遮挡片上,所述第二折边垂直连接在第一折边上,且所述第二折边抵压在遮挡臂连接所述圆环固定架的一端上。

5.根据权利要求2所述蒸镀机的遮挡装置,其特征在于:所述遮挡臂由螺丝与所述圆环固定架螺纹连接。

6.根据权利要求1所述蒸镀机的遮挡装置,其特征在于:所述遮挡片由螺丝与所述圆环固定架螺纹连接,所述遮挡臂由螺丝与所述连接臂螺纹连接。


技术总结
本技术涉及气相沉积设备清洁技术领域,具体涉及一种蒸镀机的遮挡装置,包括拆卸设置在所述圆环固定架上的遮挡片和拆卸设置在所述连接臂上的遮挡臂;所述遮挡片用于遮挡所述圆环固定架朝向蒸发材料的一端面,所述遮挡臂用于遮挡所述连接臂朝向蒸发材料的一端面。本技术在蒸镀机的圆环固定架上增设遮挡片,由遮挡片遮挡气化的金属材料,防止圆环固定架被蒸镀上金属膜层;在蒸镀机的连接臂上增设遮挡臂,由遮挡臂遮挡气化的金属材料,防止连接臂被蒸镀上金属膜层。进而蒸镀机在保养时,可将遮挡片和遮挡臂从蒸镀机的连接件上拆卸下用药液收金属材料,以提高金属材料回收的效率,并且不会对蒸镀机的连接件造成损伤。

技术研发人员:刘莹,曾淮海,黄自培,陈之锋
受保护的技术使用者:福建兆元光电有限公司
技术研发日:20230425
技术公布日:2024/1/15
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