定位安装装置及半导体工艺设备的制作方法

本技术涉及半导体，特别涉及一种定位安装装置及半导体工艺设备。

背景技术：

1、在化学气相沉积的反应腔中，通常会使用加热器作为反应的主要装置，反应腔的底部具有用于放置加热器的凹槽，在进行化学气相沉积工艺的时候，加热器需要准确安装在反应腔底部的凹槽中，且保证加热器的中心轴与反应腔底部凹槽的中心轴重合。且由于凹槽周围设置有环形弹簧，能够帮助加热器在安装时起到缓冲作用。另外，凹槽底部还设置有密封圈，防止加热器安装在反应腔内以后，加热器底部发生漏气。因此，为避免加热器在安装的时候碰到环形弹簧和密封圈而导致环形弹簧和密封圈发生损坏，加热器在安装时必须保证加热器摆放在反应腔底部凹槽的中央。

2、然而，由于加热器的重量较大，基本都在15kg左右，因此安装加热器通常是依靠人力提起放入反应腔内的。而在依靠人力放置加热器的过程中，可能会因为工作人员的操作失误导致加热器在反应腔内摆放位置不准确或导致加热器在反应腔内发生摆动，从而损坏反应腔底部的环形弹簧和密封圈，进而影响工艺的效果。

3、因此，如何在减轻人力负担的同时，能够平稳快捷地安装加热器，并避免反应腔底部的环形弹簧和密封圈受到损坏是目前亟需解决的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种定位安装装置及半导体工艺设备，使得在减轻人力负担的同时，能够平稳快捷地安装加热器，并避免反应腔底部的环形弹簧和密封圈受到损坏。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种定位安装装置，包括：

3、定位框架，包括至少四个支撑柱，相邻的所述支撑柱的一端相互连接；

4、十字滑台结构，可移动地设置于所述定位框架内；

5、滑轮结构，设置于所述定位框架内，且所述滑轮结构设置于所述十字滑台结构的上方，所述滑轮结构上设置有吊绳，所述吊绳向下穿过所述十字滑台结构与挂钩相连，所述十字滑台结构能够使得所述吊绳在水平方向上移动，所述滑轮结构能够使得所述吊绳在垂直方向上移动；

6、至少四个固定结构，分别设置于所述定位框架的底部。

7、优选地，所述定位框架还包括两个相互平行的第一横梁、两个相互平行的第二横梁、两个相互平行的第三横梁和两个相互平行的第四横梁，所述第一横梁、所述第二横梁和所述第三横梁的两端分别与相邻的两个所述支撑柱连接，且所述第一横梁设置于所述第二横梁的上方，所述第二横梁设置于所述第三横梁的上方，所述第四横梁的两端分别与所述第二横梁连接。

8、优选地，其特征在于，所述十字滑台结构可移动地设置于所述第四横梁上。

9、优选地，所述十字滑台结构包括上滑台结构和下滑台结构，所述上滑台结构可移动地设置于所述下滑台结构上，所述下滑台结构可移动地设置于所述第四横梁上，所述上滑台结构的移动方向与所述下滑台结构的移动方向相互垂直。

10、优选地，所述上滑台结构包括第一平台和第一旋杆，所述第一旋杆水平穿过所述第一平台；所述下滑台结构包括第二平台和第二旋杆，所述第二旋杆水平穿过所述第二平台。

11、优选地，所述第一平台的中间设置有第一孔洞，所述第二平台的中间为中空结构，所述吊绳依次穿过所述第一孔洞和所述中空结构。

12、优选地，所述滑轮结构包括旋钮、支撑杆和滑轮，所述支撑杆穿过所述滑轮的中央并将所述滑轮固定在所述支撑杆上，所述支撑杆的两端分别穿过所述第一横梁，所述旋钮设置于所述支撑杆穿出所述第一横梁的一端。

13、优选地，所述第三横梁设置于所述定位框架的底部，所述固定结构设置于所述第三横梁的侧壁上。

14、优选地，所述固定结构包括l型的挡板和固定螺丝，所述挡板与所述第三横梁围成开口朝下的卡槽，所述挡板与所述第三横梁相对的面上设置有螺孔，所述固定螺丝穿过所述螺孔进入所述卡槽中。

15、优选地，所述第三横梁与所述挡板相对的面上以及所述固定螺丝进入到所述卡槽的一端均设置有橡胶垫。

16、本实用新型还提供一种半导体工艺设备，包括安装盘、加热器、反应腔和所述的定位安装装置，所述安装盘挂在所述挂钩上，所述加热器与所述安装盘之间可拆卸的连接，所述定位安装装置中的固定结构设置于所述反应腔的侧壁上。

17、与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下有益效果：

18、1、本实用新型的定位安装装置，包括：定位框架，包括至少四个支撑柱，相邻的所述支撑柱的一端相互连接；十字滑台结构，可移动地设置于所述定位框架内；滑轮结构，设置于所述定位框架内，且所述滑轮结构设置于所述十字滑台结构的上方，所述滑轮结构上设置有吊绳，所述吊绳向下穿过所述十字滑台结构与挂钩相连，所述十字滑台结构能够使得所述吊绳在水平方向上移动，所述滑轮结构能够使得所述吊绳在垂直方向上移动；至少四个固定结构，分别设置于所述定位框架的底部，使得在减轻人力负担的同时，能够平稳快捷地安装加热器，并避免反应腔底部的环形弹簧和密封圈受到损坏。

19、2、本实用新型的半导体工艺设备，包括安装盘、加热器、反应腔和所述的定位安装装置，所述安装盘挂在所述挂钩上，所述加热器与所述安装盘之间可拆卸的连接，所述定位安装装置中的固定结构设置于所述反应腔的侧壁上，使得在减轻人力负担的同时，能够平稳快捷地安装加热器，并避免反应腔底部的环形弹簧和密封圈受到损坏。

技术特征：

1.一种定位安装装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的定位安装装置，其特征在于，所述定位框架还包括两个相互平行的第一横梁、两个相互平行的第二横梁、两个相互平行的第三横梁和两个相互平行的第四横梁，所述第一横梁、所述第二横梁和所述第三横梁的两端分别与相邻的两个所述支撑柱连接，且所述第一横梁设置于所述第二横梁的上方，所述第二横梁设置于所述第三横梁的上方，所述第四横梁的两端分别与所述第二横梁连接。

3.如权利要求2所述的定位安装装置，其特征在于，所述十字滑台结构可移动地设置于所述第四横梁上。

4.如权利要求3所述的定位安装装置，其特征在于，所述十字滑台结构包括上滑台结构和下滑台结构，所述上滑台结构可移动地设置于所述下滑台结构上，所述下滑台结构可移动地设置于所述第四横梁上，所述上滑台结构的移动方向与所述下滑台结构的移动方向相互垂直。

5.如权利要求4所述的定位安装装置，其特征在于，所述上滑台结构包括第一平台和第一旋杆，所述第一旋杆水平穿过所述第一平台；所述下滑台结构包括第二平台和第二旋杆，所述第二旋杆水平穿过所述第二平台。

6.如权利要求5所述的定位安装装置，其特征在于，所述第一平台的中间设置有第一孔洞，所述第二平台的中间为中空结构，所述吊绳依次穿过所述第一孔洞和所述中空结构。

7.如权利要求2所述的定位安装装置，其特征在于，所述滑轮结构包括旋钮、支撑杆和滑轮，所述支撑杆穿过所述滑轮的中央并将所述滑轮固定在所述支撑杆上，所述支撑杆的两端分别穿过所述第一横梁，所述旋钮设置于所述支撑杆穿出所述第一横梁的一端。

8.如权利要求2所述的定位安装装置，其特征在于，所述第三横梁设置于所述定位框架的底部，所述固定结构设置于所述第三横梁的侧壁上。

9.如权利要求8所述的定位安装装置，其特征在于，所述固定结构包括l型的挡板和固定螺丝，所述挡板与所述第三横梁围成开口朝下的卡槽，所述挡板与所述第三横梁相对的面上设置有螺孔，所述固定螺丝穿过所述螺孔进入所述卡槽中。

10.如权利要求9所述的定位安装装置，其特征在于，所述第三横梁与所述挡板相对的面上以及所述固定螺丝进入到所述卡槽的一端均设置有橡胶垫。

11.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括安装盘、加热器、反应腔和如权利要求1～10中任一项所述的定位安装装置，所述安装盘挂在所述挂钩上，所述加热器与所述安装盘之间可拆卸的连接，所述定位安装装置中的固定结构设置于所述反应腔的侧壁上。

技术总结
本技术提供了一种定位安装装置及半导体工艺设备，所述定位安装装置包括：定位框架，包括至少四个支撑柱，相邻的所述支撑柱的一端相互连接；十字滑台结构，可移动地设置于所述定位框架内；滑轮结构，设置于所述定位框架内，且所述滑轮结构设置于所述十字滑台结构的上方，所述滑轮结构上设置有吊绳，所述吊绳向下穿过所述十字滑台结构与挂钩相连，所述十字滑台结构能够使得所述吊绳在水平方向上移动，所述滑轮结构能够使得所述吊绳在垂直方向上移动；至少四个固定结构，分别设置于所述定位框架的底部。本技术的技术方案使得在减轻人力负担的同时，能够平稳快捷地安装加热器，并避免反应腔底部的环形弹簧和密封圈受到损坏。

技术研发人员：姚康
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20230427
技术公布日：2024/1/15