一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖的制作方法

本技术涉及真空镀膜炉胆管口领域，特别涉及一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖。

背景技术：

1、parylene真空沉积镀膜工艺是在非常高温和低温以及真空条件下产生分子沉积成薄膜的方式，当前已广泛使用在电子、医疗等零件制作工艺中；其工艺设备中耐高温和真空的炉胆是其主要器件之一，而炉胆的密封和自身加热也是其工艺的关键之一，随着科技的不断发展，人们对于真空镀膜炉胆管口加热密封盖的制造工艺要求也越来越高。

2、现有的真空镀膜炉胆管口加热密封盖在使用时存在一定的弊端，目前市面上普遍用到的炉胆密封盖结构存在一些问题，如密封盖与炉胆不能牢固安装、密封盖无加热导致冷区，密封不良等，因此需要一种新型的炉胆盖结构来解决这些问题，给实际的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖。

技术实现思路

1、解决的技术问题：针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，角度自适应压紧装置确保管口盖与炉胆口方向及中心始终保持符合状态，炉胆管口盖密圈自紧自居中功能，不变形、不走位，确保可靠密封效果，可以有效解决背景技术中的问题。

2、技术方案：为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，包括外盖、内盖与管口盖支撑弓，所述内盖位于外盖的一侧位置，所述外盖的内侧定位有角度自适应压紧机构，所述管口盖支撑弓与角度自适应压紧机构之间连接有连接架，所述角度自适应压紧机构连接有调节轴，所述调节轴的端部连接有压紧旋柄。

3、优选的，所述角度自适应压紧机构的一侧开设有支撑槽，所述调节轴端部位于支撑槽内侧的位置连接有卡轴，所述管口盖支撑弓的两端均一体定位有背柄，所述背柄上开设有销轴。

4、优选的，所述外盖与内盖之间定位有定位销，所述外盖上定位有加热器，所述外盖与内盖之间定位有密封热圈，所述内盖内侧定位有加热机构，所述加热器与加热机构之间连接有连接导线。

5、优选的，所述角度自适应压紧机构与支撑槽之间一体成型，所述调节轴的端部通过卡轴、支撑槽与角度自适应压紧机构之间卡合定位，所述管口盖支撑弓的两端通过背柄与销轴进行定位。

6、优选的，所述加热器与加热机构之间通过连接导线电性连接，所述内盖与加热机构之间卡合固定，所述外盖与内盖之间通过密封热圈进行密封定位。

7、优选的，所述管口盖支撑弓通过角度自适应压紧机构支撑定位外盖的位置，且通过压紧旋柄进行调节。

8、有益效果：与现有技术相比，本实用新型提供了一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，具备以下有益效果：该一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，角度自适应压紧装置确保管口盖与炉胆口方向及中心始终保持符合状态，炉胆管口盖密圈自紧自居中功能，不变形、不走位，确保可靠密封效果，炉胆盖内盖设加热装置，可改善温区死角从而改善无用的冷区沉积，炉胆加热内盖与外盖隔热设计，节能且改善高温操作环境，通过完整而创新的设计方案实现了操作的方便性、可靠性和良好的密封效果，有效提高了parylene真空沉积镀膜生产工艺的质量稳定性，整个真空镀膜炉胆管口加热密封盖结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。

技术特征：

1.一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，包括外盖(1)、内盖(12)与管口盖支撑弓(5)，其特征在于：所述内盖(12)位于外盖(1)的一侧位置，所述外盖(1)的内侧定位有角度自适应压紧机构(2)，所述管口盖支撑弓(5)与角度自适应压紧机构(2)之间连接有连接架(13)，所述角度自适应压紧机构(2)连接有调节轴(7)，所述调节轴(7)的端部连接有压紧旋柄(6)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，其特征在于：所述角度自适应压紧机构(2)的一侧开设有支撑槽(8)，所述调节轴(7)端部位于支撑槽(8)内侧的位置连接有卡轴(3)，所述管口盖支撑弓(5)的两端均一体定位有背柄(4)，所述背柄(4)上开设有销轴(14)。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，其特征在于：所述外盖(1)与内盖(12)之间定位有定位销(16)，所述外盖(1)上定位有加热器(9)，所述外盖(1)与内盖(12)之间定位有密封热圈(10)，所述内盖(12)内侧定位有加热机构(11)，所述加热器(9)与加热机构(11)之间连接有连接导线(15)。

4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，其特征在于：所述角度自适应压紧机构(2)与支撑槽(8)之间一体成型，所述调节轴(7)的端部通过卡轴(3)、支撑槽(8)与角度自适应压紧机构(2)之间卡合定位，所述管口盖支撑弓(5)的两端通过背柄(4)与销轴(14)进行定位。

5.根据权利要求3所述的一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，其特征在于：所述加热器(9)与加热机构(11)之间通过连接导线(15)电性连接，所述内盖(12)与加热机构(11)之间卡合固定，所述外盖(1)与内盖(12)之间通过密封热圈(10)进行密封定位。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，其特征在于：所述管口盖支撑弓(5)通过角度自适应压紧机构(2)支撑定位外盖(1)的位置，且通过压紧旋柄(6)进行调节。

技术总结
本技术公开了一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，包括外盖、内盖与管口盖支撑弓，所述内盖位于外盖的一侧位置，所述外盖的内侧定位有角度自适应压紧机构，所述管口盖支撑弓与角度自适应压紧机构之间连接有连接架，所述角度自适应压紧机构连接有调节轴，所述调节轴的端部连接有压紧旋柄，所述角度自适应压紧机构的一侧开设有支撑槽，所述调节轴端部位于支撑槽内侧的位置连接有卡轴，所述管口盖支撑弓的两端均一体定位有背柄。本技术所述的一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，角度自适应压紧装置确保管口盖与炉胆口方向及中心始终保持符合状态，炉胆管口盖密圈自紧自居中功能，不变形、不走位，确保可靠密封效果。

技术研发人员：杨照国,孙林超,相玉峰
受保护的技术使用者：苏州沃德科电子有限公司
技术研发日：20230506
技术公布日：2024/1/15