本技术涉及光伏太阳能电池生产设备，具体涉及一种石墨组件和气相沉积设备。
背景技术：
1、太阳能电池片制作中需要对硅片表面进行sixny/sio2/sion镀膜，目前管式炉是主要的镀膜设备之一。具体地，管式炉内设有用于支撑石墨舟的电极杆，石墨舟进入管式炉内后并放置在电极杆上，石墨舟的舟脚电极与电极杆接触导通，激发等离子体实现薄膜沉积。
2、然而，推舟机构在将石墨舟放置在电极杆上时会存在一定的位置偏差，从而导致石墨舟上的舟脚电极与电极杆之间会发生一定的错位，在镀膜过程中，舟脚电极与电极杆之间因错位而未接触的部分会直接暴露在等离子体环境中形成不导电的膜层。在长期工作过程中，会减小石墨舟的舟脚电极与电极杆上之间有效导电面积，使得石墨舟与电极杆之间会产生接触不良，从而降低硅片镀膜的均匀性。
技术实现思路
1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种镀膜均匀性好的石墨舟组件。本实用新型的实施例还提出一种镀膜均匀性好的气相沉积设备。
2、本实用新型实施例的石墨舟组件包括石墨舟、封盖、电极杆和保护壳，所述石墨舟上具有电极；所述封盖设于所述石墨舟上且环绕所述电极一周设置；所述电极杆用于设在管式炉内以支撑所述石墨舟，所述电极杆上具有用于与所述电极电连接的导电部；所述保护壳设于所述电极杆上，所述保护壳具有保护腔以及与所述保护腔连通的开口，所述导电部位于所述保护腔内，所述封盖用于封堵所述开口。
3、在一些实施例中，所述电极与所述导电部导通时，在所述封盖的厚度方向上，所述封盖与所述保护壳之间的距离为d,0＜d≤1mm。
4、在一些实施例中，在所述封盖的厚度方向上，所述封盖邻近所述保护壳的一侧具有凸出部，在所述保护壳的高度方向上，所述保护壳邻近所述封盖的一侧具有凹陷部，所述凸出部的至少一部分伸入所述凹陷部内并与所述凹陷部配合。
5、在一些实施例中，所述凸出部环绕所述电极一周设置，所述凹陷部环绕所述导电部一周设置。
6、在一些实施例中，所述凸出部和所述凹陷部之间限定出环形空腔，所述环形空腔环绕所述凸出部一周设置。
7、在一些实施例中，所述封盖上设有用于与所述石墨舟相连的连接孔，所述连接孔沿所述封盖的厚度方向贯穿所述封盖。
8、在一些实施例中，所述保护壳上具有用于安装所述电极杆的安装孔，所述安装孔沿所述保护壳的长度方向贯穿所述保护壳，所述电极杆穿设在所述安装孔上。
9、在一些实施例中，所述保护壳上还具有与所述安装孔连通的定位孔,所述定位孔用于定位件穿过，以对所述电极杆进行定位。
10、在一些实施例中，所述保护壳包括第一壳体和第二壳体，所述第一壳体与所述第二壳体可拆卸地相连，所述第一壳体和所述第二壳体限定出所述保护腔，所述第一壳体上具有第一半圆孔，所述第二壳体上具有第二半圆孔，所述第一半圆孔与所述第二半圆孔配合以形成所述安装孔。
11、本实用新型实施例的气相沉积设备包括管式炉和石墨舟组件，所述石墨舟组件为上述任一实施例中所述的石墨舟组件，所述电极杆设于所述管式炉内，所述石墨舟设于所述管式炉内且所述电极与所述导电部接触导通，所述封盖封堵所述开口。
12、本实用新型实施例的石墨舟组件在对硅片进行镀膜过程中，由于石墨舟上的电极与电极杆上的导电部均位于保护壳的保护腔内，并且封盖封堵了保护壳上的开口，可以避免管式炉内的等离子体进入保护腔内，并在在石墨舟的电极上和电极杆的导电部上因发生沉积而形成镀膜。也就是说，即使当石墨舟上的电极与电极杆上的导电部因安装偏差而发生错位时，石墨舟上的电极与电极杆的导电部之间未接触部分也不会发生气相沉积而形成镀膜，与相关技术相比，本实用新型实施例的石墨舟组件的石墨舟上的电极与电极杆上导电部之间的有效导电面积会始终保持不变，在气相沉积过程中始终能够有效保证接触良好，从而使得镀膜均匀性较好。
13、因此，本实用新型实施例的石墨舟组件具有镀膜均匀性好等优点。
1.一种石墨舟组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的石墨舟组件，其特征在于，所述电极与所述导电部导通时，在所述封盖的厚度方向上，所述封盖与所述保护壳之间的距离为d,0＜d≤1mm。
3.根据权利要求2所述的石墨舟组件，其特征在于，在所述封盖的厚度方向上，所述封盖邻近所述保护壳的一侧具有凸出部，在所述保护壳的高度方向上，所述保护壳邻近所述封盖的一侧具有凹陷部，所述凸出部的至少一部分伸入所述凹陷部内并与所述凹陷部配合。
4.根据权利要求3所述的石墨舟组件，其特征在于，所述凸出部环绕所述电极一周设置，所述凹陷部环绕所述导电部一周设置。
5.根据权利要求4所述的石墨舟组件，其特征在于，所述凸出部和所述凹陷部之间限定出环形空腔，所述环形空腔环绕所述凸出部一周设置。
6.根据权利要求1所述的石墨舟组件，其特征在于，所述封盖上设有用于与所述石墨舟相连的连接孔，所述连接孔沿所述封盖的厚度方向贯穿所述封盖。
7.根据权利要求1所述的石墨舟组件，其特征在于，所述保护壳上具有用于安装所述电极杆的安装孔，所述安装孔沿所述保护壳的长度方向贯穿所述保护壳，所述电极杆穿设在所述安装孔上。
8.根据权利要求7所述的石墨舟组件，其特征在于，所述保护壳上还具有与所述安装孔连通的定位孔,所述定位孔用于定位件穿过，以对所述电极杆进行定位。
9.根据权利要求7所述的石墨舟组件，其特征在于，所述保护壳包括第一壳体和第二壳体，所述第一壳体与所述第二壳体可拆卸地相连，所述第一壳体和所述第二壳体限定出所述保护腔，所述第一壳体上具有第一半圆孔，所述第二壳体上具有第二半圆孔，所述第一半圆孔与所述第二半圆孔配合以形成所述安装孔。
10.一种气相沉积设备，其特征在于，包括：