一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置的制作方法

本技术涉及蒸镀设备，具体是一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置。

背景技术：

1、蒸镀就是真空中通过电流加热，电子束轰击加热和激光加热等方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，它们随即以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜。

2、oled蒸镀过程中，一般是玻璃在上部，填充有蒸镀物质的线型及点型蒸发源模块安装在下部从而进行蒸镀的方式，但是这样的蒸发源会发生因蒸发物质填充量受限或是设备内污染等原因而造成无法永久使用的问题,因此需要对设备进行持续的维护保养。

3、也就是，需要定期将蒸发源从蒸镀室内取出进行维护保养，但是，随着oled面板尺寸的增加，蒸发源的尺寸也会增加，简单的人工很难将蒸发源从蒸发室中取出，现有的技术多是通过使用马达或是千斤顶与马达组合的方式带动蒸发源上下运动，在蒸发源运动到蒸发室门口后将其取出。

4、对于使用马达的方法，马达位于构成蒸发源模块的小型矩形腔室或是适配器的四周从而驱动蒸发源模块进行上下动作,因为是通过齿轮来传达马达的动力，随着加工误差或是重量的增加，会因为尺寸变大的齿轮的反作用等导致难以进行准确的水平移动。

5、对于千斤顶与马达组合使用的方法,千斤顶安装在构成蒸发源模块的小型矩形腔室或是适配器的四周,4个千斤顶连接在一个马达上,通过一个马达驱动蒸发源模块移动,这个方法也会因为千斤顶的加工误差、反作用等导致难以进行准确的水平移动。

6、另外随着上下动作的模块的负载变大，马达的容量也会变大,就可能会发生因相关齿轮或是千斤顶加工尺寸变大而导致的难以进行精密控制的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，包括蒸镀室以及设置于所述蒸镀室内的蒸发源，所述蒸镀室内设有用于放置蒸发源的安装平台，所述安装平台与所述蒸镀室上下滑动连接，所述蒸镀室内设有用于驱动所述安装平台上下运动的驱动部，所述驱动部包括驱动电机，所述驱动电机与所述安装平台通过传动部动力连接，所述蒸镀室内设有用于平衡所述安装平台、蒸发源的重量的平衡锤。

4、作为本实用新型进一步的方案：所述安装平台通过支撑部与所述蒸镀室上下滑动连接。

5、作为本实用新型进一步的方案：所述支撑部为导向杆，所述导向杆设有四根且四根所述导向杆分别位于所述安装平台的四角处，所述安装平台四角处均设有通孔，所述导向杆插接于所述通孔内。

6、作为本实用新型进一步的方案：所述蒸镀室一侧设有蒸镀室门，所述蒸镀室门位于所述蒸发源一侧。

7、作为本实用新型进一步的方案：所述安装平台上端设有蒸发源支撑板，所述蒸发源位于所述蒸发源支撑板上端。

8、作为本实用新型进一步的方案：所述蒸发源支撑板与所述安装平台水平滑动连接，所述安装平台上端设有滚轴，所述蒸发源支撑板位于所述滚轴上端。

9、作为本实用新型进一步的方案：所述平衡锤设有四部，四部所述平衡锤分别位于所述安装平台的四角处。

10、作为本实用新型进一步的方案：所述传动部为齿轮齿条。

11、作为本实用新型进一步的方案：所述平衡锤包括配重以及与所述配重连接的绳索，所述绳索的另一端与所述安装平台连接，所述绳索的中部绕过定滑轮，所述定滑轮位于所述安装平台的上端且与所述蒸镀室连接。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

13、1、本申请通过在蒸发室内设有多个平衡锤，通过平衡锤来平衡蒸发源及其支撑设备的重量，使得蒸发源及其支撑设备处于受力平衡的状态，进而只需要极小的力就可以推动蒸发源上下运动，因而，可以使用小功率的驱动电机，同时在工作过程中驱动电机及传动装置的负荷都很小，可以降低传动装置的加工要求，提高使用寿命和控制精度；

14、2、本申请通过在安装平台上设有滚轴，蒸发源支撑板通过滚轴与安装平台水平滑动连接，进而在蒸发源降低到所需高度后，工作人员可以简单快速且省力的将蒸发源水平抽出蒸发室，极大了减轻了工作人员的劳动强度，提高了工作效率。

技术特征：

1.一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，包括蒸镀室(1)以及设置于所述蒸镀室(1)内的蒸发源(2)，其特征在于，所述蒸镀室(1)内设有用于放置蒸发源(2)的安装平台(4)，所述安装平台(4)与所述蒸镀室(1)上下滑动连接，所述蒸镀室(1)内设有用于驱动所述安装平台(4)上下运动的驱动部，所述驱动部包括驱动电机(5)，所述驱动电机(5)与所述安装平台(4)通过传动部(6)动力连接，所述蒸镀室(1)内设有用于平衡所述安装平台(4)、蒸发源(2)的重量的平衡锤(7)。

2.根据权利要求1所述的一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，其特征在于，所述安装平台(4)通过支撑部(8)与所述蒸镀室(1)上下滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，其特征在于，所述支撑部(8)为导向杆，所述导向杆设有四根且四根所述导向杆分别位于所述安装平台(4)的四角处，所述安装平台(4)四角处均设有通孔，所述导向杆插接于所述通孔内。

4.根据权利要求1所述的一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，其特征在于，所述蒸镀室(1)一侧设有蒸镀室门(9)，所述蒸镀室门(9)位于所述蒸发源(2)一侧。

5.根据权利要求1所述的一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，其特征在于，所述安装平台(4)上端设有蒸发源支撑板(3)，所述蒸发源(2)位于所述蒸发源支撑板(3)上端。

6.根据权利要求5所述的一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，其特征在于，所述蒸发源支撑板(3)与所述安装平台(4)水平滑动连接，所述安装平台(4)上端设有滚轴，所述蒸发源支撑板(3)位于所述滚轴上端。

7.根据权利要求1所述的一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，其特征在于，所述平衡锤(7)设有四部，四部所述平衡锤(7)分别位于所述安装平台(4)的四角处。

8.根据权利要求1所述的一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，其特征在于，所述传动部(6)为齿轮齿条。

9.根据权利要求1所述的一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，其特征在于，所述平衡锤(7)包括配重以及与所述配重连接的绳索，所述绳索的另一端与所述安装平台(4)连接，所述绳索的中部绕过定滑轮，所述定滑轮位于所述安装平台(4)的上端且与所述蒸镀室(1)连接。

技术总结
本技术公开了一种蒸镀设备蒸发源上下动作装置，包括蒸镀室以及设置于所述蒸镀室内的蒸发源，所述蒸镀室内设有用于放置蒸发源的安装平台，所述安装平台与所述蒸镀室上下滑动连接，所述蒸镀室内设有用于驱动所述安装平台上下运动的驱动部，所述驱动部包括驱动电机，所述驱动电机与所述安装平台通过传动部动力连接，所述蒸镀室内设有用于平衡所述安装平台、蒸发源的重量的平衡锤，本申请通过在蒸发室内设有多个平衡锤，通过平衡锤来平衡蒸发源及其支撑设备的重量，因而，可以使用小功率的驱动电机，同时在工作过程中驱动电机及传动装置的负荷都很小，可以降低传动装置的加工要求，提高使用寿命和控制精度。

技术研发人员：曹景博,李浩永,吴洁
受保护的技术使用者：合肥欣奕华智能机器股份有限公司
技术研发日：20230602
技术公布日：2024/1/15