一种超薄切片抛光真空吸附装置的制作方法

本技术属于机械加工，具体涉及一种超薄切片抛光真空吸附装置。

背景技术：

1、在机械加工中，化学机械抛光(cmp)技术是采用化学反应与机械摩擦的双重作用达到器件表面平整与抛光的目的，由于其化学作用的高选择性以及其可将器件表面粗糙度打磨到原子级别的优异物理特性，它目前不仅是半导体工业，尤其集成电路与芯片制造领域的首选表面平整技术，还广泛应用于半导体分立器件、光学器件、手机面板、以及要求高度表面平整化的高精密加工领域，可用cmp技术所抛光研磨的器件涵盖了半导体晶片、陶瓷、玻璃、塑料、金属等不同材料。

2、现有将半导体晶片切片之后，需要对其进行抛光处理，使得其表面变得更加的平滑，将其抛光完成之后，需要将其从抛光平台上取下来进行收集，由于切片半导体材质较薄，直接使用手来将其进行收集是难以完成的，因而现有技术一般采用真空吸盘的方式将其吸起来，然而为了避免将半导体表面刮出划痕或将使其受到磕碰，一般会在吸附盘的下表面安装橡胶垫，一方面密封效果好，因而吸附起来之后其不会发生掉落的情况，另一方便能够起到减震作用，避免切片受到碰撞出现裂缝或划痕，然而由于切片表面较为平滑，橡胶垫受到挤压之后，可能会沾附在其表面，之后将其放下时，需要借助人手拨动会风力吹动才能够将其放下，因而使用不够方便。

3、为解决上述问题，本申请中提出一种超薄切片抛光真空吸附装置。

技术实现思路

1、为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种超薄切片抛光真空吸附装置，具有能够快速将切片取放的特点。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种超薄切片抛光真空吸附装置，包括安装底板及设置在所述安装底板顶端的收集台和抛光工作台，抛光工作台上安装有相应的输送构件，能够将抛光后的超薄切片向前进行输送，为现有技术，此处不做过多赘述，所述抛光工作台的顶端设有超薄切片，所述安装底板的顶端设有真空吸附组件，所述真空吸附组件包括设置在所述收集台和抛光工作台上方的第一移动构件，以及滑动设置在所述第一移动构件下方的真空吸附构件，所述真空吸附构件包括可升降的吸附板，所述吸附板的两侧均向外延伸有两个一体成型的安装耳，所述安装耳的底端安装有弹性伸缩件，所述弹性伸缩件的底端安装有海绵板，海绵板自身具有一定的弹力，因而能够对超薄切片起到减震缓冲的作用，避免其受到冲击而发生破损，此外海绵板自身之间具有孔隙，其与超薄切片挤压接触之后与之沾附。

4、作为本实用新型一种超薄切片抛光真空吸附装置优选的，所述安装底板的顶端安装有安装架。

5、作为本实用新型一种超薄切片抛光真空吸附装置优选的，所述第一移动构件包括设置在所述安装架底端的第一滑轨，所述第一滑轨的内部转动设置有第一丝杆，所述第一滑轨的一侧安装有第一电机，所述第一丝杆与所述第一电机的主轴连接，第一丝杆上螺纹套接有第一滑块，所述第一滑块滑动设置在所述第一滑轨的内部，所述第一滑块的底端安装有电动伸缩杆，所述吸附板设置在所述电动伸缩杆的底端。

6、作为本实用新型一种超薄切片抛光真空吸附装置优选的，所述吸附板的顶端设置有真空发生器，所述吸附板的内部开设有内腔，所述内腔内设置有连接板，所述连接板上开设有多个均匀排列的贯穿通孔，所述真空发生器的输出端伸入到所述内腔内部，所述吸附板的底端安装有橡胶垫，所述吸附板的一侧安装有进气管，所述进气管上安装有电磁阀。

7、作为本实用新型一种超薄切片抛光真空吸附装置优选的，所述安装架的底端设有吹风组件，所述吹风组件包括设置在所述安装架底端的第二移动构件和滑动设置在所述第二移动构件下方的吹风构件，所述吹风构件包括设置在所述第二移动构件下方的两个连接竖板，所述连接竖板的底端安装有汇集板，所述汇集板的顶端安装有风机，所述风机的输出端与所述汇集板连接，所述汇集板的底端安装有若干个均匀排列的高压喷气头，两个连接竖板之间的距离较大，因而不会对真空吸附构件的移动造成影响，风机工作，高压喷气头能够喷出高压气体，其在第二移动构件的作用下能够进行移动，因而能够将超薄切片表面多余的抛光吹走，避免其影响真空吸附构件的吸附。

8、作为本实用新型一种超薄切片抛光真空吸附装置优选的，所述第二移动构件包括设置在所述安装架底端的两个第二滑轨，两个所述第二滑轨对称设置在所述第一滑轨的两侧，其中一个所述第二滑轨的内部转动设置有第二丝杆，其中另一个所述第二滑轨的内部设置有滑杆，两个所述连接竖板分别滑动设置在两个所述第二滑轨的内部，其中一个所述连接竖板螺纹套接在所述第二丝杆，另一个所述连接竖板套接在所述滑杆上。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1、通过设置的真空吸附构件能够将超薄切片吸附起来，进而能够使得弹性伸缩件蓄能，之后将超薄切片移动到合适位置之后，真空发生器关闭，电磁阀打开，使得吸附板对超薄切片的吸附力消失，之后在弹性伸缩件的弹力作用下，超薄切片能够从吸附板上放下来，解决了现有技术中将超薄切片吸取之后难以放下来的技术问题，因而使用时不需要人的辅助，使用更加的方便；

11、2、通过设置的吹风组件能够将超薄切片表面残留的抛光液吹走，因而真空吸附构件工作时，抛光液不会被吸入到吸附板内，进而能够对真空发生器起到保护作用。

技术特征：

1.一种超薄切片抛光真空吸附装置，包括安装底板(1)及设置在所述安装底板(1)顶端的收集台(4)和抛光工作台(5)，所述抛光工作台(5)的顶端设有超薄切片(6)，其特征在于：所述安装底板(1)的顶端设有真空吸附组件(2)，所述真空吸附组件(2)包括设置在所述收集台(4)和抛光工作台(5)上方的第一移动构件(201)，以及滑动设置在所述第一移动构件(201)下方的真空吸附构件(202)，所述真空吸附构件(202)包括可升降的吸附板(204)，所述吸附板(204)的两侧均向外延伸有两个一体成型的安装耳，所述安装耳的底端安装有弹性伸缩件(207)，所述弹性伸缩件(207)的底端安装有海绵板(208)。

2.根据权利要求1所述的超薄切片抛光真空吸附装置，其特征在于：所述安装底板(1)的顶端安装有安装架(101)。

3.根据权利要求2所述的超薄切片抛光真空吸附装置，其特征在于：所述第一移动构件(201)包括设置在所述安装架(101)底端的第一滑轨，所述第一滑轨的内部转动设置有第一丝杆，所述第一滑轨的一侧安装有第一电机，所述第一丝杆与所述第一电机的主轴连接，第一丝杆上螺纹套接有第一滑块，所述第一滑块滑动设置在所述第一滑轨的内部，所述第一滑块的底端安装有电动伸缩杆(203)，所述吸附板(204)设置在所述电动伸缩杆(203)的底端。

4.根据权利要求3所述的超薄切片抛光真空吸附装置，其特征在于：所述吸附板(204)的顶端设置有真空发生器(206)，所述吸附板(204)的内部开设有内腔，所述内腔内设置有连接板(205)，所述连接板(205)上开设有多个均匀排列的贯穿通孔，所述真空发生器(206)的输出端伸入到所述内腔内部，所述吸附板(204)的底端安装有橡胶垫，所述吸附板(204)的一侧安装有进气管，所述进气管上安装有电磁阀。

5.根据权利要求3所述的超薄切片抛光真空吸附装置，其特征在于：所述安装架(101)的底端设有吹风组件(3)，所述吹风组件(3)包括设置在所述安装架(101)底端的第二移动构件(301)和滑动设置在所述第二移动构件(301)下方的吹风构件(302)，所述吹风构件(302)包括设置在所述第二移动构件(301)下方的两个连接竖板(303)，所述连接竖板(303)的底端安装有汇集板(304)，所述汇集板(304)的顶端安装有风机(305)，所述风机(305)的输出端与所述汇集板(304)连接，所述汇集板(304)的底端安装有若干个均匀排列的高压喷气头(306)。

6.根据权利要求5所述的超薄切片抛光真空吸附装置，其特征在于：所述第二移动构件(301)包括设置在所述安装架(101)底端的两个第二滑轨，两个所述第二滑轨对称设置在所述第一滑轨的两侧，其中一个所述第二滑轨的内部转动设置有第二丝杆，其中另一个所述第二滑轨的内部设置有滑杆，两个所述连接竖板(303)分别滑动设置在两个所述第二滑轨的内部，其中一个所述连接竖板(303)螺纹套接在所述第二丝杆，另一个所述连接竖板(303)套接在所述滑杆上。

技术总结
本技术属于机械加工技术领域，尤其为一种超薄切片抛光真空吸附装置，包括安装底板及设置在所述安装底板顶端的收集台和抛光工作台，所述抛光工作台的顶端设有超薄切片，所述安装底板的顶端设有真空吸附组件，所述真空吸附组件包括设置在所述收集台和抛光工作台上方的第一移动构件，以及滑动设置在所述第一移动构件下方的真空吸附构件；本技术将超薄切片移动到合适位置之后，真空发生器关闭，电磁阀打开，使得吸附板对超薄切片的吸附力消失，之后在弹性伸缩件的弹力作用下，超薄切片能够从吸附板上放下来，解决了现有技术中将超薄切片吸取之后难以放下来的技术问题，因而使用时不需要人的辅助，使用更加的方便。

技术研发人员：袁红江,吕见,刘萧,陈刚,李姣姣
受保护的技术使用者：澎立检测技术（上海）有限公司
技术研发日：20230612
技术公布日：2024/1/15