一种新材料加工用研磨机的制作方法

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种新材料加工用研磨机。

背景技术：

1、现有技术中，半导体材料已经发展到第三代，相应的材料加工设备也随之发展更新，半导体在生产时需要对材料其表面进行研磨抛光，且抛光的一致性、均匀性和粗糙度对生产芯片来说是十分重要的，现阶段大部分是采用平面研磨设备加抛光液来实现对半导体表面的抛光操作，如公开技术提及的半导体材料研磨抛光机，包括外壳、底盘、底部研磨盘、转动槽、转动电机、扩展板、顶部研磨盘，该技术较为详细的介绍了对半导体新材料研磨加工的方式；

2、但是该类设备使用中，存在一定的弊端，半导体材料特别是氮化镓、碳化硅等新材料，其硬度非常高，同理，其脆性也很大，边角处研磨受力时特别容易出现崩角，崩角的原因可能是前序加工造成的，也可能是材料自身应力的问题，虽然大部分研磨工序前都会将材料边角加工成圆弧角，以减少崩角，但仍不可避免，使用常规的研磨设备研磨表面时，因为是旋转时循环往复加工，一旦崩角处没有被研磨液冲走，停留在材料表面，根据常理，同等硬度的物品可以相互划伤，会导致材料表面出现不可修复的划伤，进而导致材料报废，浪费材料又浪费工时，针对于此，有必要对半导体新材料加工用的研磨机结构进行改进。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新材料加工用研磨机。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种新材料加工用研磨机，包括外壳、研磨液添加管、负压泵，所述外壳上设置有底部研磨盘、顶部研磨盘，所述外壳上壁固定连接有横梁，所述横梁下壁通过导向结构滑动连接有两组悬挂板，两组所述悬挂板呈前后分布，所述悬挂板与横梁之间设置有用于驱动悬挂板上升以及下降的升降结构，所述悬挂板与横梁之间还设置有用于检测悬挂板相对高度的高度检测结构，所述悬挂板下壁且靠近前后两端分别固定连接有第二侧板、第一侧板，所述第二侧板、第一侧板之间转动连接有用于吸走研磨液的吸液罩，所述吸液罩下壁设置有吸液口，所述吸液罩与第二侧板、第一侧板之间设置有用于驱动吸液罩沿其轴心旋转以调整吸液口角度的旋转驱动组件，所述吸液罩外壁且位于远离吸液口的一侧固定连接有接头，所述接头远离吸液罩的一端通过管道与负压泵连接，所述吸液罩内侧壁固定连接有隔圈，所述隔圈与吸液罩内侧壁之间形成连通吸液口和接头的通道。

3、作为上述技术方案的进一步描述：

4、所述导向结构包括两组导向杆，两组所述导向杆分别固定连接在两组悬挂板上壁且分别位于两组悬挂板长度方向居中位置，两组所述导向杆远离悬挂板的一端均贯穿横梁并与之滑动连接。

5、作为上述技术方案的进一步描述：

6、所述升降结构包括两组气缸，两组所述气缸均固定连接在横梁上壁，两组所述气缸伸出轴端部均贯穿横梁内壁并均伸出至横梁下方，所述悬挂板上壁与两组气缸伸出轴端部固定连接。

7、作为上述技术方案的进一步描述：

8、所述高度检测结构包括两组距离传感器，两组所述距离传感器均固定连接在悬挂板上壁且分别靠近前后两端。

9、作为上述技术方案的进一步描述：

10、所述旋转驱动组件包括电机、转轴以及角度位移传感器，所述角度位移传感器固定连接在第一侧板后壁，所述转轴贯穿设置在角度位移传感器、第一侧板之间并朝向第一侧板前侧伸出，所述转轴伸出至第一侧板前侧的一端与吸液罩后端固定连接，所述电机固定连接在第二侧板前壁，所述电机伸出至端部贯穿第二侧板内壁并朝向第二侧板后侧伸出，所述电机伸出至端部通过联轴器、固定杆与吸液罩前端固定连接。

11、作为上述技术方案的进一步描述：

12、所述吸液口内侧壁固定连接有硅胶铲嘴，所述硅胶铲嘴与吸液口之间形成的开口与底部研磨盘旋转方向呈迎面设置。

13、本实用新型具有如下有益效果：

14、1、与现有技术相比，该新材料加工用研磨机，在底部研磨盘上四处产品摆放区中呈前后分布的两处上方设置通过负压泵产生吸附力的吸液罩，进过硅胶铲嘴铲在产品表面上，将研磨后的研磨液铲入吸液罩内部并顺着通道被负压泵吸走，被吸走的研磨液经过过滤处理后可再次使用，通过将顶部研磨盘研磨后的产品经两组吸液罩将产品表面使用过的研磨液吸走，避免了研磨过程中崩角脱落的碎片继续进入研磨区域造成的产品表面划伤，大大提高了产品合格率；

15、2、与现有技术相比，该新材料加工用研磨机，吸液罩上吸液口的角度、硅胶铲嘴与产品的贴合力度可分别通过电机、气缸进行调整，调节十分方便，通过编码器以及距离传感器可以控制调节的精准度。

技术特征：

1.一种新材料加工用研磨机，包括外壳(1)、研磨液添加管、负压泵，所述外壳(1)上设置有底部研磨盘、顶部研磨盘，所述底部研磨盘上设置有四处呈圆周等分分布的产品摆放区，其特征在于：所述外壳(1)上壁固定连接有横梁(2)，所述横梁(2)下壁通过导向结构滑动连接有两组悬挂板(5)，两组所述悬挂板(5)呈前后分布，所述悬挂板(5)与横梁(2)之间设置有用于驱动悬挂板(5)上升以及下降的升降结构，所述悬挂板(5)与横梁(2)之间还设置有用于检测悬挂板(5)相对高度的高度检测结构，所述悬挂板(5)下壁且靠近前后两端分别固定连接有第二侧板(7)、第一侧板(6)，所述第二侧板(7)、第一侧板(6)之间转动连接有用于吸走研磨液的吸液罩(9)，所述吸液罩(9)下壁设置有吸液口(17)，所述吸液罩(9)与第二侧板(7)、第一侧板(6)之间设置有用于驱动吸液罩(9)沿其轴心旋转以调整吸液口(17)角度的旋转驱动组件，所述吸液罩(9)外壁且位于远离吸液口(17)的一侧固定连接有接头(13)，所述接头(13)远离吸液罩(9)的一端通过管道与负压泵连接，所述吸液罩(9)内侧壁固定连接有隔圈(16)，所述隔圈(16)与吸液罩(9)内侧壁之间形成连通吸液口(17)和接头(13)的通道。

2.根据权利要求1所述的一种新材料加工用研磨机，其特征在于：所述导向结构包括两组导向杆(4)，两组所述导向杆(4)分别固定连接在两组悬挂板(5)上壁且分别位于两组悬挂板(5)长度方向居中位置，两组所述导向杆(4)远离悬挂板(5)的一端均贯穿横梁(2)并与之滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种新材料加工用研磨机，其特征在于：所述升降结构包括两组气缸(3)，两组所述气缸(3)均固定连接在横梁(2)上壁，两组所述气缸(3)伸出轴端部均贯穿横梁(2)内壁并均伸出至横梁(2)下方，所述悬挂板(5)上壁与两组气缸(3)伸出轴端部固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种新材料加工用研磨机，其特征在于：所述高度检测结构包括两组距离传感器(12)，两组所述距离传感器(12)均固定连接在悬挂板(5)上壁且分别靠近前后两端。

5.根据权利要求4所述的一种新材料加工用研磨机，其特征在于：所述旋转驱动组件包括电机(10)、转轴(8)以及角度位移传感器(15)，所述角度位移传感器(15)固定连接在第一侧板(6)后壁，所述转轴(8)贯穿设置在角度位移传感器(15)、第一侧板(6)之间并朝向第一侧板(6)前侧伸出，所述转轴(8)伸出至第一侧板(6)前侧的一端与吸液罩(9)后端固定连接，所述电机(10)固定连接在第二侧板(7)前壁，所述电机(10)伸出至端部贯穿第二侧板(7)内壁并朝向第二侧板(7)后侧伸出，所述电机(10)伸出至端部通过联轴器(11)、固定杆与吸液罩(9)前端固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种新材料加工用研磨机，其特征在于：所述吸液口(17)内侧壁固定连接有硅胶铲嘴(14)，所述硅胶铲嘴(14)与吸液口(17)之间形成的开口与底部研磨盘旋转方向呈迎面设置。

技术总结
本技术公开了一种新材料加工用研磨机，包括外壳、研磨液添加管、负压泵。本技术，在底部研磨盘上四处产品摆放区中呈前后分布的两处上方设置通过负压泵产生吸附力的吸液罩，进过硅胶铲嘴铲在产品表面上，将研磨后的研磨液铲入吸液罩内部并顺着通道被负压泵吸走，被吸走的研磨液经过过滤处理后可再次使用，通过将顶部研磨盘研磨后的产品经两组吸液罩将产品表面使用过的研磨液吸走，避免了研磨过程中崩角脱落的碎片继续进入研磨区域造成的产品表面划伤，大大提高了产品合格率，吸液罩上吸液口的角度、硅胶铲嘴与产品的贴合力度可分别通过电机、气缸进行调整，调节十分方便，通过编码器以及距离传感器可以控制调节的精准度。

技术研发人员：刘尚书,汪民,黄伟,施建华
受保护的技术使用者：磊菱半导体设备（江苏）有限公司
技术研发日：20230619
技术公布日：2024/1/15