蒸镀设备的制作方法

本申请涉及蒸镀，特别是涉及蒸镀设备。

背景技术：

1、蒸镀工艺被广泛地应用于电子器件的镀膜生产过程中，通过电阻加热或电子束加热等方式使源材料加热到一定温度发生蒸发或升华，气化后的源材料凝结沉积在待蒸镀件的表面而完成镀膜。在此过程中，由于镀膜的均匀性难以控制，难以对大批量的待蒸镀件进行镀膜，进而使得生产效率和源材料的利用率有待提高。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种蒸镀设备，以在提高生产效率及源材料的利用率的同时提高镀膜的均匀性。

2、本申请实施例提供了一种蒸镀设备，包括：

3、蒸镀本体，蒸镀本体内设有蒸镀腔；

4、蒸镀源，设于蒸镀腔内；以及

5、多个载具，设于蒸镀腔内，且位于蒸镀源的上方，载具用于承载待蒸镀件；

6、其中，每一载具配置为能够围绕第一轴线转动，以及围绕该载具的中心轴线转动；

7、载具具有近端和远端，多个载具的近端彼此相向设置，多个载具的远端彼此远离设置；

8、载具构造为从近端向远端朝向蒸镀源倾斜地延伸。

9、在其中一个实施例中，多个载具配置为围绕第一轴线均匀布置。

10、在其中一个实施例中，多个载具包括多组载具组；

11、每一组载具组包括关于第一轴线对称设置的两个载具。

12、在其中一个实施例中，定义载具围绕第一轴线的转动速度为第一转动速度，定义载具围绕中心轴线的转动速度为第二转动速度；

13、第一转动速度小于第二转动速度。

14、在其中一个实施例中，第一转动速度为5r/min-20r/min，第二转动速度为10r/min-30r/min。

15、在其中一个实施例中，第一轴线与中心轴线呈预设角度设置；

16、预设角度为40°-75°。

17、在其中一个实施例中，蒸镀设备还包括扰流件；

18、扰流件沿第一轴线的延伸方向位于蒸镀源和多个载具之间；

19、扰流件用于选择性地通过或阻挡蒸镀材料，以调节待蒸镀件的镀膜速率。

20、在其中一个实施例中，扰流件配置为能够围绕第一轴线转动；或者

21、扰流件配置为相对于蒸镀源保持静止。

22、在其中一个实施例中，扰流件设置有多个，多个扰流件的数量与多个载具的数量相同；

23、蒸镀设备具有预设状态，蒸镀设备处于预设状态，扰流件在参考面上的正投影位于对应的一个载具在参考面上的正投影内；

24、参考面为垂直于第一轴线的平面。

25、在其中一个实施例中，蒸镀设备还包括沿第一轴线的延伸方向间隔设置的第一环形导轨和第二环形导轨；

26、载具的近端和远端的其中一端可活动配合于第一环形导轨，载具的近端和远端的其中另一端可活动配合于第二环形导轨，以使载具能够绕中心轴线转动；

27、第一环形导轨配置为能够绕第一轴线转动，以带动载具相对于第二环形导轨产生滑动，进而使得载具绕第一轴线转动。

28、上述蒸镀设备中，蒸镀设备至少包括蒸镀本体、蒸镀源和多个载具，通过设置多个载具，多个载具的近端彼此相向设置，多个载具的远端彼此远离设置，且载具构造为从近端向远端朝向蒸镀源倾斜地延伸，使得多个载具的布置形式大致上是倾斜的，能够提高承载的待蒸镀件的数量，进而提高生产效率和提高源材料的利用率。此外，由于载具在围绕第一轴线转动的同时能够围绕自身的中心轴线转动，能够在提高生产效率和提高源材料的利用率的基础上提高镀膜的均匀性。

技术特征：

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述多个载具配置为围绕所述第一轴线均匀布置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述多个载具包括多组载具组；

4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，定义所述载具围绕所述第一轴线的转动速度为第一转动速度，定义所述载具围绕所述中心轴线的转动速度为第二转动速度；

5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一转动速度为5r/min-20r/min，所述第二转动速度为10r/min-30r/min。

6.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一轴线与所述中心轴线呈预设角度设置；

7.根据权利要求1-6任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括扰流件；

8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，所述扰流件配置为能够围绕所述第一轴线转动；或者

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述扰流件设置有多个，所述多个扰流件的数量与所述多个载具的数量相同；

10.根据权利要求1-6任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括沿所述第一轴线的延伸方向间隔设置的第一环形导轨和第二环形导轨；

技术总结
本申请涉及蒸镀技术领域，特别是涉及蒸镀设备。上述蒸镀设备中，蒸镀设备至少包括蒸镀本体、蒸镀源和多个载具，通过设置多个载具，多个载具的近端彼此相向设置，多个载具的远端彼此远离设置，且载具构造为从近端向远端朝向蒸镀源倾斜地延伸，使得多个载具的布置形式大致上是倾斜的，能够提高承载的待蒸镀件的数量，进而提高生产效率和提高源材料的利用率。此外，由于载具在围绕第一轴线转动的同时能够围绕自身的中心轴线转动，能够在提高生产效率和提高源材料的利用率的基础上提高镀膜的均匀性。

技术研发人员：高纪凡,徐锐,张学玲,朱俊,冯志强
受保护的技术使用者：天合光能股份有限公司
技术研发日：20230712
技术公布日：2024/2/6