一种等离子镀膜炉管的制作方法

本申请涉及光伏电池，具体而言，涉及一种等离子镀膜炉管。

背景技术：

1、等离子炉管洁净度以及导电电极接触优良的导电性能在整个硅电池制备领域中极其重要。石墨舟装片完成后进入炉管内，以软着陆方式放置在陶瓷支撑杆上，陶瓷支撑杆上导电石墨块与石墨舟脚刚好接触吻合形成导电接触；如果在日常生产过程中炉管碎片落在石墨块区域，碎片贴在石墨块上不能及时去除，接触过程中就会导致石墨块电极与石墨舟接触不良，造成打弧、高频以及其它异常造成工艺中断或者镀膜异常；镀膜异常的硅片即使一部分外观异常可以通过aoi拦截返工，但是对于外观膜色无明显异常很容易流传至后道工序；镀膜异常造成钝化异常，致密性异常，其它缺陷凸显等问题也会造成pid、el以及电性能异常。本申请提供了一种等离子镀膜炉管，改变了等离子体管式设备炉口位置电极安装方式，将电极接触位置从石墨舟脚调整为炉口炉门上电极杆导电；利用空间和位置优势保证电极与石墨舟接触位置没有碎片堆积干扰；大大降低对导电接触的影响，降低了因碎片造成镀膜异常、高频等返工以及补镀；极大的提高了成品率和产能，而且对硅片整体的电性能提升也有优势。

技术实现思路

1、目前业内车间等离子放电炉管炉口舟导电位置是导电石墨块安装在陶瓷支撑杆位置，石墨舟软着陆后依靠重力和石墨块贴紧形成导电，虽然安装简单，但是无法避免碎片干扰，碎片影响石墨块和石墨舟之间的接触，一旦出现导电接触不良需人工使用铁质工具打磨石墨块，打磨过石墨块的炉管需要通过饱和来降低炉管污染的影响，饱和工艺耗时较长大大影响了产能，如果饱和处理不到位，金属离子的污染降低硅片少子寿命，影响硅片的少子寿命。

2、为了解决上述问题，本申请提供了一种等离子镀膜炉管，包括石英管体、炉门、石墨舟、第一电极杆和第二电极杆。通过调整炉口石墨舟导电电极孔安装方式，能够极大改善普通安装方式带来的电极块导电不良，还可以缓解日常保养电极块的更换以及导电不良电极块的打磨，降低打磨以及更换带来的炉管污染以及炉管饱和影响。

3、本申请的技术方案如下：

4、一种等离子镀膜炉管，其中，所述炉管包括：

5、石英管体，所述石英管体内腔中空；

6、炉门，所述炉门用于封闭所述石英管体一端；

7、石墨舟，所述石墨舟位于所述石英管体内腔，其用于等离子镀膜；

8、第一电极杆和第二电极杆，所述第一电极杆和第二电极杆均位于所述炉门上并至少朝向所述石英管体内腔，所述第一电极杆和第二电极杆用于向石墨舟供电。

9、进一步的，所述石墨舟包括：

10、多个石墨片，所述多个石墨片平行排布；

11、多个石墨块，所述多个石墨块分为两排设置，即第一排石墨块和第二排石墨块，所述每个石墨块位于两个相邻石墨片之间；

12、第一电极孔和第二电极孔，所述第一电极孔与第一排石墨块相连，所述第二电极孔与第二排石墨块相连。

13、进一步的，所述石墨舟的第一排石墨块与第二排石墨块的排列方向与所述石墨片垂直。

14、进一步的，所述石墨舟还包括第一陶瓷杆和第二陶瓷杆，所述第一排石墨块串联于所述第一陶瓷杆上，所述第二排石墨块串联于所述第二陶瓷杆上。

15、进一步的，所述石墨舟还包括第三陶瓷杆，所述多个石墨片串联于所述第三陶瓷杆上。

16、进一步的，所述石墨舟包括多个卡点，所述每个卡点均位于石墨片上。

17、进一步的，所述第一电极杆与第一电极孔配合，第二电极杆与第二电极孔配合。

18、进一步的，所述石英管体内壁有两根与石英管体内壁相切的陶瓷支撑杆，沿炉管中轴线左右对称分布，所述陶瓷支撑杆延伸方向与所述石英管体延伸方向相同。

19、进一步的，所述石墨舟放置在所述陶瓷支撑杆上。

20、进一步的，所述炉门为同轴的双层圆柱体结构，朝向所述石英管体一侧的第一圆柱体半径小于远离所述石英管体一侧的第二圆柱体半径。

21、进一步的，所述第一圆柱体直径小于所述石英管体内圈直径。

22、进一步的，所述第一电极杆和第二电极杆垂直于所述炉门的圆形截面安装，并且贯穿炉门的两个圆柱体结构。

23、本申请的有益效果为：

24、本申请提供了一种等离子镀膜炉管，利用空间和位置优势保证电极与石墨舟接触位置没有碎片堆积干扰，使得炉口舟达到最好的接触导电方式；同时，缓解日常保养电极块的更换以及导电不良电极块的打磨的压力，降低打磨以及更换带来的炉管污染以及炉管饱和影响，提高了生产效率。

技术特征：

1.一种等离子镀膜炉管，其中，所述炉管包括：

2.根据权利要求1所述的炉管，其中，所述石墨舟包括：

3.根据权利要求2所述的炉管，其中，所述石墨舟的第一排石墨块与第二排石墨块的排列方向与所述石墨片垂直。

4.根据权利要求2所述的炉管，其中，所述石墨舟还包括第一陶瓷杆和第二陶瓷杆，所述第一排石墨块串联于所述第一陶瓷杆上，所述第二排石墨块串联于所述第二陶瓷杆上。

5.根据权利要求2所述的炉管，其中，所述石墨舟还包括第三陶瓷杆，所述多个石墨片串联于所述第三陶瓷杆上。

6.根据权利要求2所述的炉管，其中，所述石墨舟包括多个卡点，所述每个卡点均位于石墨片上。

7.根据权利要求2所述的炉管，其中，所述第一电极杆与第一电极孔配合，第二电极杆与第二电极孔配合。

8.根据权利要求1所述的炉管，其中，所述石英管体内壁有两根与石英管体内壁相切的陶瓷支撑杆，沿炉管中轴线左右对称分布，所述陶瓷支撑杆延伸方向与所述石英管体延伸方向相同。

9.根据权利要求8所述的炉管，其中，所述石墨舟放置在所述陶瓷支撑杆上。

10.根据权利要求1所述的炉管，其中，所述炉门为同轴的双层圆柱体结构，朝向所述石英管体一侧的第一圆柱体半径小于远离所述石英管体一侧的第二圆柱体半径。

11.根据权利要求10所述的炉管，其中，所述第一圆柱体直径小于所述石英管体内圈直径。

12.根据权利要求10所述的炉管，其中，所述第一电极杆和第二电极电极杆垂直于所述炉门的圆形截面安装，并且贯穿炉门的两个圆柱体结构。

技术总结
本申请公开了一种等离子镀膜炉管，所述炉管包括石英管体，所述石英管体内腔中空；炉门，所述炉门用于封闭所述石英管体一端；石墨舟，所述石墨舟位于所述石英管体内腔，其用于等离子镀膜；第一电极杆和第二电极杆，所述第一电极杆和第二电极杆均位于所述炉门上并至少朝向所述石英管体内腔，所述第一电极杆和第二电极杆用于向石墨舟供电。本申请的等离子镀膜炉管，调整了炉口石墨舟导电电极孔安装方式，利用空间和位置优势保证电极与石墨舟接触位置没有碎片堆积干扰，降低了对导电接触的影响，以及因碎片造成的镀膜异常、高频等返工以及补镀，提高了成品率和产能。

技术研发人员：苏国涛,罗烨栋
受保护的技术使用者：新疆中部合盛硅业有限公司
技术研发日：20230721
技术公布日：2024/3/27