半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置的制作方法

本技术涉及半导体设备维修再生，具体涉及半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置。

背景技术：

1、当半导体化学机械研磨头达到使用周期时需要更换部件或进行维修再生处理，因为机械研磨头内部的金属载体法兰表面会生有锈迹，如果能将此锈迹处理掉，则金属载体可以重复利用，继续上机使用。

2、目前机械研磨头内部的金属载体法兰维修再生处理过程中需要使用异丙酮擦拭与打磨其锈迹表面，然后再使用di水进行擦拭，最终通过风枪吹除缝隙内残留液体，并使用无尘布进行擦拭。该方式存在的问题是：机械研磨头内部的金属载体法兰风吹过程中，其风枪气压过大时将会导致金属载体法兰内部过滤网脱落，影响再次组装，风枪气压过小时金属载体法兰缝隙中残留的液体无法根除，最终影响重组后研磨头的实用性。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于，提供了一种半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其通过控制气流，使清洁后的金属载体性能满足需求。

2、为实现上述目的，本申请提出半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，包括清洁固定治具和空气压缩机，所述清洁固定治具包括上圆台和下圆台，所述下圆台内设有气体进入通道，该气体进入通道一端与空气压缩机相连，另一端与气体输送通道底部相连通，所述气体输送通道设置在下圆台和上圆台中部，所述上圆台内设有气流均分腔体，该气流均分腔体与气体输送通道顶部相连通，气流均分腔体上方设有与上圆台一体结构的分气盖板，在分气盖板上分布有多个出气孔，所述多个出气孔位于金属载体法兰的孔洞位置下面。

3、进一步的，所述空气压缩机与气体进入通道之间的连接管路上设有气压显示调节阀。

4、进一步的，所述空气压缩机与气体进入通道之间的连接管路上设有气压表。

5、进一步的，所述上圆台顶部设有一圈凹槽，该凹槽内设有氟橡胶o型圈。

6、进一步的，所述氟橡胶o型圈位于分气盖板外周。

7、更进一步的，所述上圆台一侧设有治具定位柱，另一侧设有治具定位孔，所述治具定位柱和治具定位孔对称设置在氟橡胶o型圈外侧。

8、更进一步的，所述上圆台直径小于下圆台直径，金属载体法兰放置在上圆台上时，氟橡胶o型圈被压紧。

9、更进一步的，所述金属载体法兰连接有多个出气管路，每个出气管路与对应的孔洞连通。

10、作为更进一步的，所述治具定位柱位于金属载体法兰的部品定位槽内，治具定位孔中连接有部品定位柱。

11、作为更进一步的，所述清洁固定治具为钢材材质。

12、本实用新型采用的以上技术方案，与现有技术相比，具有的优点是：本申请的清洁固定治具由钢材加工而成，使用方便，可重复利用，节省人力，提高了工作效率。清洁固定治具上表面开有出气孔，对应待清洁金属载体法兰的孔洞位置，下圆台设有气体进入通道且连接空气压缩机，气流通过气体输送通道、气流均分腔体后从出气孔输出。清洁固定治具与金属载体法兰密封状态下，通过气压显示调节阀控制进气量，在正负压的作用下气流通过清洁固定治具从孔洞位置进入腔体内，并从出气管路流出，达到吹干液体目的，能够避免过滤网脱落，并且无残留的液体。

技术特征：

1.半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其特征在于，包括清洁固定治具和空气压缩机，所述清洁固定治具包括上圆台和下圆台，所述下圆台内设有气体进入通道，该气体进入通道一端与空气压缩机相连，另一端与气体输送通道底部相连通，所述气体输送通道设置在下圆台和上圆台中部，所述上圆台内设有气流均分腔体，该气流均分腔体与气体输送通道顶部相连通，气流均分腔体上方设有与上圆台一体结构的分气盖板，在分气盖板上分布有多个出气孔，所述多个出气孔位于金属载体法兰的孔洞位置下面。

2.根据权利要求1所述半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其特征在于，所述空气压缩机与气体进入通道之间的连接管路上设有气压显示调节阀。

3.根据权利要求1所述半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其特征在于，所述空气压缩机与气体进入通道之间的连接管路上设有气压表。

4.根据权利要求1所述半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其特征在于，所述上圆台顶部设有一圈凹槽，该凹槽内设有氟橡胶o型圈。

5.根据权利要求4所述半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其特征在于，所述氟橡胶o型圈位于分气盖板外周。

6.根据权利要求4所述半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其特征在于，所述上圆台一侧设有治具定位柱，另一侧设有治具定位孔，所述治具定位柱和治具定位孔对称设置在氟橡胶o型圈外侧。

7.根据权利要求4所述半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其特征在于，所述上圆台直径小于下圆台直径，金属载体法兰放置在上圆台上时，氟橡胶o型圈被压紧。

8.根据权利要求1所述半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其特征在于，所述金属载体法兰连接有多个出气管路，每个出气管路与对应的孔洞连通。

9.根据权利要求6所述半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其特征在于，所述治具定位柱位于金属载体法兰的部品定位槽内，治具定位孔中连接有部品定位柱。

10.根据权利要求1所述半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，其特征在于，所述清洁固定治具为钢材材质。

技术总结
本技术公开了半导体化学机械研磨头维修再生时使用的清洁固定装置，包括清洁固定治具和空气压缩机，所述清洁固定治具包括上圆台和下圆台，所述下圆台内设有气体进入通道，该气体进入通道一端与空气压缩机相连，另一端与气体输送通道底部相连通，所述气体输送通道设置在下圆台和上圆台中部，所述上圆台内设有气流均分腔体，该气流均分腔体与气体输送通道顶部相连通，气流均分腔体上方设有与上圆台一体结构的分气盖板，在分气盖板上分布有多个出气孔，所述多个出气孔位于金属载体法兰的孔洞位置下面。气流通过清洁固定治具从孔洞位置进入腔体内，并从出气管路流出，达到吹干液体目的，能够避免过滤网脱落，并且无残留的液体。

技术研发人员：尹皓,贺贤汉,李泓波,王松朋,朱光宇
受保护的技术使用者：富乐德科技发展（大连）有限公司
技术研发日：20230725
技术公布日：2024/1/15