一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备的制作方法

本技术涉及薄膜沉积，具体涉及一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备。

背景技术：

1、近年来，随着太阳能电池生产技术的不断进步、生产成本的不断降低以及转换效率的不断提高，使得光伏发电的应用日益广泛并成为电力供应的重要能源。在追逐效率的道路上，高效异质结电池技术路线引起大家的广泛关注。在异质结电池的制作过程中，通常采用pvd(physical vapor deposition，物理气相沉积)工艺沉积ito(indium tin oxides，铟锡氧化物)薄膜。

2、pvd制备ito薄膜的原理是，利用一定能量的离子轰击出靶材原子，并使轰击出来的靶材原子具有一定的动能转移至托盘载具上沉积，进而形成薄膜。然而，轰击出来的靶材原子不仅仅会沉积托盘载具上，还会沉积到pvd设备的成膜腔体的其他非镀膜区域。

3、现有技术中，pvd设备在生产状态下辉光区会使载具与传动轮导通易发生放电，放电将引起工作区域内异常杂质离子增多，将影响成膜质量，异常放电还可能产生打弧不良等异常问题，影响产品生产质量；同时，在薄膜的沉积过程中，长时间靶材原子溅射到传动结构表面，传动轮表面的o圈将容易产生老化形变脱落等风险，o圈异常后载具将面临打滑，传动位置异常，偏离轨迹等风险。

技术实现思路

1、为解决上述背景技术中的问题，本实用新型提供一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备，可以防止托盘载具与磁流体传动轴导通发生放电现象，使托盘载具一直处于悬浮电位，有效的避免生产过程中的异常问题，解决打弧不良的问题，提高薄膜生产质量，同时增加托盘传输的稳定性，提高设备的稼动率。

2、本实用新型采用下述技术方案：

3、一种绝缘传动装置，包括腔体、设置在腔体左右两侧的磁流体组件，磁流体组件包括磁流体传动轴、套设在磁流体传动轴上的绝缘传动轮和盖合在绝缘传动轮端部的绝缘端盖。

4、进一步的，磁流体组件还包括不锈钢螺丝，绝缘传动轮通过不锈钢螺丝固定在磁流体传动轴上。

5、进一步的，磁流体组件还包括绝缘螺丝，绝缘螺丝依次穿过绝缘端盖和绝缘传动轮将绝缘端盖固定在磁流体传动轴上。

6、一种薄膜沉积设备，包括上述绝缘传动装置，还包括设置在腔体内的载具组件，腔体左右两侧的磁流体组件与载具组件两端转动连接；载具组件包括托盘载具和固定在托盘载具两端的c型钢，绝缘传动轮和绝缘端盖内嵌入c型钢的c形凹槽内。

7、进一步的，还包括分别设置在载具组件上方的上靶区和设置在载具组件下方的下靶区。

8、进一步的，绝缘传动轮上间隔套设有若干o型圈，o型圈与c型钢内壁接触。

9、进一步的，绝缘端盖的端面与c型钢的竖直内面之间具有间隙，间隙的范围为0.5mm-3mm。

10、进一步的，还包括设置在腔体左右两侧的驱动电机，驱动电机与若干磁流体传动轴之间通过传动带传动连接。

11、与现有技术相比，本实用新型具有以下技术效果：

12、(1)本实用新型的一种绝缘传动装置，通过在磁流体传动轴上套设绝缘传动轮以及盖合在绝缘传动轮端部的绝缘端盖，绝缘传动轮将托盘载具和磁流体传动轴之间绝缘，绝缘盖盖合在磁流体传动轴端面，使托盘组件的横向截面与传动轴端部绝缘，防止托盘载具与磁流体传动轴导通发生放电现象，使托盘载具一直处于悬浮电位，有效的避免生产过程中的异常问题，解决打弧不良的问题。

13、(2)本实用新型的一种薄膜沉积设备，绝缘传动轮和绝缘端盖内嵌入c型钢的c形凹槽内，通过c型钢对o型圈和绝缘传动轮进行保护，防止靶材原子溅射到o型圈和绝缘传动轮表面，提高托盘载具的传输稳定性。

技术特征：

1.一种绝缘传动装置，其特征在于，包括腔体、设置在所述腔体左右两侧的磁流体组件，所述磁流体组件包括磁流体传动轴、套设在所述磁流体传动轴上的绝缘传动轮和盖合在所述绝缘传动轮端部的绝缘端盖。

2.根据权利要求1中所述的一种绝缘传动装置，其特征在于，所述磁流体组件还包括不锈钢螺丝，所述绝缘传动轮通过不锈钢螺丝固定在所述磁流体传动轴上。

3.根据权利要求2中所述的一种绝缘传动装置，其特征在于，所述磁流体组件还包括绝缘螺丝，所述绝缘螺丝依次穿过所述绝缘端盖和绝缘传动轮将绝缘端盖固定在所述磁流体传动轴上。

4.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括权利要求1-3中任一项中所述的绝缘传动装置，还包括设置在腔体内的载具组件，所述腔体左右两侧的磁流体组件与载具组件两端转动连接；所述载具组件包括托盘载具和固定在所述托盘载具两端的c型钢，所述绝缘传动轮和绝缘端盖内嵌入所述c型钢的c形凹槽内。

5.根据权利要求4中所述的一种薄膜沉积设备，其特征在于，所述绝缘传动轮上间隔套设有若干o型圈，所述o型圈与c型钢内壁接触。

6.根据权利要求4中所述的一种薄膜沉积设备，其特征在于，还包括分别设置在载具组件上方的上靶区和设置在载具组件下方的下靶区。

7.根据权利要求4中所述的一种薄膜沉积设备，其特征在于，所述绝缘端盖的端面与所述c型钢的竖直内面之间具有间隙，所述间隙的范围为0.5mm-3mm。

8.根据权利要求4中所述的一种薄膜沉积设备，其特征在于，还包括设置在腔体左右两侧的驱动电机，所述驱动电机与若干所述磁流体传动轴之间通过传动带传动连接。

技术总结
本技术涉及薄膜沉积技术领域，具体涉及一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备，包括腔体、设置在所述腔体左右两侧的磁流体组件，所述磁流体组件包括磁流体传动轴、套设在所述磁流体传动轴上的绝缘传动轮和盖合在所述绝缘传动轮端部的绝缘端盖，还包括设置在腔体内的载具组件、分别设置在载具组件上方和下方的上靶区和下靶区，腔体左右两侧的磁流体组件与载具组件两端转动连接。本技术的一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备，实现防止托盘载具与磁流体传动轴导通发生放电现象，使托盘载具一直处于悬浮电位，有效的避免生产过程中的异常问题，解决打弧不良的问题，提高薄膜生产质量，同时增加托盘传输的稳定性，提高设备的稼动率。

技术研发人员：朱玉龙,蔡涔,张杜超,马胜涛,杨星星,于永峰
受保护的技术使用者：东方日升（江苏）新能源有限公司
技术研发日：20230811
技术公布日：2024/3/17