一种维持镀膜真空的装置的制作方法

本技术涉及集流体镀膜，具体涉及一种维持镀膜真空的装置。

背景技术：

1、新型复合铜箔铝箔集流体是具有“高分子基材中间层+轻薄导电金属层”的多层复合结构，在电池内短路时，可通过熔断和绝缘提供较大电阻在短时间内切断或降低短路电流，有效防止电池热失控，提高电池安全性。

2、复合集流体采用卷绕蒸发镀膜工艺在pet/pp基材表面进行镀铜或镀铝。以新型复合铝箔集流体为例，蒸发镀铝的方法为：在真空环境中通过电阻加热蒸发舟至约1200℃，熔融铝丝产生铝蒸气，铝蒸气沉积附着在pet/pp基材上，从而实现镀铝。

3、目前，采用机械泵+多级罗茨泵+扩散泵获得和维持蒸发镀铝机的真空环境，其中，采用机械泵+三级罗茨泵组维持卷绕室的真空，采用机械泵+两级罗茨泵+扩散泵维持镀膜室的真空。

4、但是，由于扩散泵的抽真空能力比罗茨泵强，因此会造成镀膜室与卷绕室压力差，蒸发镀铝机长时间工作，在镀膜室与卷绕室压力差影响下，容易造成罗茨泵的润滑油进入卷绕室并附着在基材上，使得镀膜基材被油气污染，影响新型复合铝箔集流体的质量和性能。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种维持镀膜真空的装置。能够使卷绕室与镀膜室长时间的真空度基本一致，避免卷绕室与镀膜室长时间的真空压力差引起与卷绕室连通的罗茨泵的润滑油返流污染镀膜基材，从而改善并提高复合铝箔集流体的质量和性能。

2、为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

3、本实用新型提供的一种维持镀膜真空的装置，包括：

4、前期真空泵组、分子泵组和切换阀组；

5、所述前期真空泵组包括：机械泵和与所述机械泵串联的三级罗茨泵，且三级罗茨泵和分子泵组的吸气端均通过切换阀组与卷绕室相连通；

6、所述三级罗茨泵的吸气端通过第三电磁阀与镀膜室相连通，扩散泵组的吸气端通过第四电磁阀与镀膜室相连通；

7、所述前期真空泵组、分子泵组、切换阀组、扩散泵组、第三电磁阀和第四电磁阀均与蒸发镀铝机控制器电连接。

8、作为优选，还包括真空传感器，所述真空传感器的检测端伸入卷绕室内部，且真空传感器与蒸发镀铝机控制器电连接。

9、作为优选，所述切换阀组包括第一电磁阀和第二电磁阀，所述分子泵组中的分子真空泵的吸气端通过第二电磁阀与卷绕室相连通；

10、所述前期真空泵组中的三级罗茨泵的吸气端通过第一电磁阀与卷绕室相连通；

11、所述第一电磁阀和第二电磁阀均与蒸发镀铝机控制器电连接。

12、作为优选，所述第一电磁阀、第三电磁阀和前期真空泵组与蒸发镀铝机控制器均电连接有继电器。

13、作为优选，所述前期真空泵组中与第一电磁阀链接的三级罗茨泵设置有多个，且每个三级罗茨泵的吸气端分别通过一个第一电磁阀与卷绕室连通，且多个三级罗茨泵的出气端共用导气管。

14、作为优选，所述分子泵组中的分子真空泵设置有多个，且每个分子真空泵的吸气端分别通过一个第二电磁阀与卷绕室相连通，多个分子真空泵的出气端共用导气管。

15、作为优选，所述分子泵组的整体抽空能力与扩散泵组的整体抽空能力相同。

16、本实用新型的上述方案至少包括以下有益效果：

17、1、本实用新型的上述方案，通过机械泵和三级罗茨泵组构成的前期真空泵组进行卷绕室的前期抽真空，通过切换阀组切换分子泵组进行卷绕室后期的抽真空以及维持真空，能够使卷绕室的真空度与镀膜室的真空度基本一致，防止卷绕室与镀膜室产生大的真空压力差，从而避免三级罗茨泵的润滑油在真空压力差的作用下进入镀膜室而污染镀膜基材，确保复合铝箔集流体的质量和性能；

18、2、本实用新型的上述方案，通过机械泵和三级罗茨泵组构成的前期真空泵组进行卷绕室的前期抽真空能够使卷绕室的真空度快速达到分子泵组启动的真空度需求，通过分子泵组进行卷绕室后期的抽真空以及维持真空，以这种切换的方式进行卷绕室的抽真空作业，能够使卷绕室的真空度快速与镀膜室的真空度保持一致，有助于提高生产效率；同时分子泵组的整体能耗小于机械泵和三级罗茨泵组构成的前期真空泵组的能耗，有助于节约能耗。

技术特征：

1.一种维持镀膜真空的装置，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的维持镀膜真空的装置，其特征在于：还包括真空传感器(3)，所述真空传感器(3)的检测端伸入卷绕室(6)内部，且真空传感器(3)与蒸发镀铝机控制器(7)电连接。

3.根据权利要求2所述的维持镀膜真空的装置，其特征在于：所述切换阀组包括第一电磁阀(2)和第二电磁阀(4)，所述分子泵组(5)中的分子真空泵(51)的吸气端通过第二电磁阀(4)与卷绕室(6)相连通；

4.根据权利要求3所述的维持镀膜真空的装置，其特征在于：所述第一电磁阀(2)、第三电磁阀(12)和前期真空泵组(1)与蒸发镀铝机控制器(7)均电连接有继电器(8)。

5.根据权利要求3所述的维持镀膜真空的装置，其特征在于：所述前期真空泵组(1)中与第一电磁阀(2)链接的三级罗茨泵(11)设置有多个，且每个三级罗茨泵(11)的吸气端分别通过一个第一电磁阀(2)与卷绕室(6)连通，且多个三级罗茨泵(11)的出气端共用导气管。

6.根据权利要求3所述的维持镀膜真空的装置，其特征在于：所述分子泵组(5)中的分子真空泵(51)设置有多个，且每个分子真空泵(51)的吸气端分别通过一个第二电磁阀(4)与卷绕室(6)相连通，多个分子真空泵(51)的出气端共用导气管。

7.根据权利要求6所述的维持镀膜真空的装置，其特征在于：所述分子泵组(5)的整体抽空能力与扩散泵组(10)的整体抽空能力相同。

技术总结
本技术公开了一种维持镀膜真空的装置，包括：前期真空泵组、分子泵组和切换阀组；前期真空泵组包括：机械泵和与所述机械泵串联的三级罗茨泵，且三级罗茨泵和分子泵组的吸气端均通过切换阀组与卷绕室相连通；所述前期真空泵组、分子泵组和切换阀组均与蒸发镀铝机控制器电连接。有益效果在于：通过机械泵和三级罗茨泵组构成的前期真空泵组进行卷绕室的前期抽真空，通过切换阀组切换分子泵组进行卷绕室后期的抽真空以及维持真空，能够使卷绕室的真空度与镀膜室的真空度基本一致，防止卷绕室与镀膜室产生大的真空压力差，从而避免三级罗茨泵的润滑油在真空压力差的作用下进入镀膜室而污染镀膜基材，确保复合铝箔集流体的质量和性能。

技术研发人员：曾齐旺,周亮,程毅,李学法,张国平
受保护的技术使用者：江阴纳力新材料科技有限公司
技术研发日：20230816
技术公布日：2024/2/6