一种高温氮气加热器的制作方法

文档序号:37652361发布日期:2024-04-18 20:26阅读:11来源:国知局
一种高温氮气加热器的制作方法

本申请涉及氮气加热器,尤其是涉及一种高温氮气加热器。


背景技术:

1、氮气加热主要用于半导体电子、化工、材料等领域,在半导体制造过程中,需要将硅基材料进行高温反应沉积,从而形成薄膜或其他材料,在化工生产中则可以用于高温反应合成等过程中。氮气加热器是一种高效安全、环保的加热设备,在现代工业制造中具有广泛的应用前景。

2、其中氮气加热器是一种常用的加热设备,主要用于高温实验、生产和工业制造等领域。其原理是通过电能或其他能源将氮气加热到所需的温度使其达到特定的物理或化学反应条件,从而实现特定的加热目的。相比于其他传统的加热方式,氮气加热器具有高效性;在能源利用效率上更高;安全性;:更加安全可靠,不易引起火灾和爆炸等事故;环保性;不会产生有害气体和固体废物,对环境污染较小。

3、现有的,在加热氮气过程中,一般是通过气体进口将待加热的氮气引入到加热器内部,通常为电阻丝或电磁线圈将外部电源提供电能将其转化为热能,再通过气体出口将已经被加热过的氮气排出,进而实现氮气的加热。但整个加热过程氮气与加热装置紧密接触,容易对整个加热装置造成损坏,减少了机器的使用寿命,存在待改进之处。


技术实现思路

1、为了提高加热装置在加热器内的更换检修效率,本申请提供一种高温氮气加热器。

2、本申请提供的一种高温氮气加热器采用如下的技术方案:

3、一种高温氮气加热器,包括壳体、设置在所述壳体一端的进气口和设置在所述壳体另一端的排气口;所述壳体内部设置有加热装置,所述加热装置包括内胆和设置在所述内胆两端的分流板,所述内胆内均匀设置有多个通气管,所述通气管的两端与所述分流板固定连接,所述分流板对应所述通气管的位置开设有通气口,所述通气管上螺旋缠绕设置有电阻丝。

4、可选的,所述加热装置与所述排气口之间设置有导流管,所述导流管沿所述加热装置到所述排气口的直径逐渐减小。

5、可选的,所述进气口的端部设置有进气管,所述进气管的两端均设置有法兰盘,所述进气管通过法兰盘与所述进气口连接;所述排气口的端部也设置有法兰盘。

6、可选的,所述进气管上设置有插接电箱,所述内胆与所述插接电箱电连接;所述插接电箱能够对所述内胆进行供电和温度调节。

7、可选的,所述壳体的外部设置有保温层,所述保温层通过卡箍与所述壳体可拆卸连接。

8、可选的,所述壳体的底部设置有安装底座,所述安装底座上开设有安装孔。

9、可选的,所述通气管为陶瓷管。

10、综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:

11、1.本实用新型使用时,壳体内的氮气通过分流板进行分流,进入不同的通气管内部,使得氮气的受热均匀性,能够更好地进行热传导,温度分布均匀,精准的控制氮气的温度,也更加的安全,同时避免了电阻丝与氮气的接触,能够避免氮气高温的损伤和腐蚀,提高了机器的使用寿命。

12、2.本实用新型使用时,温度可任意调节控制,当电箱的电源接通时,通过导线将电能传输到电阻丝上。电阻丝将电能转化为热能,使得加热器内部的温度逐渐升高,同时不断监测加热器内部的温度,并将数据传输给电箱。电箱根据预设的温度值和实际测量值之间的差异,通过执行机构调节加热功率,使得加热器内部的温度保持在所需范围内。



技术特征:

1.一种高温氮气加热器,其特征在于:包括壳体(1)、设置在所述壳体(1)一端的进气口(2)和设置在所述壳体(1)另一端的排气口(3);

2.根据权利要求1所述的一种高温氮气加热器,其特征在于:所述加热装置与所述排气口(3)之间设置有导流管(8),所述导流管(8)沿所述加热装置到所述排气口(3)的直径逐渐减小。

3.根据权利要求1所述的一种高温氮气加热器,其特征在于:所述进气口(2)的端部设置有进气管(9),所述进气管(9)的两端均设置有法兰盘,所述进气管(9)通过法兰盘(10)与所述进气口(2)连接;所述排气口(3)的端部也设置有法兰盘(10)。

4.根据权利要求3所述的一种高温氮气加热器,其特征在于:所述进气管(9)上设置有插接电箱(11),所述内胆(4)与所述插接电箱(11)电连接;所述插接电箱(11)能够对所述内胆(4)进行供电和温度调节。

5.根据权利要求1所述的一种高温氮气加热器,其特征在于:所述壳体(1)的外部设置有保温层(12),所述保温层(12)通过卡箍(13)与所述壳体(1)可拆卸连接。

6.根据权利要求1所述的一种高温氮气加热器,其特征在于:所述壳体(1)的底部设置有安装底座(14),所述安装底座(14)上开设有安装孔(15)。

7.根据权利要求1所述的一种高温氮气加热器,其特征在于:所述通气管(6)为陶瓷管。


技术总结
本申请涉及一种高温氮气加热器,其包括壳体、设置在所述壳体一端的进气口和设置在所述壳体另一端的排气口,所述进气口的端部设置有进气管,所述进气管通过法兰盘与所述进气口连接,所述进气管上设置有插接电箱,所述内胆与所述插接电箱电连接;所述壳体内部设置有加热装置,所述加热装置包括内胆和设置在所述内胆两端的分流板,所述内胆内均匀设置有多个通气管,所述通气管为陶瓷管,所述通气管的两端与所述分流板固定连接,所述分流板对应所述通气管的位置开设有通气口,所述通气管上螺旋缠绕设置有电阻丝。本申请能够避开电阻丝与氮气的接触,避免氮气高温对电阻丝进行损伤和腐蚀,提高了机器的使用寿命。

技术研发人员:王敉
受保护的技术使用者:上海华超电器科技有限公司
技术研发日:20230816
技术公布日:2024/4/17
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