本技术涉及金刚石加工，尤其涉及一种动态密封装置。
背景技术：
1、微波等离子体化学气相沉积技术，简称mpcvd，是在真空状态下设计微波能量激发的等离子体态的工作环境，同时激活被沉积物的表面化学键和沉积气体分子形成的离子，交换结合形成沉积，它是目前世界上生长金刚石材料的最先进技术之一，微波等离子体技术能提供大面积的沉积工作区域，并且没有电极污染，微波谐振的真空腔是这项技术的关键设计部件，是沉积生长金刚石和类金刚石材料的工作环境，它是和沉积生长的每一步骤息息相关，包括开始的烘烤，初期的刻蚀，工艺调节，籽晶的放入和取出，以及后期的清洁等等步骤。
2、现有的金刚石生长装置都会在一个真空腔的内部进行，但是大部分真空腔都一个腔体，但是由于操作步骤较多且频繁导致密封性降低，顶部或者侧边开口的真空腔不便于籽晶的放入和取出，并且后期的清洁及维护操作空间有限不利于使用。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于克服现有技术中金刚石在生产过程中真空腔不便于操作的不足，提供一种动态密封装置。
2、本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种动态密封装置，包括第一固定板，所述第一固定板的上部设置有上真空腔，所述上真空腔的底部突出于第一固定板，所述上真空腔的底部开口，所述第一固定板的下方设置有升降密封装置，所述升降密封装置的上部设置有与上真空腔底部抵接的密封板，所述密封板的中间位置设置有用于放置籽晶的放置台，所述密封板的下部设置有多个螺栓，所述螺栓的外侧绕设有与密封板下表面抵接的弹簧。
3、进一步地，所述上真空腔的开口的横截面为圆形，所述上真空腔的断面处设置有两道密封圈。
4、进一步地，所述升降密封装置包括设置在底部的两个气缸，所述气缸的输出端设置有第二固定板，所述密封板设置在第二固定板的上表面，所述固定板的下方通过支撑柱连接有支撑板，所述放置台设置在支撑板上，所述放置台的顶部高于第二固定板，所述支撑板与第二固定板之间可拆卸设置有密封模块。
5、进一步地，所述密封板与第二固定板之间固定衬板，所述第二固定板的上部设置有用于安装螺栓的孔，所述螺栓的外侧与孔之间设置有密封圈。
6、进一步地，所述放置台设置在支撑板的中间位置，所述密封模块为波纹管，所述波纹管的底部设置有与支撑板连接的连接板，所述连接板与支撑板之间设置有密封圈。
7、进一步地，所述密封模块为与第二固定板及支撑板可拆卸连接的金属筒。本实用新型的有益效果在于：气缸的伸缩控制第二固定板的升降，密封板为圆形，在使用时密封板与上真空腔的底部抵接时，密封板压缩密封圈，形成密封效果，螺栓沿着密封板圆形分布，使用螺栓对弹簧进行导向，将密封板与第二固定板之间形成一个向上的支撑力，在密封板的下方形成一个均匀的向上的力，辅助气缸支撑，保证密封板与上真空腔的密封效果，同时螺栓安装在上真空腔密封圈的下方，促使密封板与上真空腔的密封效果，提高生产效果，依靠弹簧的弹力顶紧下真空腔体和上真空腔贴合可以起到腔体圆周的动态真空密封，不怕泄露，上下腔室分离可以便捷的清理腔室内卫生。
1.一种动态密封装置，其特征在于：包括第一固定板，所述第一固定板的上部设置有上真空腔，所述上真空腔的底部突出于第一固定板，所述上真空腔的底部开口，所述第一固定板的下方设置有升降密封装置，所述升降密封装置的上部设置有与上真空腔底部抵接的密封板，所述密封板的中间位置设置有用于放置籽晶的放置台，所述密封板的下部设置有多个螺栓，所述螺栓的外侧绕设有与密封板下表面抵接的弹簧。
2.根据权利要求1所述的动态密封装置，其特征在于：所述上真空腔的开口的横截面为圆形，所述上真空腔的断面处设置有两道密封圈。
3.根据权利要求1所述的动态密封装置，其特征在于：所述升降密封装置包括设置在底部的两个气缸，所述气缸的输出端设置有第二固定板，所述密封板设置在第二固定板的上表面，所述固定板的下方通过支撑柱连接有支撑板，所述放置台设置在支撑板上，所述放置台的顶部高于第二固定板，所述支撑板与第二固定板之间可拆卸设置有密封模块。
4.根据权利要求3所述的动态密封装置，其特征在于：所述密封板与第二固定板之间固定衬板，所述第二固定板的上部设置有用于安装螺栓的孔，所述螺栓的外侧与孔之间设置有密封圈。
5.根据权利要求3所述的动态密封装置，其特征在于：所述放置台设置在支撑板的中间位置，所述密封模块为波纹管，所述波纹管的底部设置有与支撑板连接的连接板，所述连接板与支撑板之间设置有密封圈。
6.根据权利要求3所述的动态密封装置，其特征在于：所述密封模块为与第二固定板及支撑板可拆卸连接的金属筒。