一种多腔室磁控溅射连续镀膜机的制作方法

本发明涉及真空镀膜，尤其是指一种多腔室磁控溅射连续镀膜机。

背景技术：

1、磁控溅射是一种在真空下对板件进行镀膜的工艺，能够让板件表面的膜层均匀，从而保证镀膜效果和质量。

2、现有的磁控溅射工艺，其送料方式都是流水式的，即通过机械手在传输带拾起板件并放入镀膜机，也是通过机械手把镀膜后的板件从镀膜机取出并放在传输带进行下料。这种方式的效率较低，无法把各步骤所需的时间进行较好的统筹。

技术实现思路

1、本发明针对现有技术的问题提供一种多腔室磁控溅射连续镀膜机，通过改进送料以实现各步骤之间的时间整合，有利于提升效率。

2、为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

3、本发明提供的一种多腔室磁控溅射连续镀膜机，包括镀膜设备以及送料单元，所述送料单元包括上料机器人、上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构，上料机器人位于上料架、下料架、取料传输机构以及镀膜设备之间；

4、第一传输机构用于把板件自上料机构移送至取料传输机构；

5、上料机器人用于在取料传输机构与镀膜设备之间交换物料；

6、镀膜设备设置有过渡门、过渡腔室、真空门、镀膜腔室以及换板机构，过渡腔室与镀膜腔室连通，真空门用于隔绝过渡腔室与镀膜腔室，过渡门用于把过渡腔室与外界隔绝，换板机构用于对过渡腔室与镀膜腔室之间交换板件；

7、第二传输机构用于把镀膜后的板件自取料传输机构移送至下料机构；

8、上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构构成用于传输板件的传输回路。

9、进一步的，所述上料机构包括上料架、上料升降模组、上料横移模组以及两个取料件，上料架设置有多个放板层，上料升降模组用于驱动两个取料件升降，上料横移模组用于驱动两个取料件横移，取料件用于托住板件后带动板件移动。

10、更进一步的，所述上料横移模组包括上料电机、上料联杆以及两个上料座，两个取料件与两个上料座一一对应滑动设置；上料座与取料件之间通过齿轮齿条模组传动连接，上料电机用于驱动上料联杆转动，上料联杆的两端分别与两个上料座内的齿轮传动连接。

11、进一步的，所述第一传输机构包括第一传输架、均设置于第一传输架的第一传输模组两个第二传输模组，两个第二传输模组彼此平行且间隔设置，第二传输模组用于把板件传输至取料传输机构，第一传输模组的传输方向与第二传输模组的传输方向非平行设置；第二传输模组与第一传输架之间设置有用于驱动第二传输模组升降的传输升降模组。

12、更进一步的，所述取料传输机构包括取料架、第一取料传输模组和第二取料传输模组，第一取料传输模组位于上料机器人与第二取料传输模组之间，第一取料传输模组设置有若干个限位模组，限位模组用于对板件进行限位。

13、更进一步的，所述第二传输机构包括第二传输架、均设置于第二传输架的第三传输模组两个第四传输模组，两个第四传输模组彼此平行且间隔设置，第四传输模组用于把板件传输至取料传输机构，第三传输模组的传输方向与第四传输模组的传输方向非平行设置；第四传输模组与第二传输架之间设置有用于驱动第四传输模组升降的传输升降组件。

14、更进一步的，所述上料单元的工作方式包括：

15、通过远离下料机构的第四传输模组送入板件，其中板件贴还有保护膜；

16、远离下料机构的第四传输模组把板件传输至第二取料传输模组，由工人或装置对第二取料传输模组上的板件进行撕膜；

17、第二取料传输模组把撕膜后的板件移送至第二传输模组，经第二传输模组把板件移送至第一传输模组；

18、判断第一取料传输模组是否具有板件，若无则由第一传输模组把板件传输至第一取料传输模组，若有则由第一传输模组把板件传输至上料架；

19、上料机器人把板件自第一取料传输模组移送至镀膜设备内，然后把镀膜后的板件移送至第一取料传输模组；

20、第一取料传输模组把镀膜后的板件经第三传输模组传输至下料架进行储放；

21、当无板件由第四传输模组传输至第二取料传输模组时，通过下料机构、第三传输模组与第四传输模组配合把镀膜后的板件传输至外界进行下料。

22、更进一步的，限位模组包括限位气缸、抵触件以及挡板，挡板与限位气缸分别设置于第一取料传输模组的两侧，抵触件安装于限位气缸的活塞杆，挡板的一端形成弯折部，弯折部朝远离第一取料传输模组的一侧弯折。

23、进一步的，所述过渡腔室和真空腔室内分别设置有用于固定板件的固定机构，固定机构包括转动模组、转动架以及多个固定模组，转动模组用于驱动转动架转动，多个固定模组以转动架的转轴为圆心呈环形阵列分布于转动架；

24、转动模组具有角度检测器，角度检测器用于获取转动模组转动的角度。

25、更进一步的，所述镀膜设备的动作步骤包括：

26、获取上料机器人的送板信号，关闭真空门；

27、对过渡腔室进行破真空处理，然后打开过渡门；

28、由上料机器人把过渡腔室内固定机构上的板件逐一取出并放入取料传输机构，然后把待镀膜的板件自取料传输机构逐一取出并放入过渡腔室内的固定结构中；

29、感测上料机器人是否离开过渡腔室，如是则关闭过渡门，并对过渡腔室内进行抽真空处理；

30、打开真空门，由换板机构把真空腔室内固定机构上的板件与过渡腔室内固定机构上的板件逐一进行换位，直至全部板件均完成换位；

31、关闭真空门，对真空腔室内的板件进行磁控溅射镀膜。

32、本发明的有益效果：本发明通过让上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构构成用于传输板件的传输回路，使得板件在经过上一工艺加工后可直接在送料单元之间流转，从而达到了有效板件各工艺之间的加工时间，有利于提升时间利用率。

技术特征：

1.一种多腔室磁控溅射连续镀膜机，包括镀膜设备以及送料单元，其特征在于：所述送料单元包括上料机器人、上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构，上料机器人位于上料架、下料架、取料传输机构以及镀膜设备之间；

2.根据权利要求1所述的多腔室磁控溅射连续镀膜机，其特征在于：所述上料机构包括上料架、上料升降模组、上料横移模组以及两个取料件，上料架设置有多个放板层，上料升降模组用于驱动两个取料件升降，上料横移模组用于驱动两个取料件横移，取料件用于托住板件后带动板件移动。

3.根据权利要求2所述的多腔室磁控溅射连续镀膜机，其特征在于：所述上料横移模组包括上料电机、上料联杆以及两个上料座，两个取料件与两个上料座一一对应滑动设置；上料座与取料件之间通过齿轮齿条模组传动连接，上料电机用于驱动上料联杆转动，上料联杆的两端分别与两个上料座内的齿轮传动连接。

4.根据权利要求1所述的多腔室磁控溅射连续镀膜机，其特征在于：所述第一传输机构包括第一传输架、均设置于第一传输架的第一传输模组两个第二传输模组，两个第二传输模组彼此平行且间隔设置，第二传输模组用于把板件传输至取料传输机构，第一传输模组的传输方向与第二传输模组的传输方向非平行设置；第二传输模组与第一传输架之间设置有用于驱动第二传输模组升降的传输升降模组。

5.根据权利要求4所述的多腔室磁控溅射连续镀膜机，其特征在于：所述取料传输机构包括取料架、第一取料传输模组和第二取料传输模组，第一取料传输模组位于上料机器人与第二取料传输模组之间，第一取料传输模组设置有若干个限位模组，限位模组用于对板件进行限位。

6.根据权利要求5所述的多腔室磁控溅射连续镀膜机，其特征在于：所述第二传输机构包括第二传输架、均设置于第二传输架的第三传输模组两个第四传输模组，两个第四传输模组彼此平行且间隔设置，第四传输模组用于把板件传输至取料传输机构，第三传输模组的传输方向与第四传输模组的传输方向非平行设置；第四传输模组与第二传输架之间设置有用于驱动第四传输模组升降的传输升降组件。

7.根据权利要求6所述的多腔室磁控溅射连续镀膜机，其特征在于：所述上料单元的工作方式包括：

8.根据权利要求6所述的多腔室磁控溅射连续镀膜机，其特征在于：限位模组包括限位气缸、抵触件以及挡板，挡板与限位气缸分别设置于第一取料传输模组的两侧，抵触件安装于限位气缸的活塞杆，挡板的一端形成弯折部，弯折部朝远离第一取料传输模组的一侧弯折。

9.根据权利要求1所述的多腔室磁控溅射连续镀膜机，其特征在于：所述过渡腔室和真空腔室内分别设置有用于固定板件的固定机构，固定机构包括转动模组、转动架以及多个固定模组，转动模组用于驱动转动架转动，多个固定模组以转动架的转轴为圆心呈环形阵列分布于转动架；

10.根据权利要求9所述的多腔室磁控溅射连续镀膜机，其特征在于：所述镀膜设备的动作步骤包括：

技术总结
本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是指一种多腔室磁控溅射连续镀膜机，包括镀膜设备以及送料单元，所述送料单元包括上料机器人、上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构，上料机器人位于上料架、下料架、取料传输机构以及镀膜设备之间；上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构构成用于传输板件的传输回路。本发明通过让上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构构成用于传输板件的传输回路，使得板件在经过上一工艺加工后可直接在送料单元之间流转，从而达到了有效板件各工艺之间的加工时间，有利于提升时间利用率。

技术研发人员：杨逑,刘浩然,严胜山,夏祥权
受保护的技术使用者：东莞市德派精密机械有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/24