一种用于硅片双面抛光机的快插销轴的制作方法

本发明涉及半导体工艺中硅片的抛光设备，特别涉及一种用于硅片双面抛光机的快插销轴。

背景技术：

1、现有设备硅片双面抛光机抛光作业过程主要是依靠游轮片带动硅片旋转，而游轮片依靠销轴固定，销轴与大盘的安装配合方式为紧配合，在经过长时间作业后，受游轮片轴向作用力影响，销轴与大盘的连接会松脱，因此销轴在作业过程中受游轮片作用力影响，产生径向跳动，从而影响游轮片的旋转，进而影响抛光机的作业效果，甚至会碎片，严重影响生产效率与生产环境。

2、因此，有必要改善销轴的结构设置，防止双面抛光机作业过程中销轴的径向跳动，提高双面抛光机的作业质量。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种用于硅片双面抛光机的快插销轴，有效的防止双面抛光机作业过程中销轴的径向跳动，提高双面抛光机的作业质量。

2、为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

3、一种用于硅片双面抛光机的快插销轴，包括轴套、销轴和轴座；其中，销轴设置在轴套内部，销轴的下端与轴座连接；

4、轴套内部设有限位台肩，销轴顶端与限位台肩底端接触，通过将锁紧螺栓与销轴顶部螺纹连接，实现销轴与轴套锁紧；

5、销轴包括轴体、卡槽和竹节结构，竹节结构设置在轴体的下端，卡槽设置在轴体与竹节结构之间，竹节结构底端设有下轴孔，轴体上端设有与锁紧螺栓匹配的上螺纹孔；

6、轴座包括压环、弹性滚珠组件、弹簧和底座短轴，弹性滚珠组件安装在压环内部并与销轴的卡槽相配合，弹簧安装在底座短轴上，弹簧顶端与压环底端接触；底座短轴与销轴竹节结构底端的下轴孔为轴孔配合。

7、优选地，所述限位台肩设置在距离轴套顶端1/5的位置。

8、优选地，所述压环具有上限位环、下限位环，所述弹性滚珠组件嵌套在上限位环和下限位环之间。

9、优选地，所述弹簧为圆柱波形弹簧。

10、优选地，所述弹性滚珠组件的滚珠嵌入连接部件内，该连接部件包裹滚珠的上下侧面，滚珠内侧面与卡槽接触。优选地，所述连接部件为可伸缩的弹性材料。

11、本发明的优点在于：

12、本发明设计了一种快插销轴，销轴可通过压环快速拆卸安装，提高了作业效率；同时销轴设计为双自由度可跟随旋转式，在抛光机作业过程中，销轴可跟随游轮片旋转，解决了作业过程中因销轴旋转阻滞造成的游轮片转动异常，同时设有限位装置，解决了作业过程中销轴径向跳动问题，进而提高了产量。

技术特征：

1.一种用于硅片双面抛光机的快插销轴，其特征在于，包括轴套、销轴和轴座；其中，销轴设置在轴套内部，销轴的下端与轴座连接；

2.根据权利要求1所述的用于硅片双面抛光机的快插销轴，其特征在于，所述限位台肩设置在距离轴套顶端1/5的位置。

3.根据权利要求1或2所述的用于硅片双面抛光机的快插销轴，其特征在于，所述压环具有上限位环、下限位环，所述弹性滚珠组件嵌套在上限位环和下限位环之间。

4.根据权利要求1或2所述的用于硅片双面抛光机的快插销轴，其特征在于，所述弹簧为圆柱波形弹簧。

5.根据权利要求1或2所述的用于硅片双面抛光机的快插销轴，其特征在于，所述弹性滚珠组件的滚珠嵌入连接部件内，该连接部件包裹滚珠的上下侧面，滚珠内侧面与卡槽接触。

6.根据权利要求5所述的用于硅片双面抛光机的快插销轴，其特征在于，所述连接部件为可伸缩的弹性材料。

技术总结
本发明公开了一种用于硅片双面抛光机的快插销轴，能够有效防止双面抛光机作业过程中销轴的径向跳动。该快插销轴包括轴套、销轴和轴座；销轴设置在轴套内部，销轴的下端与轴座连接；轴套内部设有限位台肩，销轴顶端与限位台肩底端接触，通过将锁紧螺栓与销轴顶部螺纹连接，实现销轴与轴套锁紧；销轴包括轴体、卡槽和竹节结构，竹节结构设置在轴体的下端，卡槽设置在轴体与竹节结构之间，竹节结构底端设有下轴孔，轴体上端设有与锁紧螺栓匹配的上螺纹孔；轴座包括压环、弹性滚珠组件、弹簧和底座短轴，弹性滚珠组件安装在压环内部并与销轴的卡槽相配合，弹簧安装在底座短轴上，弹簧顶端与压环底端接触；底座短轴与销轴竹节结构的下轴孔为轴孔配合。

技术研发人员：王占滨,陈信,于兴瑞,潘世林
受保护的技术使用者：山东有研艾斯半导体材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17