本技术涉及真空镀膜设备领域，具体涉及一种真空镀膜靶材用液冷装置。
背景技术：
1、在真空镀膜技术领域，靶材散热尤为重要。通常使用液体流过靶材背面和靶材接触的铜背板来给靶材进行散热。目前所用的散热装置是在液冷板和液冷背板之间使用密封圈来隔绝液体和真空环境，这种操作方式随着设备的反复使用和维护，密封圈存在老化漏水风险。一旦液体进入真空室，将会对真空设备和镀膜产品造成灾难性影响，因此有必要针对该问题进行解决。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本实用新型提供一种真空镀膜靶材用液冷装置，其可以有效解决上述问题，避免密封圈老化所带来的漏液问题。
2、本实用新型采取的技术方案具体如下。
3、一种真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：包括上、下叠合布置的第一板体和第二板体，第一板体的上板面构成用于靶材散热的工作面，第一板体和第二板体交接处设置用于容纳冷却液的冷却腔室，第二板体的下板面上设置用于冷却腔室内的冷却液进、出的进液管和出液管，第一板体、第二板体、进液管、出液管之间采用焊接的方式进行密封装配连接。
4、具体的方案为：第一板体的下板面上设置有凹槽，第二板体对凹槽的槽口进行封盖，凹槽的槽腔构成冷却腔室。
5、凹槽的槽底上设置有用于对冷却腔室内的冷却液进行导流的导流筋。
6、第二板体的上板面上设置有对应导流筋布置的容置槽，导流筋的局部固定安装在容置槽内。
7、凹槽的槽壁上设置有用于第二板体装配定位的台阶结构。
8、第一板体的下板面和第二板体的下板面相平齐布置。第一板体的周边设置有安装孔。
9、凹槽为长方形槽，进液管和出液管对应凹槽的槽长方向的两端分别设置。
10、导流筋的长度方向和凹槽的槽长方向一致，导流筋沿着凹槽的槽宽方向间隔设置，导流筋的两端分别与凹槽的槽壁呈分离状布置。
11、导流筋在进液管和出液管之间沿着凹槽的槽长方向间隔设置，导流筋的长度方向和凹槽的宽度方向呈夹角布置，导流筋包括两a1导流筋和位于两a1导流筋之间的各个a2导流筋；其中一个a1导流筋的一端与a槽壁相交状设置、另一端和b槽壁呈分离状布置；另一个a1导流筋的一端与a槽壁相交状布置、另一端和b槽壁呈分离状布置；各a2导流筋的两端均和a槽壁、b槽壁呈分离状布置；a槽壁、b槽壁为凹槽上沿槽长方向布置的两槽壁。
12、凹槽沿槽宽方向布置的两槽壁记为c槽壁和d槽壁，c槽壁临近进液管布置，d槽壁临近出液管布置，凹槽的槽底上设置有两个由导流筋组成的导流筋单元，两导流筋单元关于沿凹槽槽长方向布置的中心线对称布置，组成导流筋单元的导流筋包括相互平行布置的x1导流筋、x2导流筋、x3导流筋，x1导流筋、x2导流筋、x3导流筋的长度方向和凹槽的槽长方向一致，x1导流筋、x2导流筋、x3导流筋的两端和c槽壁、d槽壁均呈分立状布置，x1导流筋、x2导流筋、x3导流筋沿着凹槽的中部指向外侧的方向依次设置，x2导流筋、x3导流筋靠近c槽壁的端部通过y2导流筋相连接，x1导流筋、x2导流筋靠近d槽壁的端部通过y1导流筋相连接，x1导流筋、x2导流筋之间还设置有x4导流筋，x4导流筋靠近出液管的端部和y1导流筋呈分离状布置，两导流筋单元上的x4导流筋靠近进液管的端部通过y3导流筋相连接。
13、导流筋和容置槽之间通过真空高温钎焊的方式焊接连接，第二板体的周边和凹槽的槽口周边通过氩弧焊的方式焊接连接，进液管、出液管和第二板体之间通过氩弧焊的方式焊接连接。
14、本实用新型还提供了一种真空镀膜靶材用液冷装置的生产方法，在第一板体上加工出安装孔、凹槽、导流筋、台阶结构，在第二板体上加工出容纳槽、进液口、出液口；在容纳槽内布设钎焊焊料，将第一板体和第二板体进行装配，使得第一板体上的加强筋和容纳槽对齐布置，使用真空钎焊的方式将加强筋和容置槽焊接连接；然后使用氩弧焊的方式将凹槽的槽口边缘和第二板体边部之间缝隙焊接密封连接；最后将进液管、出液管分别采用氩弧焊的焊接方式焊接密封固定在第二板体上的进液孔、出液孔处。
15、本实用新型提供的上述方案，通过采用焊接方式实现组成液冷装置的各部件之间的密封装配连接，从而解决传统冷却装置中密封圈老化导致冷却液泄露的问题，提高真空镀膜的可靠性。
1.一种真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：包括上、下叠合布置的第一板体和第二板体，第一板体的上板面构成用于靶材散热的工作面，第一板体和第二板体交接处设置用于容纳冷却液的冷却腔室，第二板体的下板面上设置用于冷却腔室内的冷却液进、出的进液管和出液管，第一板体、第二板体、进液管、出液管之间采用焊接的方式进行密封装配连接。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：第一板体的下板面上设置有凹槽，第二板体对凹槽的槽口进行封盖，凹槽的槽腔构成冷却腔室。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：凹槽的槽底上设置有用于对冷却腔室内的冷却液进行导流的导流筋，第二板体的上板面上设置有对应导流筋布置的容置槽，导流筋的局部固定安装在容置槽内。
4.根据权利要求2或3所述的真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：凹槽的槽壁上设置有用于第二板体装配定位的台阶结构。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：第一板体的下板面和第二板体的下板面相平齐布置，第一板体的周边设置有安装孔，安装孔用于实现冷液板装置在真空镀膜设备上的安装。
6.根据权利要求3所述的真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：凹槽为长方形槽，进液管和出液管对应凹槽的槽长方向的两端分别设置。
7.根据权利要求3所述的真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：导流筋的长度方向和凹槽的槽长方向一致，导流筋沿着凹槽的槽宽方向间隔设置，导流筋的两端分别与凹槽的槽壁呈分离状布置。
8.根据权利要求3所述的真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：导流筋在进液管和出液管之间沿着凹槽的槽长方向间隔设置，导流筋的长度方向和凹槽的宽度方向呈夹角布置，导流筋包括两a1导流筋和位于两a1导流筋之间的各个a2导流筋；其中一个a1导流筋的一端与a槽壁相交状设置、另一端和b槽壁呈分离状布置；另一个a1导流筋的一端与a槽壁相交状布置、另一端和b槽壁呈分离状布置；各a2导流筋的两端均和a槽壁、b槽壁呈分离状布置；a槽壁、b槽壁为凹槽上沿槽长方向布置的两槽壁。
9.根据权利要求3所述的真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：凹槽沿槽宽方向布置的两槽壁记为c槽壁和d槽壁，c槽壁临近进液管布置，d槽壁临近出液管布置，凹槽的槽底上设置有两个由导流筋组成的导流筋单元，两导流筋单元关于沿凹槽槽长方向布置的中心线对称布置，组成导流筋单元的导流筋包括相互平行布置的x1导流筋、x2导流筋、x3导流筋，x1导流筋、x2导流筋、x3导流筋的长度方向和凹槽的槽长方向一致，x1导流筋、x2导流筋、x3导流筋的两端和c槽壁、d槽壁均呈分立状布置，x1导流筋、x2导流筋、x3导流筋沿着凹槽的中部指向外侧的方向依次设置，x2导流筋、x3导流筋靠近c槽壁的端部通过y2导流筋相连接，x1导流筋、x2导流筋靠近d槽壁的端部通过y1导流筋相连接，x1导流筋、x2导流筋之间还设置有x4导流筋，x4导流筋靠近出液管的端部和y1导流筋呈分离状布置，两导流筋单元上的x4导流筋靠近进液管的端部通过y3导流筋相连接。
10.根据权利要求3所述的真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：导流筋和容置槽之间通过真空高温钎焊的方式焊接连接，第二板体的周边和凹槽的槽口周边通过氩弧焊的方式焊接连接，进液管、出液管和第二板体之间通过氩弧焊的方式焊接连接。