本公开涉及传感电极制造,具体而言,涉及一种气相沉积装置。
背景技术:
1、随着科学技术的发展,体外诊断、快速检测与实时监测技术在生物医学、环境水质、食品安全等领域的需求日益增大,通常,通过化学或物理方法在丝印电极表面修饰不同的纳米材料,构筑不同功能的传感平台,以满足不同的检测需求。
2、导电聚合物(如聚噻吩)因具有机械柔性、可调的电导率、良好的生物相容性和可加工性能而被广泛应用于生物、压力及气体检测传感体系。目前导电聚合物基传感平台构筑通常分为两类,一种是在丝印电极上电化学聚合,另一种先将单体聚合,再将其逐个涂覆在丝印电极上,上述制备方法因涉及到逐个操作而耗时耗力。
3、需要说明的是,在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、本公开提供一种气相沉积装置,可实现规模化制备电极,提高生产效率。
2、根据本公开的一个方面,提供一种气相沉积装置,包括:
3、储液罐,包括储液罐壳体及设于所述储液罐壳体顶部的第一进气口和第一出气口,所述储液罐壳体内设有待沉积聚合物单体液体;
4、第一导气管,一端通过所述第一进气口深入至所述储液罐壳体内,且所述第一导气管的端部能沿所述第一进气口上下移动,以使所述第一导气管的端部伸入所述待沉积聚合物单体液体内或使其位于所述待沉积聚合物单体液体上部;所述第一导气管的另一端与载气供气装置的出气口连通;
5、反应罐,包括反应罐壳体及设于所述反应罐壳体内的置物架,所述置物架包括置物框架以及设于所述置物框架上的置物板,所述置物板用于放置待修饰电极片;所述反应罐壳体顶部设有第二进气口,所述反应罐壳体的侧壁底部设有第二出气口;
6、第二导气管,一端与所述第一出气口连通,另一端与所述第二进气口连通;
7、加热装置,所述储液罐和所述反应罐设于所述加热装置内,所述加热装置用于向所述储液罐及所述反应罐加热,以使所述待沉积聚合物单体液体汽化及促进其在电极表面聚合。
8、在本公开的一种示例性实施例中,所述置物框架包括呈环形分布的第一固定柱、第二固定柱、第一高度调节柱及第二高度调节柱,所述第一固定柱与所述第二固定柱正对分布,所述第一高度调节柱与所述第二高度调节柱正对分布;所述第一高度调节柱上设有第一限位件,所述第一限位件与所述第一高度调节柱可拆卸连接,且所述第一限位件能沿所述第一高度调节柱往复移动;所述第二高度调节柱上设有第二限位件,所述第二限位件与所述第二高度调节柱可拆卸连接,且所述第二限位件能沿所述第二高度调节柱往复移动;
9、所述置物板包括中心置物区和环绕所述中心置物区的外围一圈的边缘区域;所述边缘区域上设有多个沿周向分布的卡接孔,所述第一固定柱、所述第二固定柱、所述第一高度调节柱及所述第二高度调节柱分别对应的穿过不同的所述卡接孔;所述置物板的边缘区域中靠近所述反应罐壳体的底面的表面与所述第一限位件及所述第二限位件接触。
10、在本公开的一种示例性实施例中,所述第一高度调节柱的外周设有外螺纹,所述第一限位件套设于所述第一高度调节柱的外周,且所述第一限位件的内周面上设有内螺纹,所述第一限位件和所述第一高度调节柱通过外螺纹及内螺纹连接;所述第二高度调节柱的外周设有外螺纹,所述第二限位件套设于所述第二高度调节柱的外周,且所述第二限位件的内周面上设有内螺纹,所述第二限位件和所述第二高度调节柱通过外螺纹及内螺纹连接。
11、在本公开的一种示例性实施例中,所述置物板的数量为多个,多个所述置物板沿所述第一固定柱的轴向间隔分布;所述第一限位件和所述第二限位件的数量也为多个,每个所述置物板的边缘区域中靠近所述反应罐壳体的底面的表面均与不同的所述第一限位件及不同的所述第二限位件接触。
12、在本公开的一种示例性实施例中,所述置物板的中心置物区为镂空结构。
13、在本公开的一种示例性实施例中,所述第二进气口设于所述反应罐壳体的底面与最靠近所述反应罐壳体的底面的所述置物板之间。
14、在本公开的一种示例性实施例中,所述第一导气管和所述第一进气口密封连接;所述第二导气管的一端与所述第一出气口密封连接,另一端与所述第二进气口密封连接。
15、在本公开的一种示例性实施例中,所述气相沉积装置还包括:
16、第三导气管,与所述第二出气口密封连接。
17、在本公开的一种示例性实施例中,所述气相沉积装置还包括:
18、流量计,设于所述载气供气装置的出气口。
19、在本公开的一种示例性实施例中,所述加热装置为烘箱。
20、本公开的气相沉积装置,通过加热装置对储液罐进行加热,能够高效地将储液罐内储存的待沉积聚合物单体液体转化为蒸汽状态。第一导气管可上下移动地插入待沉积聚合物单体液体内,使得载气能够通过第一导气管精确地引入并与蒸汽混合。这种设计不仅实现了蒸汽的有效稀释,还确保了蒸汽与载气的均匀混合,从而提高了蒸汽传输的稳定性和可控性。混合后的蒸汽和载气通过第二导气管被引导至反应罐内。在反应罐中,蒸汽能够在置于置物板上的待修饰电极片表面均匀沉积,形成具有聚合物修饰的高质量电极层。这种设计使得能够同时在置物板上放置多个待修饰电极片,进而同时处理大量待修饰电极片,显著提高了电极的制备效率,实现了批量化生产的目标。此外,反应罐壳体上的第二出气口设计合理,能够确保反应完成后剩余的气体或副产物顺利排出,从而保持了反应罐内的清洁和稳定环境,为连续、高效的电极制备过程提供了有力保障。
21、应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的,并不能限制本公开。
1.一种气相沉积装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的气相沉积装置,其特征在于,所述置物框架包括呈环形分布的第一固定柱、第二固定柱、第一高度调节柱及第二高度调节柱,所述第一固定柱与所述第二固定柱正对分布,所述第一高度调节柱与所述第二高度调节柱正对分布;所述第一高度调节柱上设有第一限位件,所述第一限位件与所述第一高度调节柱可拆卸连接,且所述第一限位件能沿所述第一高度调节柱往复移动;所述第二高度调节柱上设有第二限位件,所述第二限位件与所述第二高度调节柱可拆卸连接,且所述第二限位件能沿所述第二高度调节柱往复移动;
3.根据权利要求2所述的气相沉积装置,其特征在于,所述第一高度调节柱的外周设有外螺纹,所述第一限位件套设于所述第一高度调节柱的外周,且所述第一限位件的内周面上设有内螺纹,所述第一限位件和所述第一高度调节柱通过外螺纹及内螺纹连接;所述第二高度调节柱的外周设有外螺纹,所述第二限位件套设于所述第二高度调节柱的外周,且所述第二限位件的内周面上设有内螺纹,所述第二限位件和所述第二高度调节柱通过外螺纹及内螺纹连接。
4.根据权利要求2所述的气相沉积装置,其特征在于,所述置物板的数量为多个,多个所述置物板沿所述第一固定柱的轴向间隔分布;所述第一限位件和所述第二限位件的数量也为多个,每个所述置物板的边缘区域中靠近所述反应罐壳体的底面的表面均与不同的所述第一限位件及不同的所述第二限位件接触。
5.根据权利要求4所述的气相沉积装置,其特征在于,所述置物板的中心置物区为镂空结构。
6.根据权利要求4或5所述的气相沉积装置,其特征在于,所述第二进气口设于所述反应罐壳体的底面与最靠近所述反应罐壳体的底面的所述置物板之间。
7.根据权利要求1所述的气相沉积装置,其特征在于,所述第一导气管和所述第一进气口密封连接;所述第二导气管的一端与所述第一出气口密封连接,另一端与所述第二进气口密封连接。
8.根据权利要求1所述的气相沉积装置,其特征在于,所述气相沉积装置还包括:
9.根据权利要求1所述的气相沉积装置,其特征在于,所述气相沉积装置还包括:
10.根据权利要求1所述的气相沉积装置,其特征在于,所述加热装置为烘箱。