本技术涉及磁控溅射，特别涉及一种靶枪头组件以及磁控靶枪。
背景技术：
1、相关技术中，磁控靶枪的靶枪头主要包括基座、两个磁性体和冷却结构，两个磁性体相互套设并配合产生磁场。工作时，电子在磁场与电场的交互作用下呈螺旋状运行，撞击氩气产生离子，离子撞击靶材表面，从而使靶材溅射出原子或者分子。冷却结构贴合于磁性体底面，以对磁性体和磁性体上方的靶材进行冷却，避免磁性体温度过高出现消磁现象以及靶材温度过高造成损坏。
2、现有的磁控靶枪，当靶材直径增大导致靶枪头的尺寸增大时，两个磁性体之间的间距会增加，进而导致磁场强度减小，使磁场与电场的交互作用减小，对电子的束缚减小，从而会减少电子撞击氩气的几率，导致靶材的溅射效果下降。此外，现有的冷却方式对磁性体和靶材的冷却效果较差。
技术实现思路
1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种靶枪头组件，即使靶枪头组件的尺寸增加，也能够保证磁场强度，保证磁场与电场的交互作用，防止靶材的溅射效果下降，此外能够提高对磁性体和靶材的冷却效果。
2、本实用新型还提出一种具有上述靶枪头组件的磁控靶枪。
3、根据本实用新型第一方面实施例的靶枪头组件，包括基座、冷却件和至少三个磁性体，所述冷却件设于所述基座，所述冷却件的顶端形成有多个冷却部，至少三个所述磁性体设于所述冷却件或者所述基座，至少三个所述磁性体沿所述磁性体的径向依次套设，且所述磁性体与所述冷却部沿所述磁性体的径向交错排布。
4、根据本实用新型实施例的靶枪头组件，至少具有如下有益效果：
5、本实用新型中，磁性体的数量为至少三个，进而即使靶枪头组件的尺寸增加，由于增加了磁性体的数量，相邻的两个磁性体之间的间距也不会过大，进而能够保证产生的磁场的强度，保证磁场与电场的交互作用，保证对电子的束缚效果，从而保证电子撞击氩气的几率，防止靶材的溅射效果下降。此外，冷却件形成有多个冷却部，磁性体与冷却部沿磁性体的径向交错排布，进而除了对磁性体的底面吸热外，还能对磁性体的侧壁吸热，对磁性体的冷却效果更好，且冷却部能够更加靠近磁性体上方的靶材，对靶材的冷却效果也更好。
6、根据本实用新型的一些实施例，所述磁性体设有三个，所述冷却部设有两个，两个所述冷却部分别位于两组相邻的两个所述磁性体之间。
7、根据本实用新型的一些实施例，所述冷却部呈环形并沿所述磁性体的周向延伸，所述冷却部形成有冷却通道，所述冷却通道沿所述冷却部的周向延伸，所述冷却通道用于输送冷却介质。
8、根据本实用新型的一些实施例，所述冷却件设有介质进口和介质出口，最外侧的所述冷却通道连接于所述介质进口和所述介质出口中的一者，最内侧的所述冷却通道连接于另一者，所述冷却件于相邻的两个所述冷却通道之间设有连接通道。
9、根据本实用新型的一些实施例，所述冷却通道的长度方向的两端分别形成输入端和输出端，所述输入端和所述输出端相靠近的一侧间隔开，相邻的两个所述冷却通道中，其中一个所述冷却通道的输出端与另一个所述冷却通道的输入端之间通过所述连接通道连通。
10、根据本实用新型的一些实施例，最外侧的所述冷却通道连接所述介质进口，最内侧的所述冷却通道连接所述介质出口，相邻的两个所述冷却通道中，外侧的所述冷却通道的所述输出端与内侧的所述冷却通道的所述输入端之间通过所述连接通道连通。
11、根据本实用新型的一些实施例，所述冷却件包括第一冷却块和第二冷却块，所述冷却部和所述连接通道设于所述第一冷却块，所述冷却通道的底端和所述连接通道的底端贯穿所述第一冷却块的底面，所述第二冷却块连接于所述第一冷却块，并覆盖所述冷却通道的底端和所述连接通道的底端，所述介质进口和所述介质出口设于所述第二冷却块。
12、根据本实用新型的一些实施例，所述冷却部的顶端凸出于所述磁性体的顶端，所述冷却部的顶端用于放置靶材。
13、根据本实用新型的一些实施例，所述靶枪头组件还包括法兰和环形绝缘板，所述法兰设于所述基座的顶端，所述环形绝缘板安装于所述法兰的顶端，所述冷却件安装于所述环形绝缘板的顶端。
14、根据本实用新型第二方面实施例的磁控靶枪，包括上述第一方面实施例所述的靶枪头组件。
15、根据本实用新型实施例的磁控靶枪，至少具有如下有益效果：
16、采用本实用新型第一方面实施例的靶枪头组件，磁性体的数量为至少三个，进而即使靶枪头组件的尺寸增加，由于增加了磁性体的数量，相邻的两个磁性体之间的间距也不会过大，进而能够保证产生的磁场的强度，保证磁场与电场的交互作用，保证对电子的束缚效果，从而保证电子撞击氩气的几率，防止靶材的溅射效果下降。此外，冷却件形成有多个冷却部，磁性体与冷却部沿磁性体的径向交错排布，进而除了对磁性体的底面吸热外，还能对磁性体的侧壁吸热，对磁性体的冷却效果更好，且冷却部能够更加靠近磁性体上方的靶材，对靶材的冷却效果也更好。
17、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分附加方面和优点将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
1.一种靶枪头组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的靶枪头组件，其特征在于，所述磁性体设有三个，所述冷却部设有两个，两个所述冷却部分别位于两组相邻的两个所述磁性体之间。
3.根据权利要求1或2所述的靶枪头组件，其特征在于，所述冷却部呈环形并沿所述磁性体的周向延伸，所述冷却部形成有冷却通道，所述冷却通道沿所述冷却部的周向延伸，所述冷却通道用于输送冷却介质。
4.根据权利要求3所述的靶枪头组件，其特征在于，所述冷却件设有介质进口和介质出口，最外侧的所述冷却通道连接于所述介质进口和所述介质出口中的一者，最内侧的所述冷却通道连接于另一者，所述冷却件于相邻的两个所述冷却通道之间设有连接通道。
5.根据权利要求4所述的靶枪头组件，其特征在于，所述冷却通道的长度方向的两端分别形成输入端和输出端，所述输入端和所述输出端相靠近的一侧间隔开，相邻的两个所述冷却通道中，其中一个所述冷却通道的输出端与另一个所述冷却通道的输入端之间通过所述连接通道连通。
6.根据权利要求5所述的靶枪头组件，其特征在于，最外侧的所述冷却通道连接所述介质进口，最内侧的所述冷却通道连接所述介质出口，相邻的两个所述冷却通道中，外侧的所述冷却通道的所述输出端与内侧的所述冷却通道的所述输入端之间通过所述连接通道连通。
7.根据权利要求4所述的靶枪头组件，其特征在于，所述冷却件包括：
8.根据权利要求1或2所述的靶枪头组件，其特征在于，所述冷却部的顶端凸出于所述磁性体的顶端，所述冷却部的顶端用于放置靶材。
9.根据权利要求1或2所述的靶枪头组件，其特征在于，所述靶枪头组件还包括：
10.一种磁控靶枪，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的靶枪头组件。