一种镀膜装置的制作方法

文档序号:43955325发布日期:2025-12-05 19:42阅读:16来源:国知局

本申请涉及真空镀膜,尤其涉及一种镀膜装置。


背景技术:

1、为改善金属、织物、塑料等工件的性能,通常会通过在工件表面镀膜来实现。真空镀膜设备可用于对金属、织物、塑料等工件进行镀膜操作。然而,现有真空镀膜设备在输送工件的过程中,工件的小张力容易出现不可控问题,导致镀膜质量下降。


技术实现思路

1、本申请提供了一种镀膜装置,以减小支撑辊组转动时轴承的旋转阻力,降低对小张力控制的影响。

2、本申请提供了一种镀膜装置,包括真空室、支撑辊组、驱动机构、第一靶材和第二靶材,所述真空室配置有真空腔;

3、所述支撑辊组设置于所述真空腔中,所述支撑辊组包括至少三个支撑辊,至少一个所述支撑辊与其他所述支撑辊分布设置于不同的直线上,所述支撑辊通过轴承转动安装于第一转轴上,所述第一转轴转动连接于所述真空室,所述至少三个支撑辊所连的所述第一转轴均与所述驱动机构传动连接,所述驱动机构用于驱动所述第一转轴转动;

4、所述第一靶材设置于所述真空腔中,并位于所述支撑辊组的一侧,所述第一靶材被配置为与镀膜工件的第一表面相对;

5、所述第二靶材设置于所述真空腔中,并位于所述至少三个支撑辊之间,所述第二靶材被配置为与所述镀膜工件的第二表面相对。

6、在一些可能的实施方式中,所述支撑辊组包括四个所述支撑辊,四个所述支撑辊分布设置于四边形的四个角位置,四个所述支撑辊所连的所述第一转轴均与所述驱动机构传动连接。

7、在一些可能的实施方式中,所述驱动机构包括第一驱动件和传动组件,所述传动组件传动连接于所述第一驱动件与所述至少三个支撑辊所连的所述第一转轴之间。

8、在一些可能的实施方式中,所述传动组件包括至少两个传动带,所述传动带的一端传动连接于所述第一驱动件的输出轴,所述至少两个传动带远离所述第一驱动件的一端传动连接于所述至少三个支撑辊所连的所述第一转轴,每一个所述第一转轴均传动连接有一个所述传动带。

9、在一些可能的实施方式中,所述轴承的旋转线速度被配置为与所述镀膜工件的线速度相等。

10、在一些可能的实施方式中,所述镀膜装置还包括:

11、放料辊,设置于所述支撑辊组的上游,所述放料辊用于承载所述镀膜工件未镀膜时的料卷;

12、收料辊,设置于所述支撑辊组的下游,所述收料辊用于承载已镀膜的所述镀膜工件的料卷。

13、在一些可能的实施方式中,所述镀膜装置还包括第二驱动件和第三驱动件,所述第二驱动件传动连接于所述放料辊,所述第三驱动件传动连接于所述收料辊。

14、在一些可能的实施方式中,所述镀膜装置还包括第一张力检测辊和第二张力检测辊,所述第一张力检测辊设置于所述支撑辊组与所述放料辊之间,所述第二张力检测辊设置于所述支撑辊组与所述收料辊之间。

15、在一些可能的实施方式中,所述镀膜装置还包括第一速度检测辊和第二速度检测辊,所述第一速度检测辊设置于所述支撑辊组与所述放料辊之间,所述第二速度检测辊设置于所述支撑辊组与所述收料辊之间。

16、在一些可能的实施方式中,所述驱动机构设置于所述真空室背离所述真空腔的一侧,所述第一转轴穿设于所述真空室;

17、所述第一转轴与所述真空室的连接位置设置有磁流体件。

18、本申请的有益效果:本申请提供的镀膜装置,在使用过程中,驱动机构可驱动各支撑辊所连的第一转轴进行转动,从而,可减小各第一转轴与支撑辊之间轴承的旋转阻力,进而减少对镀膜工件小张力控制的影响,利于实现对镀膜工件在镀膜过程中小张力的控制,降低镀膜工件在输送过程中因张力不可控给镀膜质量带来的影响。



技术特征:

1.一种镀膜装置,其特征在于,包括真空室、支撑辊组、驱动机构、第一靶材和第二靶材,所述真空室配置有真空腔;

2.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述支撑辊组包括四个所述支撑辊,四个所述支撑辊分布设置于四边形的四个角位置,四个所述支撑辊所连的所述第一转轴均与所述驱动机构传动连接。

3.根据权利要求1或2所述的镀膜装置,其特征在于,所述驱动机构包括第一驱动件和传动组件,所述传动组件传动连接于所述第一驱动件与所述至少三个支撑辊所连的所述第一转轴之间。

4.根据权利要求3所述的镀膜装置,其特征在于,所述传动组件包括至少两个传动带,所述传动带的一端传动连接于所述第一驱动件的输出轴,所述至少两个传动带远离所述第一驱动件的一端传动连接于所述至少三个支撑辊所连的所述第一转轴,每一个所述第一转轴均传动连接有一个所述传动带。

5.根据权利要求1或2所述的镀膜装置,其特征在于,所述轴承的旋转线速度被配置为与所述镀膜工件的线速度相等。

6.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述镀膜装置还包括:

7.根据权利要求6所述的镀膜装置,其特征在于,所述镀膜装置还包括第二驱动件和第三驱动件,所述第二驱动件传动连接于所述放料辊,所述第三驱动件传动连接于所述收料辊。

8.根据权利要求6或7所述的镀膜装置,其特征在于,所述镀膜装置还包括第一张力检测辊和第二张力检测辊,所述第一张力检测辊设置于所述支撑辊组与所述放料辊之间,所述第二张力检测辊设置于所述支撑辊组与所述收料辊之间。

9.根据权利要求6或7所述的镀膜装置,其特征在于,所述镀膜装置还包括第一速度检测辊和第二速度检测辊,所述第一速度检测辊设置于所述支撑辊组与所述放料辊之间,所述第二速度检测辊设置于所述支撑辊组与所述收料辊之间。

10.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述驱动机构设置于所述真空室背离所述真空腔的一侧,所述第一转轴穿设于所述真空室;


技术总结
本申请公开了一种镀膜装置,涉及真空镀膜技术领域。镀膜装置包括真空室、支撑辊组、驱动机构、第一靶材和第二靶材,真空室配置有真空腔;支撑辊组设置于真空腔中,支撑辊组包括至少三个支撑辊,至少一个支撑辊与其他支撑辊分布设置于不同的直线上,支撑辊通过轴承转动安装于第一转轴上,第一转轴转动连接于真空室,至少三个支撑辊所连的第一转轴均与驱动机构传动连接,驱动机构用于驱动第一转轴转动;第一靶材设置于支撑辊组的一侧,第一靶材被配置为与镀膜工件的第一表面相对;第二靶材设置于至少三个支撑辊之间,第二靶材被配置为与镀膜工件的第二表面相对。本申请提供的镀膜装置可实现双面镀膜,并可降低对小张力控制的影响。

技术研发人员:吴振杰
受保护的技术使用者:广东振华科技股份有限公司
技术研发日:20241219
技术公布日:2025/12/4
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