用于真空系统运动机构的锁紧机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及用于真空系统运动机构的锁紧机构。
【背景技术】
[0002]众所周知，真空系统是是一个特殊的系统环境。在保持原真空状态的前提条件下，实现对于真空状态中运动的机构实现锁紧及解锁的自动控制是比较困难的。比如存在以下几个问题:1、在保持原有系统真空氛围(真空度与真空洁净度等)的情况下，实现锁对于真空系统运动机构的自动锁紧与解锁功能。2、如何在真空系统中驱动锁紧机构的问题。3、如何对锁紧、解锁进行有效控制。4、锁紧机构的通用性问题。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了用于真空系统运动机构的锁紧机构，利用弹簧机构给予的永恒预压力并结合真空气缸与控制信号的联动控制连接运动机构的导杆，实现真空系统内运动机构的有效锁紧及解锁的自动控制。
[0004]本实用新型目的实现由以下技术方案完成:
[0005]一种用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于:所述机构至少由驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构构成，所述弹簧锁紧导杆机构包括导杆、弹簧以及牵引块，所述导杆具有一运行通道，所述弹簧套装于所述导杆外壁，所述导杆外壁具有轴肩，所述运行通道内壁上设置有滑套，所述弹簧位于所述滑套与所述轴肩之间的位置，所述导杆的一端连接固定所述牵引块，所述导杆的另一端为锁紧头，所述驱动气缸的活塞杆固定连接一机械牵引手臂，所述机械牵引手臂工作面形状与所述牵引块工作面形状匹配，用于牵引所述牵引块以控制所述导杆在所述运行通道内的往复动作。
[0006]所述驱动气缸的活塞杆行程大小与所述弹簧的压缩量相匹配。
[0007]所述机械牵引手臂上固定连接有一导向定位机构。
[0008]所述的机械牵引手臂为牵引框体，所述牵引框体的一侧竖直面与所述活塞杆固定连接，所述牵引框体的另一侧竖直面为所述机械牵引手臂的工作面。
[0009]本实用新型的优点是:利用弹簧机构给予的永恒预压力并结合真空气缸与控制信号的联动控制，实现真空系统运动机构的有效锁紧及解锁的自动控制；锁紧机构保持真空系统原状态，且不易于污染真空状态；机构简单，信号控制方便。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的正向结构示意图；
[0011]图2为本实用新型的背向结构示意图；
[0012]图3为本实用新型中驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构在锁紧状态下的剖视图；
[0013]图4为本实用新型中驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构在解锁状态下的剖视图。
【具体实施方式】
[0014]以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解:
[0015]如图1-4所示，图中标记1-24分别为:驱动气缸1、密封法兰2、导向定位机构3、机械牵引手臂4、弹簧锁紧导杆机构5、可调节定位块机构6、气接头7、减压阀8、减压阀固定板9、牵引块10、固定调整座机构11、调速接头12、运动机构13、导杆14、弹簧15、外壳16、真空室内壁17、活塞杆18、轴肩19、滑套20、锁紧头21、滑轨座22、滑轨23、支架24。
[0016]实施例:如图1、2所示，本实施例中用于真空系统运动机构的锁紧机构包括驱动气缸I和弹簧锁紧导杆机构5，驱动气缸I连接驱动弹簧锁紧导杆机构5的锁紧或解锁状态。驱动气缸I通过密封法兰2固定在真空系统的真空室内壁17上，驱动气缸I上设置有用于连接气管与执行元件的气接头7、用于调节压缩气体压力的减压阀8、用于调节气体速度的调速接头12以及用于将减压阀8固定在真空室内壁17上的减压阀固定板9。驱动气缸I的活塞杆18的速度由调速接头12通过调节驱动气缸I内的气体速度控制。活塞杆18上固定连接有机械牵引手臂4，机械牵引手臂4被活塞杆18连接驱动。机械牵引手臂4为一牵引框体，牵引框体的一侧竖直面与活塞杆18固定连接；牵引框体的另一侧竖直面为机械牵引手臂4的工作面，用于牵引弹簧锁紧导杆机构5内的牵引块10。
[0017]如图3或4所示，弹簧锁紧导杆机构5包括导杆14、弹簧15、外壳16以及牵引块10，外壳16内具有导杆14的运行通道，导杆14和弹簧15安装在外壳16对的运行通道内部。弹簧15套装在导杆14外壁，导杆14的外表面设置有轴肩19，轴肩19与外壳16的内壁构成滑动配合，外壳16的后端部设置有滑套20，弹簧15位于轴肩19与滑套20之间的位置，使得导杆14向内收缩到外壳16内时，弹簧15被轴肩19向滑套20 —侧压缩。导杆14的前、后两端分别伸出于外壳16的前、后两侧端面，导杆14的后端部连接固定牵引块10，导杆14的前端为锁紧头21。牵引块10的位置与驱动气缸I的活塞杆18上的机械牵引手臂4的位置构成对应，且两者的工作面形状相匹配，实现机械牵引手臂4在被活塞杆18驱动回收时，可驱动牵引块10拉动牵引块10，使得与牵引块10相连接的导杆14收缩至外壳16内，此时弹簧15被压紧于轴肩19和滑套20之间。驱动气缸I内活塞杆18的行程大小与弹簧15的压缩量大小对应，而弹簧15的压缩量又不小于导杆14的锁紧头21与运动机构13解锁时导杆14的运动行程，所以活塞杆18的行程大小满足于导杆14在被机械牵引手臂4回拉时，其锁紧头21与运动机构13解锁的要求。
[0018]本实施例在具体使用时，具有以下执行动作:
[0019]解锁状态:驱动气缸I开始工作，驱动活塞杆18使活塞杆18带动机械牵引手臂4向内回收，此时机械牵引手臂4与牵引块10的工作面相接触并牵引驱动牵引块10向驱动气缸I 一侧回收，而与牵引块10相连的导杆14受力回收至外壳16内。导杆14的锁紧头21缩回至外壳16内，其前端从运动机构13的连接孔中脱出从而完成与运动机构13的解锁。此时，套装在导杆14外围的弹簧15被压缩在轴肩19和滑套20之间。
[0020]锁紧状态:驱动气缸I停止工作，被压缩的弹簧15利用其反弹力使导杆14复位，导杆14的锁紧头21插入运动机构13的连接孔中完成与运动机构13的锁紧。
[0021]本实施例在具体实施时:驱动气缸I的活塞杆18的行程还可满足于机械牵引手臂4牵引驱动牵引块10使导杆14收缩在外壳16内时，导杆14的锁紧头21端面与外壳16内导杆14的运行通道端面相平齐的要求。
[0022]为了使驱动气缸I内活塞杆18上的机械牵引手臂4按照一定轨迹均匀运动，避免其在高度方向和水平方向上发生摆动而造成牵引力方向不定，降低机械牵引手臂4对牵引块10的牵引精度，可在机械牵引手臂4的上表面固定连接一导向定位机构3。导向定位机构3还固定在真空室内壁17上，其机构内部设置有用于与机械牵引手臂4保持同步动作的滑轨座22和滑轨23，滑轨座22连接在滑轨23上，两者之间滑动配合，滑轨座22通过连接件与机械牵引手臂4连接固定。滑轨23固定在导向定位机构3的支架24上。支架24呈L形，其一侧立面用于固定滑轨23，另一侧立面通过连接件连接固定在真空室内壁17上。
[0023]为了确保被锁对象(运动机构13)与锁紧机构之间位置的统一性，即使得导杆14前端能够对准运动机构13上的连接孔，实现锁紧机构的通用性，可在外壳16的前端端面固定连接一可调整定位块机构6。
[0024]由于运动机构13—般是在真空室内旋转的机构，所以为了使弹簧锁紧导杆机构5在锁紧时始终与运动机构13保持相同的运动状态，在弹簧锁紧导杆机构5下部固定连接固定调整座机构11，固定调整座机构11可在真空室内进行与运动机构13相同的运动。
[0025]驱动气缸I可辅以信号控制系统进行控制，从而结合弹簧15给予的永恒预压力实现真空系统运动机构的全自动有效锁紧及解锁。
[0026]虽然以上述实施例已经参照附图对本实用新型目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，上述实施例的实质是:利用弹簧机构给予的永恒预压力并结合真空气缸与控制信号的联动控制，实现真空系统运动机构的有效锁紧及解锁的自动控制。所以在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本实用新型作出各种改进和变换，如:牵引驱动牵引块10的方式，牵引块10的具体结构等，故在此不—赘述。
【主权项】
1.一种用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于:所述机构至少由驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构构成，所述弹簧锁紧导杆机构包括导杆、弹簧以及牵引块，所述导杆具有一运行通道，所述弹簧套装于所述导杆外壁，所述导杆外壁具有轴肩，所述运行通道内壁上设置有滑套，所述弹簧位于所述滑套与所述轴肩之间的位置，所述导杆的一端连接固定所述牵引块，所述导杆的另一端为锁紧头，所述驱动气缸的活塞杆固定连接一机械牵引手臂，所述机械牵引手臂工作面形状与所述牵引块工作面形状匹配，用于牵引所述牵引块以控制所述导杆在所述运行通道内的往复动作。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于:所述驱动气缸的活塞杆行程大小与所述弹簧的压缩量相匹配。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于:所述机械牵引手臂上固定连接有一导向定位机构。
4.根据权利要求1所述的一种用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于:所述的机械牵引手臂为牵引框体，所述牵引框体的一侧竖直面与所述活塞杆固定连接，所述牵引框体的另一侧竖直面为所述机械牵引手臂的工作面。
【专利摘要】本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于：所述机构至少由驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构构成，所述弹簧锁紧导杆机构包括导杆、弹簧以及牵引块，所述导杆具有一运行通道，所述弹簧套装于所述导杆外壁，所述导杆外壁具有轴肩，所述运行通道内壁上具有滑套，所述弹簧位于所述滑套与所述轴肩之间的位置，所述导杆的一端连接固定所述牵引块，所述导杆的另一端为锁紧头，所述驱动气缸的活塞杆固定连接一机械牵引手臂，所述机械牵引手臂工作面形状与所述牵引块工作面形状匹配，用于牵引所述牵引块以控制所述导杆在所述运行通道内的往复动作。本实用新型的优点是：实现真空系统运动机构的有效锁紧及解锁。
【IPC分类】C23C14-56
【公开号】CN204474753
【申请号】CN201520093721
【发明人】龙汝磊, 戴秀海
【申请人】光驰科技(上海)有限公司
【公开日】2015年7月15日
【申请日】2015年2月10日