自动送料机构的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及物理气相沉积(Physical Vapor Deposit1n，PVD)设备的送料机构，尤其是一种在真空系统下使用的蒸镀(Evaporat i on )机的自动送料机构。
【背景技术】
[0002]常见的蒸镀及蒸镀设备，其原理是将金属和酸化物等蒸发，使其在素材的表面附着形成一层薄膜。蒸镀较常使用的蒸镀源沉积材料可为金属、元素半导体的蒸镀材料、合金的蒸镀材料或化合物的蒸镀材料等等，而这些材料大都可以制成颗粒状。中国台湾专利第M268354号公开了一种“蒸镀设备”，如该专利第四图、第六图及第七图所示，其中储料容器、检知感应器、集料筒、引料轨道、第二动力源搭配从而具有自动化送料的功能。但在该技术方案中，无论是储料容器对集料筒的送料、检知感应器自动回报集料筒内蒸渡源存量情形，再利用第二动力源搭配引料轨道的送料，在整体蒸镀源送料的过程中，无法产生一贯性的送料效果，且送料的方式过于复杂而不够迅速，无法即时于任何时间控制送料的流量，在送料的过程中将延误工艺时间，可能导致后续蒸镀的时间效率降低。因此，如何针对上述蒸镀源送料过程的繁琐及其结构加以改进，是本申请所要解决的技术问题。
【实用新型内容】
[0003]考虑到现有技术存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种在整体蒸镀源的原料送料过程中，可产生送料均匀的送料效果，且送料的方式变得简化而迅速，可即时在任何时间控制送料的流量的自动送料机构。
[0004]为了达成以上目的，本实用新型提供一种自动送料机构，其包括:一伸缩机构，该伸缩机构设有一柱体和一筒体，该筒体一端设有一第一开口，该筒体另一端设有一第二开口，该筒体外围上设有至少一个第一导沟;一储料容器，该储料容器下方延伸设有一导料通道，该导料通道结合于该第一开口的该筒体内；一固定座，该固定座上具有一孔洞;一驱动机构，该驱动机构具有一推杆，该推杆一端活动穿设于该孔洞并结合于该柱体的一端面，该柱体活动结合于该第二开口的该筒体内，该柱体的另一端面活动结合于该导料通道的下方出口周缘；以及一导料槽，该导料槽延伸成型设于该筒体的外围并包围该第一导沟，该导料槽与该筒体间设有一容置空间，该容置空间内设有一倾斜面，该倾斜面环绕成型于该筒体外围表面并延伸至该导料槽内的周缘表面上，该导料槽外围上设有一第二导沟，该倾斜面一端与该第二导沟相邻切齐设置，该容置空间与该第二导沟相连通。
[0005]其中该驱动机构为电动推杆或压缸装置，且该柱体的另一端面上中心延伸设有一导料锥。
[0006]在另一实施例中，本实用新型提供一种自动送料机构，其包括:一伸缩机构，该伸缩机构设有一柱体和一筒体，该筒体一端设有一第一开口，该筒体另一端设有一第二开口，该筒体外围上设有至少一个第一导沟;一储料容器，该储料容器下方延伸设有一导料通道，该导料通道结合于该第一开口的该筒体内；一固定座，该固定座上具有一孔洞，该固定座一侧面上垂直延伸设有至少一固定杆，该固定杆结合一隔离座体，该隔离座体上具有一第三开口，该隔离座体一侧面延伸设有一结合部;一驱动机构，该驱动机构具有一推杆，该推杆一端活动穿设于该孔洞并结合于该柱体的一端面，该柱体活动穿设于该第三开口并活动结合于该第二开口的该筒体内，该柱体的另一端面活动结合于该导料通道的下方出口周缘；一绝漏机构，该绝漏机构结合于该第三开口上并活动穿套于该柱体上；以及一导料槽，该导料槽延伸成型设于该筒体的外围并包围该第一导沟，该导料槽与该筒体间设有一容置空间，该容置空间内设有一倾斜面，该倾斜面环绕成型于该筒体外围表面并延伸至该导料槽内的周缘表面上，该导料槽外围上设有一第二导沟，该倾斜面一端与该第二导沟相邻切齐设置，该容置空间与该第二导沟相连通。
[0007]其中该驱动机构为电动推杆或压缸装置，且该柱体的另一端面上中心延伸设有一导料锥。
[0008]借由本实用新型采用自动化且简便的送料方式，在送料的过程中不会延误工艺的时间，具有即时性，能使得后续蒸镀的时间效率提升，因此蒸镀源的原料以自动化送料且利用简便的方式，以有效改善其蒸镀的时程管控及提升蒸镀工艺的品质，达成其技术效果。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型较佳实施例的真空设备或系统下使用的自动送料机构剖面结构示意图。
[0010]图2是本实用新型较佳实施例的真空系统环境下使用及装设有绝漏机构的自动送料机构剖面结构示意图。
[0011]图3是本实用新型较佳实施例的真空系统环境下装设于真空蒸镀机使用的自动送料机构的送料动作前示意图。
[0012]图3A是本实用新型较佳实施例的导料槽送料动作前的立体透视示意图。
[0013]图4是本实用新型较佳实施例的真空系统环境下装设于真空蒸镀机使用的自动送料机构的送料动作后示意图。
[0014]图4A是本实用新型较佳实施例的导料槽送料动作后的立体透视示意图。
[0015]图5是本实用新型较佳实施例的未设置绝漏机构情况下将自动送料机构安装于真空设备或系统中的送料动作后示意图。
[0016]〔本实用新型〕
[0017]I 伸缩机构11 柱体
[0018]111端面112端面
[0019]113导料锥12 筒体
[0020]121 第一开口122 第二开口[0021 ] 123第一导沟 2 储料容器
[0022]21 导料通道211出口
[0023]3 固定座31 孔洞
[0024]32 侧面33 固定杆
[0025]34 隔离座体341侧面
[0026]35 第三开口4 驱动机构
[0027]40A气压源41推杆
[0028]5导料槽51容置空间
[0029]52倾斜面53第二导沟
[0030]6结合部7绝漏机构[0031 ]100真空设备或系统200晶片座
[0032]300晶片半成品400坩祸
[0033]500原料500A蒸镀源
[0034]600导料机构700电源加热装置。
【具体实施方式】
[0035]为能更清楚了解本实用新型的内容，以下例举较佳实施例并给合附图加以说明。
[0036]请参阅图1所示，本实用新型提供一种自动送料机构，其包括:一伸缩机构1、一储料容器2、一固定座3、一驱动机构4以及一导料槽5。
[0037]该伸缩机构I设有一柱体11和一筒体12，在本实施例中，该柱体11和该筒体12的形状相互对应且并无限制，该筒体12—端设有一第一开口 121，该筒体12另一端设有一第二开口 122，该筒体12外围上设有两个第一导沟123为平行对称设置，该第一导沟123也可设置成四个，借以提升导流量;该储料容器2下方延伸设有一导料通道21，该导料通道21结合于该第一开口 121的该筒体12内，该导料通道21与该筒体12相连通;该固定座3上具有一孔洞31;该驱动机构4具有一推杆41，该推杆41 一端活动穿设于该孔洞31并结合于该柱体11的一端面111，该柱体11活动结合于该第二开口 122的该筒体12内，该柱体11的另一端面112活动结合于该导料通道21的下方出口 211周缘，该柱体11的另一端面112上中心延伸设有一导料锥113，该导料锥113可容置于该导料通道21内。在本实施例中，该驱动机构4可为电动推杆或压缸装置，其中电动推杆又可称为电动线性制动器，且压缸装置可为气压缸、油压缸或水压缸，选用气压缸或电动推杆最好，但不以此为限，其电动推杆的功能如同气压缸而能伸缩，因此借由该驱动机构4的该推杆41制动该柱体11，该柱体11可于该两个第一导沟123的位置及下半部的该筒体12内吻合的自由上下伸缩;该导料槽5延伸成型设于该筒体12的外围并包围该两第一导沟123，在本实施例中，该导料槽5的高度不得低于该两第一导沟123的高度，该导料槽5与该筒体12间设有一容置空间51，该容置空间51内设有一倾斜面52，该倾斜面52环绕成型于该筒体12外围表面并延伸至该导料槽5内的周缘表面上，该导料槽5外围上设有一第二导沟53，该倾斜面52—端与该第二导沟53相邻切齐设置，该容置空间51与该第二导沟53相连通。因此，该储料容器2、该导料通道21、该两个第一导沟123、该容置空间51及该第二导沟53也相连通。本实施例优选在真空设备或系统环境场合下使用，例如一般实验与产线的送料，本实施例的自动送料机构与后续说明的具有绝漏结构的真空系统环境下使用的自动送料机构的动作原理相同但结构及实施领域稍有不同，将在后面段落详细说明。
[0038]在另一实施例中，本实用新型的自动送料机构如具有绝漏的功能并在真空系统环境下实施，稍作一些结构上的变化，故请参阅图2所示，其中该固定座3上除了具有该孔洞31，且该固定座3的一侧面32上垂直延伸设有两固定杆33，该固定杆33也可设为三支，该两固定杆33结合一隔离座体34，该隔离座体34上具有一第三开口 35，该隔离座体34—侧面341延伸设有一结合部6。
[0039]该驱动机构4同样具有该推杆41，该推杆41一端活动穿设于该孔洞31并结合于该柱体11的该端面111，