蓝宝石长晶炉置换坩埚装置的制作方法

文档序号:11174179研发日期:2017年阅读:963来源:国知局
技术总结
本申请实施例公开一种蓝宝石长晶炉置换坩埚装置,该装置包括晶体生长室和坩埚置换室,晶体生长室设置于坩埚置换室的顶部,晶体生长室的底部与坩埚置换室连通,晶体生长室与坩埚置换室相连通的区域设置有开合部件;坩埚置换室内部设置有冷却平台、换料平台、上下料平台以及坩埚运送组件;通过本申请实施例提供的蓝宝石长晶炉置换坩埚装置,可在坩埚置换室内,对装有退火后的高温晶体的坩埚与装有原料的坩埚进行置换,将装有原料的坩埚置换入长晶炉后直接升温、长晶;置换出的装有退火后的高温晶体的坩埚,可在坩埚置换室内自然冷却,缩短现有技术中,晶体自然冷却以及取坩埚所需要的时间,提升蓝宝石长晶炉的稼动率。

技术研发人员:徐永亮;于海群
受保护的技术使用者:内蒙古恒嘉晶体材料有限公司
文档号码:201720242453
技术研发日:2017.03.14
技术公布日:2017.10.03

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