一种退火炉头部的制作方法

文档序号:15057961发布日期:2018-07-31 20:34阅读:376来源:国知局

本实用新型涉及退火炉技术领域,具体为一种退火炉头部。



背景技术:

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其性能。热处理是针对不同的效果而设计的。在退火炉的实际使用过程,钢带转动时间过久就容易松动,所以针对这种情况增加了托辊调整装置,可以根据钢带的实际使用情况调整其间隙。但是在现有技术中,判断钢带是否松动只能根据人为主观的判断,也就无法及时做到调整,如果松动的钢带继续被使用,那么钢带的寿命就会大大缩短。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种退火炉头部,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种退火炉头部,包括头部滚筒架和电机减速机,所述电机减速机通过三角架固定连接在头部滚筒架上,所述电机减速机通过联轴器连接有小链轮,且小链轮上啮合有传动链条,所述传动链条传动连接有大链轮,所述大链轮的中部固定插接有滑块带座轴承,且滑块带座轴承的两端转动连接在头部滚筒架上,所述大链轮上固定套接有头部卸料滚筒,且头部卸料滚筒远离电机减速机的一端活动插接有防尘罩,防尘罩与头部滚筒架相互靠近的一侧固定连接,所述头部卸料滚筒位于防尘罩内的一段上滑动连接有输送钢带,且输送钢带与卸料溜槽滑动连接,所述卸料溜槽固定插接在防尘罩上,卸料溜槽的另一端延伸到头部滚筒架外,所述卸料溜槽与头部滚筒架相互靠接的一端通过螺钉螺纹连接,螺孔开设在卸料溜槽上,所述输送钢带的下端抵触连接有钢带校平辊,且钢带校平辊的中部固定插接有旋转杆,旋转杆的两端均连接在调整块上,两个所述调整块均通过第一连接杆固定连接在头部滚筒架上,所述钢带校平辊的后端设置有托辊调整装置,且托辊调整装置通过第二移动杆固定连接在头部滚筒架上;

托辊调整装置包括移动柱,所述移动柱活动插接在托辊调整装置上,且移动柱的下端延伸到孔腔内并连接有第一弹簧的一端,第一弹簧的另一端连接在孔腔的底壁上,所述孔腔开设在托辊调整装置上,所述移动柱的下端连接有钢绳的一端,且钢绳的另一端绕过定滑轮连接在抵板的上端,所述定滑轮转动连接在孔腔的顶壁上,所述抵板的下端开设有凹槽,且凹槽内设置有限位杆,所述限位杆的下端固定连接在孔腔的底壁上,所述抵板的上端抵触连接有移动杆,且移动杆的另一端活动贯穿挡板并连接有第一电极片,所述移动杆上缠绕有第二弹簧,且第二弹簧的两端分别连接在移动杆的侧壁上和挡板的侧壁上,所述挡板的上端固定连接在孔腔的顶壁上,且孔腔的侧壁连接有与第一电极片相匹配的第二电极片,所述孔腔的底壁连接有矩形箱,且矩形箱内设置有蓄电池和电铃。

优选的,所述移动柱远离定滑轮的一端与孔腔靠近的侧壁滑动连接。

优选的,所述限位杆与凹槽相互靠近的一侧滑动连接。

优选的,所述抵板的上端呈梯形结构。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:此退火炉头部结构简单,通过加入钢带校平辊、头部卸料滚筒、输送钢带、小链轮、传动链条、滑块带座轴承、大链轮、卸料溜槽、防尘罩、托辊调整装置、移动柱、第一弹簧、钢绳、定滑轮、抵板、限位杆、移动杆、挡板、第一电极片和矩形箱等结构,在第一电极片、第二电极片、蓄电池和电铃组成的一条串联回路下,当输送钢带由于松动在自重作用下向下运动时,输送钢带的运动就会挤压移动柱向下运动,移动柱的运动会拉动钢绳的运动,钢绳的运动会使抵板向上运动,抵板的运动会推着移动杆带着第一电极片向第二电极片的方向运动,当第一电极片和第二电极片接触后,串联电路接通,电铃发出响声,提醒工作人员需要调整钢带校平辊和头部卸料滚筒之间的距离,因此该装置能够达到及时提醒工作人员的效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型侧视图;

图3为A结构放大示意图。

图中:钢带校平辊1、头部卸料滚筒2、头部滚筒架3、输送钢带4、小链轮5、电机减速机6、传动链条7、滑块带座轴承8、大链轮9、卸料溜槽10、防尘罩11、托辊调整装置12、移动柱13、第一弹簧14、钢绳15、定滑轮16、抵板17、限位杆18、移动杆19、挡板20、第一电极片21、矩形箱22。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:

一种退火炉头部,包括头部滚筒架3和电机减速机6,电机减速机6通过三角架固定连接在头部滚筒架3上,电机减速机6通过联轴器连接有小链轮5,且小链轮5上啮合有传动链条7,传动链条7传动连接有大链轮9,大链轮9的中部固定插接有滑块带座轴承8,且滑块带座轴承8的两端转动连接在头部滚筒架3上,大链轮9上固定套接有头部卸料滚筒2,且头部卸料滚筒2远离电机减速机6的一端活动插接有防尘罩11,防尘罩11与头部滚筒架3相互靠近的一侧固定连接,头部卸料滚筒2位于防尘罩11内的一段上滑动连接有输送钢带4,且输送钢带4与卸料溜槽10滑动连接,卸料溜槽10固定插接在防尘罩11上,卸料溜槽10的另一端延伸到头部滚筒架3外,卸料溜槽10与头部滚筒架3相互靠接的一端通过螺钉螺纹连接,螺孔开设在卸料溜槽10上,输送钢带4的下端抵触连接有钢带校平辊1,且钢带校平辊1的中部固定插接有旋转杆,旋转杆的两端均连接在调整块上,两个调整块均通过第一连接杆固定连接在头部滚筒架3上,钢带校平辊1的后端设置有托辊调整装置12,且托辊调整装置12通过第二移动杆固定连接在头部滚筒架3上;

托辊调整装置12包括移动柱13,移动柱13活动插接在托辊调整装置12上,且移动柱13的下端延伸到孔腔内并连接有第一弹簧14的一端,第一弹簧14的另一端连接在孔腔的底壁上,孔腔开设在托辊调整装置12上,移动柱13的下端连接有钢绳15的一端,且钢绳15的另一端绕过定滑轮16连接在抵板17的上端,定滑轮16转动连接在孔腔的顶壁上,抵板17的下端开设有凹槽,且凹槽内设置有限位杆18,限位杆18的下端固定连接在孔腔的底壁上,抵板17的上端抵触连接有移动杆19,且移动杆19的另一端活动贯穿挡板20并连接有第一电极片21,移动杆19上缠绕有第二弹簧,且第二弹簧的两端分别连接在移动杆19的侧壁上和挡板20的侧壁上,挡板20的上端固定连接在孔腔的顶壁上,且孔腔的侧壁连接有与第一电极片21相匹配的第二电极片,孔腔的底壁连接有矩形箱22,且矩形箱22内设置有蓄电池和电铃,移动柱13远离定滑轮16的一端与孔腔靠近的侧壁滑动连接,防止侧滑,限位杆18与凹槽相互靠近的一侧滑动连接,防止侧滑,抵板17的上端呈梯形结构,运动的及时传递。

工作原理:在第一电极片21、第二电极片、蓄电池和电铃组成的一条串联回路下,当输送钢带4由于松动在自重作用下向下运动时,输送钢带4的运动就会挤压移动柱13向下运动,移动柱13的运动会拉动钢绳15的运动,钢绳15的运动会使抵板17向上运动,抵板17的运动会推着移动杆19带着第一电极片21向第二电极片的方向运动,当第一电极片21和第二电极片接触后,串联电路接通,电铃发出响声,提醒工作人员需要调整钢带校平辊1和头部卸料滚筒2之间的距离,因此该装置能够达到及时提醒工作人员的效果。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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