1.一种电动接晶托,用于防止晶棒掉落,它安装在单晶炉的副室旋臂(10)上,其特征在于,它包括:
提升杆;
用于驱动提升杆升降的升降驱动装置,所述提升杆连接在升降驱动装置上,以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降;
用于承接晶棒的托板(1),所述托板(1)连接在提升杆上;
用于驱动托板(1)旋转的旋转驱动装置,所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板(1)之间。
2.根据权利要求1所述的电动接晶托,其特征在于:所述升降驱动装置包括电动推杆(2),所述电动推杆(2)连接在副室旋臂(10)上,所述提升杆连接在电动推杆(10)的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降。
3.根据权利要求2所述的电动接晶托,其特征在于:还包括固定管(3),所述固定管(3)连接在副室旋臂(10)上,且所述固定管(3)套装在提升杆和电动推杆(2)的推杆的外侧。
4.根据权利要求1所述的电动接晶托,其特征在于:所述旋转驱动装置包括电机(4),所述电机(4)连接在提升杆上,所述托板(1)连接在电机(4)的输出轴上,以便通过电机(4)驱动托板(1)旋转。
5.根据权利要求3所述的电动接晶托,其特征在于:所述提升杆的外侧套装有可伸缩的防尘罩(5),所述防尘罩(5)的一端和固定管(3)相连接,所述防尘罩(5)的另一端和旋转驱动装置相连接。
6.根据权利要求5所述的电动接晶托,其特征在于:所述防尘罩(5)为波纹防尘罩。