一种单晶炉炉筒清理装置的制作方法

本实用新型涉及一种清理装置，具体涉及一种单晶炉炉筒清理装置。

背景技术：

在直拉法制备单晶硅的生产中，当单晶炉一炉单晶拉制完毕后，需要进行清炉。以往的操作是：用无尘纤维纸缠在长棒的头部，并用无水酒精浸润无尘纤维纸，把缠有无尘纤维纸的一端深入副炉室里，从上往下慢慢沿着副室壁擦拭。这种清炉方式既无法保证清炉的洁净效果，又很容易使重锤和钢丝绳碰到副炉室壁，把钢丝绳碰出毛刺，从而造成生产安全隐患，影响下一炉的正常生产。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种单晶炉炉筒清理装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：

提供一种单晶炉炉筒清理装置，包括安装壳体、清理装置、喷气机构和吸尘机构；

安装壳体外侧部设有电源线和控制开关，顶部设有喷气开关、吸尘开关、喷气管和吸尘管；内部侧壁上设有控制电路板；电源线、控制开关、喷气开关和吸尘开关分别与控制电路板进行电性连接；

喷气机构设于安装壳体内一侧，包括设于安装壳体底部的空气泵；空气泵进气口与进气管一端相连，安装壳体侧部设有两个开口，开口处设有过滤网，进气管另一端与其中一开口相连；空气泵与控制电路板进行电连接，空气泵出气口通过歧管与喷气管相连；

吸尘机构设于安装壳体内另一侧，包括设于安装壳体底部的过滤器和抽气泵；抽气泵与控制电路板进行电连接；过滤器一侧通过导流管连接吸尘管，另一侧设有开口并通过连接管与抽气泵进气口相连，抽气泵出气口通过排气管与安装壳体侧部的另一开口相连；

清理装置设于安装壳体上方，包括固定盘；固定盘中心处设有竖向通孔，固定盘上还设有竖向的进气孔，进气孔与喷气管相连；固定盘侧部外缘设有环状凹槽，环状凹槽内装设有气囊，固定盘上端面设有若干凸台；固定盘通过凸台与螺栓连接有压盘，压盘中心设有向下延伸的管状延长段；延长段装配于固定盘中心处的孔内,延长段端口与吸尘管相连；压盘上端面上设有环形刷子。

作为一种改进，固定盘的中心孔与延长段间设有密封圈。

作为一种改进，进气孔数量为2～10个，均布于固定盘上。

作为一种改进，空气泵和抽气泵分别通过螺栓与安装壳体进行固定连接。

作为一种改进，过滤器内底部设有集尘盒。

作为一种改进，过滤器与连接管相连的开口内设有过滤网。

其中，喷气管和吸尘管采用橡胶或塑料制成。气囊是一个环形可充气的物体，可采用橡胶或塑料制成、充气后与单晶炉炉筒紧贴。环形刷子的刷毛与炉筒紧贴。

与现有技术相比，本实用新型的技术效果是：

能够有效清理单晶炉炉筒内的灰尘，且能将灰尘收集，以此完成对副炉室炉筒的清理。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的安装壳体内部结构示意图；

图3是本实用新型的清理装置的剖面结构示意图；

图4是本实用新型的固定盘的剖面结构示意图。

图中：1-安装壳体、2-电源线、3-控制开关、4-控制电路板、5-喷气管、6-吸尘管、7-清理装置、71-固定盘、72-压盘、73-气囊、74-环形刷子、75-密封圈、8-喷气机构、81-过滤网、82-进气管、83-空气泵、84-歧管、9-吸尘机构、91-导流管、92-过滤器、93-集尘盒、94-过滤网、95-连接管、96-抽气泵、97-排气管、10-喷气开关、11-吸尘开关、12-孔、13-环状凹槽、14-进气孔、15-凸台、16-炉筒。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述。

如图1-2所示，一种单晶炉炉筒清理装置，包括安装壳体1、清理装置7、喷气机构8和吸尘机构9。

安装壳体1外侧部设有电源线2和控制开关3，顶部设有喷气开关10、吸尘开关11、喷气管5和吸尘管6。内部侧壁上设有控制电路板4。电源线2、控制开关3、喷气开关10和吸尘开关11分别与控制电路板4进行电性连接。

喷气机构8设于安装壳体1内一侧，包括设于安装壳体1底部的空气泵83。空气泵83进气口与进气管82一端相连，安装壳体1侧部设有两个开口，开口处设有过滤网81，进气管82另一端与其中一开口相连。空气泵83与控制电路板4进行电连接，空气泵83出气口与歧管84一端相连，歧管84另一端与喷气管5相连。

吸尘机构9设于安装壳体1内另一侧，包括设于安装壳体1底部的过滤器92和抽气泵96。抽气泵96与控制电路板4进行电连接。过滤器92一侧通过导流管91连接吸尘管6，另一侧设有开口且通过连接管95与抽气泵96进气口相连，抽气泵96出气口通过排气管97与安装壳体1侧部的另一开口相连。过滤器92与连接管95相连的开口内设有过滤网94。过滤器92内底部设有集尘盒93。

清理装置7设于安装壳体1上方，包括固定盘71。固定盘71中心处设有竖向通孔12，固定盘71上还设有竖向的进气孔14，进气孔14数量为2～10个，均布于固定盘71上。进气孔14与喷气管5相连。固定盘侧部外缘设有环状凹槽13，环状凹槽13内装设有气囊73，固定盘上端面设有若干凸台15。固定盘通过凸台15与螺栓连接有压盘72，压盘72中心设有向下延伸的管状延长段，延长段装配于固定盘中心处的孔12内，固定盘的中心孔12与延长段间设有密封圈75,延长段端口与吸尘管6相连。压盘72上端面上设有环形刷子74。

空气泵83和抽气泵96分别通过螺栓与安装壳体1进行固定连接。

喷气管5和吸尘管6可采用橡胶或塑料制成。气囊73是一个环形可充气的物体，可采用橡胶或塑料制成、充气后与单晶炉炉筒16紧贴。环形刷子74的刷毛与炉筒16紧贴，由于环形刷子74的刷毛与炉筒16紧贴，以此保证单晶炉炉筒16清理干净。由于进气孔14数量为2～10个，均布分布在固定盘71底部，以此保证均匀喷气。空气泵83和抽气泵96分别通过螺栓与安装壳体1进行固定连接，以此保证空气泵83和抽气泵96安装的牢固性。

需要说明的是，本实用新型在使用时，通过对气囊73充气并把清理装置7放置炉筒16内，从而使炉筒16密封，通过电源线2接通电源，并打开控制开关3和吸尘开关11，从而使空气(带有灰尘杂质)通过吸尘管6吸入导流管91，并进入集尘盒93，通过过滤网94过滤后被抽气泵96通过排气管97排除，通过关闭吸尘开关11并打开喷气开关10，从而使空气泵83带动空气通过过滤网81进入进气管82，并在空气泵83的带动下进入喷气管5，通过清理装置7喷向炉筒18，将炉筒18和环形刷子74上的灰尘吹起，通过反复打开或关闭吸尘开关11和喷气开关10，从而使炉筒18内的空气(带有灰尘杂质)被净化，清理完成后，需关闭吸尘开关11并打开喷气开关10，从而使清理装置7与炉筒16分离，清理完成后，取下集尘盒93，以此对灰尘进行清理。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。