边料处理装置及具备边料处理装置的基板切割装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种切割基板的基板切割装置，更详细地，涉及一种移送并处理从基板的端部切割的基板的边料的边料处理装置及具备边料处理装置的板切割装置。


背景技术：

2.一般而言，在用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等中使用从玻璃之类脆性母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸的单位玻璃面板(以下，称为“单位基板”)。
3.将基板切割为单位基板的工艺包括沿要切割基板的切割计划线在使由金刚石之类材质构成的划线轮加压于基板的状态下使划线轮及/或基板移动而形成划线的划线工艺。
4.在将基板切割为单位基板的工艺中，需要去除不包含于单位基板的边料(虚设部(dummy)或碎茬(cullet)，即不用于单位基板的有效区域而切割后扔到的非有效区域)。
5.作为一例，大韩民国公开专利第10-2003-0069195号提出有以下结构：使用轮尖在玻璃基板形成划线后，使用设置于支承装置的夹头来夹持液晶母基板的切割片而分离并废弃切割片。
6.另一方面，从基板的端部切割并去除的边料通过传送带等边料移送单元移送后收容到边料收容单元。但是，存在以下问题：在从边料移送单元向边料收容单元移送边料的过程中，边料可能在边料移送单元与边料收容单元之间的隔开空间飞散，边料收容单元的周边环境被飞散落下的边料污染。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的在于提供一种防止边料在边料移送单元与边料收容单元之间飞散的边料处理装置及具备边料处理装置的基板切割装置。
8.用于达到上述目的的本实用新型的实施例的料处理装置可以包括：边料移送单元，构成为移送边料；边料收容单元，构成为收容通过边料移送单元移送的边料；滑槽部件，布置于边料移送单元与边料收容单元之间，并将边料向边料收容单元引导；以及滑槽部件驱动部，构成为使滑槽部件以与边料收容单元靠近或远离的方式移动。
9.可以是，边料收容单元包括：壳体，具备边料流入口及车体出入口；车体，布置于壳体的内部；以及门，开闭车体出入口。
10.可以是，本实用新型的实施例的边料处理装置还包括边料引导部件，边料引导部件布置于边料移送单元与滑槽部件之间，并将边料向滑槽部件引导，滑槽部件可以以相对于边料引导部件能够移动的方式连接于边料引导部件。
11.可以是，本实用新型的实施例的边料处理装置还包括边料粉碎单元，边料粉碎单元布置于边料引导部件的内部，并构成为粉碎边料。
12.可以是，本实用新型的实施例的边料处理装置还包括传感器，传感器检测收容在
边料收容单元的边料的收容量。
13.可以是，本实用新型的实施例的边料处理装置还包括控制单元，控制单元基于通过传感器检测的边料的收容量，控制滑槽部件的位置。
14.本实用新型的实施例的基板切割装置可以包括上述的边料处理装置。
15.可以是，本实用新型的实施例的基板切割装置包括：第一平板及第二平板，支承基板；划线单元，布置于第一平板与第二平板之间，并在基板形成划线；以及边料去除单元，沿着通过划线单元在基板的端部形成的划线，从基板去除边料，边料处理装置移送并处理通过边料去除单元去除的边料。
16.可以是，当将基板向划线单元移送的方向定义为y轴方向，将与移送基板的方向正交的方向定义为x轴方向，将与x-y平面垂直的方向定义为z轴方向时，边料去除单元包括：支承架，沿x轴方向延伸；夹具组件，布置于支承架，并构成为夹持基板的边料；旋转组件，使支承架以与x轴方向平行的中心轴为中心旋转；水平移动组件，使支承架沿y轴方向移动；以及垂直移动组件，使支承架沿z轴方向移动。
17.可以是，本实用新型的实施例的基板切割装置还包括移送单元，移送单元将基板向划线单元移送，移送单元包括：带，支承基板；夹持部件，夹持支承在带的基板的后随端；以及支承杆，支承夹持部件，并能够向移送基板的方向移动。
18.根据本实用新型的实施例，提供一种防止边料在边料移送单元与边料收容单元之间飞散的边料处理装置及具备边料处理装置的基板切割装置，从而能够防止边料收容单元的周边被飞散落下的边料污染。
附图说明
19.图1至图3是简要示出本实用新型的实施例的基板切割装置的图。
20.图4是简要示出本实用新型的实施例的基板切割装置的边料去除单元的图。
21.图5是简要示出本实用新型的实施例的边料处理装置的图。
22.图6是简要示出本实用新型的实施例的边料处理装置的其它例的图。
23.图7是简要示出本实用新型的实施例的边料处理装置的再其它例的图。
24.附图标记说明
25.70：边料处理装置；71：边料移送单元；72：边料收容单元；73：边料引导单元；74：边料粉碎单元。
具体实施方式
26.以下，参照附图，说明本实用新型的实施例的边料处理装置及具备边料处理装置的板切割装置。
27.通过本实用新型的实施例的基板切割装置及基板切割方法切割的对象可以是粘连第一基板和第二基板的粘连基板。例如，第一基板可以具备薄膜晶体管，第二基板可以具备滤色器。与此相反，第一基板可以具备滤色器，第二基板可以具备薄膜晶体管。
28.以下，将粘连基板简称为基板，将第一基板的向外部暴露的表面称为第一面，将第二基板的向外部暴露的表面称为第二面。
29.另外，将移送要执行基板切割工艺的基板的方向定义为y轴方向，将与移送基板的
方向(y轴方向)垂直的方向定义为x轴方向。而且，将与放置基板的x-y平面垂直的方向定义为z轴方向。
30.如图1至图4所示，本实用新型的实施例的基板切割装置可以包括：划线单元30；将基板s向划线单元30移送的第一移送单元10；将基板s从划线单元30向后续工艺移送的第二移送单元20；以与划线单元30相邻的方式布置的边料去除单元40；处理通过边料去除单元40去除的边料的边料处理装置70(参照图3)；以及控制基板切割装置的构成部件的动作的控制单元50(参照图6及图7)。
31.划线单元30构成为在基板s的第一面及第二面沿x轴方向分别形成划线。
32.划线单元30可以包括：沿x轴方向延伸的第一框架31；在第一框架31以能够沿x轴方向移动的方式设置的第一划线头32；在第一框架31的下方与第一框架31平行地沿x轴方向延伸的第二框架33；以及在第二框架33以能够沿x轴方向移动的方式设置的第二划线头34。在第一划线头32及第二划线头34与第一框架31及第二框架33之间可以具备与第一划线头32及第二划线头34分别连接而使第一划线头32及第二划线头34沿x轴方向移动的直线移动机构。例如，直线移动机构可以由使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构构成。
33.在第一框架31可以沿x轴方向安装有多个第一划线头32，在第二框架33可以沿x轴方向安装有多个第二划线头34。在第一框架31与第二框架33之间可以形成供基板s穿过的空间。第一框架31及第二框架33可以制造成独立部件来组装，或者可以制造成一体。
34.第一划线头32和第二划线头34可以在z轴方向上彼此相对布置。
35.在第一划线头32及第二划线头34可以设置保持划线轮351的轮架35。安装于第一划线头32的划线轮351和安装于第二划线头34的划线轮351可以在z轴方向上彼此相对布置。
36.一对划线轮351可以分别加压于基板s的第一面及第二面。在一对划线轮351分别加压于基板s的第一面及第二面的状态下，第一划线头32及第二划线头34对基板s沿x轴方向相对移动，由此能够在基板s的第一面及第二面沿x轴方向形成划线。
37.另一方面，第一划线头32及第二划线头34可以构成为分别相对于第一框架31及第二框架33能够沿z轴方向移动。为此，可以在第一划线头32及第二划线头34与第一框架31及第二框架33之间具备分别与第一划线头32及第二划线头34连接而使第一划线头32及第二划线头34沿z轴方向移动的头移动组件38、39。例如，头移动组件38、39可以具备使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构。
38.随着第一划线头32及第二划线头34分别相对于第一框架31及第二框架33沿z轴方向移动，一对划线轮351加压于基板s或者与基板s隔开。而且，通过调节第一划线头32及第二划线头34沿z轴方向的移动的程度，能够调节一对划线轮351施加于基板s的加压力。另外，通过第一划线头32及第二划线头34沿z轴方向的移动，能够调节一对划线轮351对基板s的切削深度(进入深度)。
39.第一移送单元10可以包括：支承基板s的多个带11；夹持支承在多个带11上的基板s的后随端的夹持部件12；与夹持部件12连接并沿x轴方向延伸的支承杆13；与支承杆13连接并沿y轴方向延伸的第一导轨14；以及以与划线单元30相邻的方式布置并悬浮或吸附来支承基板s的第一平板15。
40.多个带11可以在x轴方向上彼此隔开。各带11被多个滑轮111支承，并多个滑轮111中至少一个可以是提供使带11旋转的驱动力的驱动滑轮。
41.在支承杆13与第一导轨14之间可以设置有使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构。因此，在夹持部件12夹持基板s的状态下，支承杆13通过直线移动机构沿y轴方向移动，由此能够将基板s向y轴方向移送。此时，多个带11能够在同步于夹持部件12的移动而旋转的同时稳定地支承基板s。
42.夹持部件12可以是对基板s加压来保持的夹具。作为其它例，夹持部件12可以具备与真空源连接的真空孔而构成为吸附基板s。
43.第一平板15可以构成为能够将基板s悬浮或吸附。例如，在第一平板15的表面可以形成与气体供给源及真空源连接的多个狭缝。在从气体供给源向第一平板15的多个狭缝供给气体的情况下，基板s能够从第一平板15悬浮。另外，在通过真空源形成的负压下经由第一平板15的多个狭缝抽吸气体的情况下，基板s能够吸附于第一平板15。
44.在基板s从第一平板15悬浮的状态下，基板s能够与第一平板15无摩擦地移动。而且，在对基板s的第一面及第二面形成划线的过程中，基板s能够吸附并固定于第一平板15。
45.第二移送单元20可以包括：以与划线单元30相邻的方式布置而将吸附基板s悬浮或吸附来支承的第二平板25；以与第二平板25相邻的方式布置的移送带21；以及使第二平板25及移送带21沿y轴方向往复移动的移动装置26。移动装置26起到使第二平板25及移送带21跟随沿y轴方向延伸的第二导轨24沿y轴方向往复移动的作用。移动装置26可以适用使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构。
46.第二平板25和移送带21可以构成为能够沿与通过移动装置26移送基板s的方向平行的方向(y轴方向)一起移动。
47.在通过划线单元30在基板s的第一面及第二面分别形成划线时，可以是第二平板25朝向第一平板15移动，第一划线头32及第二划线头34位于第一平板15与第二平板25之间。在通过划线单元30在基板s的第一面及第二面分别形成划线时，第二平板25朝向第一平板15移动，因此基板s能够被第一平板15及第二平板25的全部稳定地支承。
48.移送带21可以设置多个，多个移送带21可以在x轴方向上彼此隔开。各个移送带21被多个滑轮211支承，多个滑轮211中至少一个可以是提供使移送带21旋转的驱动力的驱动滑轮。
49.第二平板25可以构成为能够将基板s悬浮或吸附。例如，在第二平板25的表面可以形成与气体供给源及真空源连接的多个狭缝。在从气体供给源向第二平板25的多个狭缝供给气体的情况下，基板s能够从第二平板25悬浮。另外，在通过真空源形成的负压作用下通过第二平板25的多个狭缝抽吸气体的情况下，基板s能够吸附于第二平板25。
50.在基板s向第二平板25移送的过程中，向第二平板25的狭缝供给气体，由此，基板s能够与第二平板25无摩擦地移动。
51.而且，在对基板s的第一面及第二面形成划线的过程中，基板s能够吸附并固定于第二平板25。
52.而且，在划线分别形成于基板s的第一面及第二面之后，在基板s吸附于第一平板15及第二平板25的状态下，第二平板25以远离第一平板15的方式移动，由此基板s能够沿划
线划分。
53.另一方面，在基板s从第二平板25向后续工艺移动的过程中，向第二平板25的狭缝供给气体，由此，基板s能够与第二平板25无摩擦地移动。
54.如图3及图4所示，边料去除单元40起到将位于基板s的先行端的边缘及基板s的后随端的边缘的边料(虚设部(dummy)或碎茬(cullet)，即不用作单位基板而切割后废弃的非有效区域)夹持而从基板s去除的作用。
55.边料去除单元40可以布置在第一移送单元10与第二移送单元20之间。
56.边料去除单元40可以包括：沿x轴方向延伸的支承架41；布置于支承架41的夹具组件42；使支承架41以支承架41的中心轴(与x轴方向平行的轴)为中心旋转的旋转组件43；使支承架41沿y轴方向移动的水平移动组件44；以及使支承架41沿z轴方向移动的垂直移动组件45。
57.旋转组件43可以包括与支承架41的旋转中心轴通过旋转轴连接的旋转马达。旋转组件43可以包括在旋转马达的旋转轴与支承架41之间设置的链、带等动力传递部件。
58.水平移动组件44或垂直移动组件45可以由使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构构成。
59.图4示出了旋转组件43、水平移动组件44及垂直移动组件45分别设置于支承架41的两侧的结构。但是，本实用新型不限定于此，可以适用旋转组件43、水平移动组件44及垂直移动组件45设置于支承架41的任一侧并在支承架41的另一侧设置用于引导支承架41的旋转、水平移动及垂直移动的引导构件的结构。
60.多个夹具组件42可以沿着支承架41沿x轴方向布置。夹具组件42可以沿着沿支承架41延伸的导件411沿x轴方向以能够移动的方式设置。为此，在夹具组件42与导件411之间可以设置有使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构。因此，随着多个夹具组件42通过直线移动机构沿x轴方向移动，能够调节多个夹具组件42之间的间隔。因此，多个夹具组件42与基板s的宽度适当对应地布置，能够稳定地夹持基板s。
61.通过边料去除单元40从基板s的端部去除的边料能够通过边料处理装置70处理。
62.如图5所示，边料处理装置70包括：移送通过边料去除单元40从基板s的端部去除的边料的边料移送单元71；构成为收容通过边料移送单元71移送的边料的边料收容单元72；以及布置于边料移送单元71与边料收容单元72之间并将边料向边料收容单元72引导的边料引导单元73。
63.例如，边料移送单元71可以包括传送带711及支承传送带711的滑轮712。通过边料去除单元40的夹具组件42从基板s的端部去除的边料能够向传送带711上落下。即，随着夹具组件42释放边料，边料能够向传送带711上落下。落到传送带711上的边料通过传送带711能够朝向边料收容单元72移送。
64.边料收容单元72可以包括：具备供边料流入的边料流入口721的壳体722；以及收纳在壳体722的内部的车体723。
65.在壳体722可以形成车体出入口724，在车体出入口724可以安装门725。车体723能够通过车体出入口724收纳于壳体722的内部或向壳体722的外部取出。
66.收容车体723的空间通过壳体722及门725封闭，因此能够防止在收纳车体723的空
间内飞散的边料向外部排出。因此，能够防止边料收容单元72的周边环境被边料污染。
67.若车体723收纳于壳体722的内部，则传送带711工作，由此，通过传送带711移送的边料能够通过壳体722的边料流入口721向车体723的内部流入。
68.边料引导单元73可以包括：以与边料移送单元71相邻的方式布置的边料引导部件731；以相对于边料引导部件731能够移动的方式连接于边料引导部件731的滑槽部件732；以及构成为使滑槽部件732以与边料收容单元72靠近或远离的方式移动的滑槽部件驱动部733。
69.例如，边料引导部件731形成为漏斗形状，起到将通过边料移送单元71移送的边料朝向边料收容单元72的车体723引导的作用。
70.边料引导部件731与滑槽部件732彼此连接，因此能够防止在边料引导部件731与滑槽部件732之间移动的边料的碎片向外部排出。
71.滑槽部件732可以布置于壳体722的边料流入口721的内部，以与壳体722内的车体723靠近或远离的方式移动。
72.在车体723向壳体722的内部运进的过程中，滑槽部件732向与车体723隔开的方向上升，由此，能够防止滑槽部件732的下端与车体723彼此干涉。
73.在车体723运进到壳体722的内部的情况下，滑槽部件732向朝向车体723的方向下降。因此，由于能够最小化滑槽部件732的下端与车体723之间的隔开空间，能够防止边料在滑槽部件732的下端与车体723之间的隔开空间中飞散。例如，随着滑槽部件732下降，滑槽部件732的下端能够收容于车体723的内部。
74.滑槽部件驱动部733构成为使滑槽部件732升降。滑槽部件驱动部733可以包括：形成于滑槽部件732的齿条；布置于边料流入口721的内部的小齿轮；以及使小齿轮旋转的旋转马达。但是，滑槽部件驱动部733不限定于这种结构，可以多样地构成为能够使滑槽部件732升降。例如，滑槽部件驱动部733可以由直线移动机构构成，该直线移动机构由使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构构成。
75.另一方面，在边料移送单元71与边料引导单元73之间可以设置粉碎边料的边料粉碎单元74。作为一例，边料粉碎单元74可以布置于边料引导部件731的内部。例如，边料粉碎单元74可以由在外周面安装有刀片的一对粉碎辊741构成。
76.由于边料粉碎单元74布置在边料引导部件731的内部，因此在通过边料粉碎单元74粉碎边料时，能够防止边料的碎片向外部排出。另外，由于边料粉碎单元74布置在边料引导部件731的内部，因此通过边料粉碎单元74粉碎的边料能够直接被边料引导部件731引导而向滑槽部件732流入。
77.根据这种结构，当在滑槽部件732上升的状态下车体723运进到壳体722的内部时，通过门725封闭车体出入口724。
78.而且，滑槽部件732通过滑槽部件驱动部733下降，由此，滑槽部件732的下端能够插入到车体723的内部。
79.在这种状态下，若通过边料移送单元71移送边料，则边料经过边料引导部件731及滑槽部件732收容到车体723的内部。在这种过程中，边料粉碎单元74工作，粉碎的边料经过边料引导部件731及滑槽部件732收容到车体723的内部。
80.在这种过程中，由于处于滑槽部件732的下端插入到车体723的内部的状态，因此
最小化从滑槽部件732的下端向车体723的内部排出的边料飞散。因此，能够防止飞散的边料导致边料收容单元72的周边环境污染。
81.另一方面，若车体723被边料填满，则停止边料移送单元71及边料粉碎单元74的工作，滑槽部件732上升，滑槽部件732的下端从车体723取出。因此，防止在车体723向壳体722的外部运出时车体723与滑槽部件732的下端干涉。
82.而且，若门725开放，则能够将由边料填满的车体723通过车体出入口724向外部取出。
83.根据本实用新型的实施例的边料处理装置70，在滑槽部件732与车体723最大限度地相邻的状态下，边料通过滑槽部件732向车体723的内部排出，因此最小化从滑槽部件732的下端向车体723的内部排出的边料飞散。因此，能够防止飞散的边料导致边料收容单元72的周边环境污染。
84.图6是简要示出本实用新型的实施例的边料处理装置的其它例的图，图7是简要示出本实用新型的实施例的边料处理装置的再其它例的图。
85.如图6及图7所示，本实用新型的实施例的边料处理装置70可以还包括检测收容在边料收容单元72的边料的收容量的传感器75。
86.作为一例，如图6所示，传感器75可以由拍摄收容在车体723的边料的相机或用于测定收容在车体723的边料的量的光学传感器构成。在此情况下，传感器75可以附着于壳体722的内面。
87.作为其它例，如图7所示，传感器75可以由测定车体723的重量的重量传感器构成。传感器75可以设置于收容车体723的壳体722的底面。在此情况下，能够通过从测定收容有边料的车体723的重量的值减去车体723的重量来测定收容在车体723的边料的量。
88.如此，边料处理装置70具备检测收容在边料收容单元的边料的收容量的传感器75，因此若通过传感器75感测到在车体723收纳有预先设定量的边料，则通过控制单元50能够自动执行停止边料移送单元71工作的动作、停止边料粉碎单元74工作的动作、使滑槽部件732上升的动作、门725开放的动作、将车体723向壳体722的外部运出的动作。
89.另外，控制单元50可以与传感器75及滑槽部件驱动部733连接，基于通过传感器75检测的边料的收容量来控制滑槽部件732的位置。
90.在滑槽部件732的下端插入到车体723的内部的状态下，进行边料通过滑槽部件732向车体723的内部排出的过程，随之，收容在车体723的边料的量增加，车体723的内部的边料与滑槽部件732的下端可能会接触。
91.因此，根据通过传感器75测定的车体723的内部的边料收容量的变化，控制滑槽部件驱动部733，使滑槽部件732上升，从而能够防止滑槽部件732的下端与收容在车体723的内部的边料接触。
92.根据本实用新型的实施例的边料处理装置70，在滑槽部件732与车体723最大限度地相邻且与收容在车体723的边料未接触的状态下，边料通过滑槽部件732向车体723的内部排出，因此最小化从滑槽部件732的下端向车体723的内部排出的边料飞散。因此，能够防止飞散的边料导致边料收容单元72的周边环境污染。
93.例示性说明了本实用新型的优选实施例，在本实用新型的范围并不限定于这种特定实施例，可以在权利要求书中所记载的范畴内进行适当变更。