本实用新型涉及石英筒技术领域,特别涉及一种用于单晶炉多次加料的石英筒。
背景技术:
直拉式真空高温单晶炉,在使用过程中,石英坩埚有相应的寿命,而一次装料后,拉晶棒完成后,需要停机再次装料到坩埚中,坩埚需要拿出,容易损坏坩埚;且停机降温/开机升温,都需要时间和电能,是一种浪费,缺乏一种能够无需停机和取出坩埚的加料机构。为此,我们提出一种用于单晶炉多次加料的石英筒。
技术实现要素:
本实用新型的主要目的在于提供一种用于单晶炉多次加料的石英筒,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种用于单晶炉多次加料的石英筒,包括石英筒、第一环形耳、第二环形耳、吊孔和筒塞子,所述石英筒顶部外围设有第一环形耳,所述第一环形耳底部且位于石英筒上设有第二环形耳,所述第一环形耳和第二环形耳上均分布贯穿开设有吊孔。
进一步地,所述石英筒顶部进料口盖设有筒塞子,所述筒塞子顶部开设有扣槽。
进一步地,所述石英筒内底部为锥状出料口,所述石英筒底部的壁厚厚于石英筒顶部。
进一步地,所述筒塞子为石英材料制作。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:人员在完成一次单晶拉制以后,将隔板推进去,确认单晶炉的主炉堂和副室中间的隔板保持闭合,打开副室,取出单晶棒,随后通过吊具对石英筒的第一环形耳和第二环形耳上的吊孔进行吊设,将石英筒吊入单晶炉副室顶部,对石英筒内加入硅料,通过筒塞子对石英筒顶部进行盖合,通过隔板对石英筒底端的锥状出料口封堵,而后关闭副室,抽真空,再打开隔板,使石英筒内的硅料下落,实现给石英坩埚在真空状态下,二次添加硅料;整体加料石英筒可以实现多次加料,从而使石英坩埚的使用次数最大化,最大程度的缩减停机,开机次数,有效提高使用寿命,大大降低维护检修成本。
附图说明
图1为本实用新型一种用于单晶炉多次加料的石英筒的主视截面结构示意图。
图2为本实用新型一种用于单晶炉多次加料的石英筒的主视结构示意图。
图3为本实用新型一种用于单晶炉多次加料的石英筒的石英筒俯视结构示意图。
图4为本实用新型一种用于单晶炉多次加料的石英筒的筒塞子俯视结构示意图。
图5为本实用新型一种用于单晶炉多次加料的石英筒的筒塞子主视结构示意图。
图中:1、石英筒;2、第一环形耳;3、第二环形耳;4、筒塞子;5、锥状出料口;6、扣槽;7、吊孔。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
如图1-5所示,一种用于单晶炉多次加料的石英筒,包括石英筒1、第一环形耳2、第二环形耳3、吊孔7和筒塞子4,所述石英筒1顶部外围设有第一环形耳2,所述第一环形耳2底部且位于石英筒1上设有第二环形耳3,所述第一环形耳2和第二环形耳3上均分布贯穿开设有吊孔7。
其中,所述石英筒1顶部进料口盖设有筒塞子4,所述筒塞子4顶部开设有扣槽6。
本实施例中如图1所示,筒塞子4用于对加料后的石英筒1顶部进行封堵,放置异物落入,扣槽6便于人员对筒塞子4顶部进行扣拉。
其中,所述石英筒1内底部为锥状出料口5,所述石英筒1底部的壁厚厚于石英筒1顶部。
本实施例中如图1所示,石英筒1通过底部的厚壁的可增加使用强度与耐热性。
其中,所述筒塞子4为石英材料制作。
需要说明的是,本实用新型为一种用于单晶炉多次加料的石英筒,工作时,人员在完成一次单晶拉制以后,将隔板推进去,确认单晶炉的主炉堂和副室中间的隔板保持闭合,打开副室,取出单晶棒,随后通过吊具对石英筒1的第一环形耳2和第二环形耳3上的吊孔7进行吊设,将石英筒1吊入单晶炉副室顶部,对石英筒1内加入硅料,通过筒塞子4对石英筒1顶部进行盖合,通过隔板对石英筒1底端的锥状出料口5封堵,而后关闭副室,抽真空,再打开隔板,使石英筒1内的硅料下落,实现给石英坩埚在真空状态下,二次添加硅料。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
1.一种用于单晶炉多次加料的石英筒,包括石英筒(1)、第一环形耳(2)、第二环形耳(3)、吊孔(7)和筒塞子(4),其特征在于,所述石英筒(1)顶部外围设有第一环形耳(2),所述第一环形耳(2)底部且位于石英筒(1)上设有第二环形耳(3),所述第一环形耳(2)和第二环形耳(3)上均分布贯穿开设有吊孔(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉多次加料的石英筒,其特征在于:所述石英筒(1)顶部进料口盖设有筒塞子(4),所述筒塞子(4)顶部开设有扣槽(6)。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉多次加料的石英筒,其特征在于:所述石英筒(1)内底部为锥状出料口(5),所述石英筒(1)底部的壁厚厚于石英筒(1)顶部。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉多次加料的石英筒,其特征在于:所述筒塞子(4)为石英材料制作。