一种二维复合胶体晶体光子器件的制备方法

文档序号:25785165发布日期:2021-07-09 10:34阅读:来源:国知局
技术总结
本申请公开了一种二维复合胶体晶体光子器件的制备方法,该方法涉及光电子技术及材料制备,分为微流注射法制备单层膜及反应离子刻蚀两部分;首先利用微流注射法制备六角密排的单层膜;通过缓慢竖直提升事先放置烧杯中衬底的办法,将单层胶体晶体转移到玻璃基片上,获得周期性微纳结构;然后通过应离子刻蚀使得微球粒径减小,微球间隙增大;同样利用微流注射法制备第二种材料的密排单层膜;最后用离子刻蚀处理过的玻璃基片作衬底,制备成功二维复合光子晶体;由白光源、1


技术研发人员:郝辉 李梅 闫海涛 邓亚利 夏巍 郭冬梅 王鸣
受保护的技术使用者:南京师范大学
技术研发日:2021.03.02
技术公布日:2021/7/8

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1