一种具有保温机构的晶体生长装置

文档序号:27645972发布日期:2021-11-29 18:46阅读:144来源:国知局
一种具有保温机构的晶体生长装置

1.本实用新型涉及晶体生长技术领域,具体为一种具有保温机构的晶体生长装置。


背景技术:

2.通常用于碳化硅衬底的晶体生长方法是物理气象传输法,通过此方法已经可以生产出质量很好的晶片,目前市场上已经有直径6英寸的商用碳化硅衬底晶片,对于大尺寸高质量的碳化硅晶体的生长,晶体的温度梯度的调节就更加重要。
3.目前市面上现有的晶体生长装置虽然在使用的过程中可以对温度进行精密的调节,但在对生长完成的晶体进行拿取更换新的晶体时,箱门会完全打开,且生长装置内缺少保温装置,导致热量会快速散失,影响了本装置的使用效果,同时现有的晶体生长装置,是将晶体放置在收集桶内,在生长的过程中会与内壁产生粘连,导致部分晶体难以收集,因此亟须一种具有保温机构的晶体生长装置来解决上述问题。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种具有保温机构的晶体生长装置,以解决上述背景技术中提出的箱门会完全打开,且生长装置内缺少保温装置,导致热量会快速散失,影响了本装置的使用效果,同时晶体在生长的过程中会与收集桶内壁产生粘连,导致部分晶体难以收集的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有保温机构的晶体生长装置,包括存放装置,所述存放装置包括放置箱,所述放置箱内壁的下表面固定连接有电动液压杆,所述电动液压杆的上表面固定连接有支撑板,所述放置箱的上表面抵触有箱门,所述放置箱内固定连接有保温装置,所述保温装置包括海绵垫,所述海绵垫内固定连接有水囊,所述放置箱内固定连接有通孔环,所述放置箱内通过连接块固定连接有环形管,所述环形管套接在通孔环的外表面,所述支撑板的上表面抵触有清理装置,所述清理装置包括收集桶,所述收集桶内通过转轴固定连接有螺纹柱,所述螺纹柱的外表面螺纹连接有螺纹筒,所述螺纹筒的外表面固定连接有放置板,所述放置板的上表面固定连接有刮板,所述刮板与收集桶内壁相互靠近的一面抵触。
6.优选的,所述支撑板的上表面固定连接有插块,所述插块插设在收集桶下表面开设的插槽内。
7.优选的,所述海绵垫远离放置箱的一面开设有通孔,且通孔的位置与水囊的位置对应,所述放置箱的外表面固定连接有橡胶圈。
8.优选的,所述水囊内设置有支撑球,所述支撑球与水囊内壁相互靠近的一面固定连接。
9.优选的,所述螺纹柱的上表面固定连接有把手,所述环形管的上表面设置有输送管,且输送管卡接在放置箱内壁的上表面。
10.优选的,所述放置板的外表面固定连接有密封环,所述密封环与收集桶内壁相互
靠近的一面抵触。
11.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该具有保温机构的晶体生长装置,通过设置保温装置和清理装置,水囊和海绵垫具有一定的吸热效果,可以防止放置箱内热气散失,保障了本装置的使用效果,同时刮板对收集桶内壁粘连的晶体进行刮擦,且放置板对晶体进行收集,方便工作人员对晶体进行收集。
12.该装置设置有保温装置,通过设置海绵垫、水囊和橡胶圈,可以对放置箱进行全面的包裹,且通孔环与放置箱形成相对密闭的空间,同时水囊和海绵垫具有一定的吸热效果,可以防止放置箱内热气散失,保障了本装置的使用效果。
13.该装置设置有清理装置,通过转动把手,可以使螺纹柱带动螺纹筒向上移动,同时刮板对收集桶内壁粘连的晶体进行刮擦,且放置板对晶体进行收集,方便工作人员对晶体进行收集。
附图说明:
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型结构的正视剖面示意图;
16.图2为本实用新型图一a处结构的放大示意图;
17.图3为本实用新型图一b处结构的放大示意图;
18.图4为本实用新型收集桶结构的仰视示意图。
19.图中:1、存放装置;11、放置箱;12、电动液压杆;13、支撑板;14、箱门;2、保温装置;21、海绵垫;22、水囊;23、支撑球;24、橡胶圈;25、通孔环;26、环形管;3、清理装置;31、收集桶;32、螺纹柱;33、螺纹筒;34、放置板;35、密封环;36、刮板;37、插块。
具体实施方式:
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1

4,本实用新型提供的一种实施例:一种具有保温机构的晶体生长装置,包括存放装置,存放装置包括放置箱,放置箱内壁的下表面固定连接有电动液压杆,电动液压杆的上表面固定连接有支撑板,放置箱的上表面抵触有箱门,放置箱内固定连接有保温装置,保温装置包括海绵垫,海绵垫内固定连接有水囊,放置箱内固定连接有通孔环,放置箱内通过连接块固定连接有环形管,环形管套接在通孔环的外表面,支撑板的上表面抵触有清理装置,清理装置包括收集桶,收集桶内通过转轴固定连接有螺纹柱,螺纹柱的外表面螺纹连接有螺纹筒,螺纹筒的外表面固定连接有放置板,放置板的上表面固定连接有刮板,刮板与收集桶内壁相互靠近的一面抵触。
22.进一步的,支撑板的上表面固定连接有插块,插块插设在收集桶下表面开设的插
槽内,通过设置插块,可以对收集桶的进行限位,防止在转动螺纹柱的过程中收集桶产生转动;
23.进一步的,海绵垫远离放置箱的一面开设有通孔,且通孔的位置与水囊的位置对应,放置箱的外表面固定连接有橡胶圈,通过设置海绵垫、水囊和橡胶圈,可以对放置箱进行全面的包裹,且通孔环与放置箱形成相对密闭的空间,同时水囊和海绵垫具有一定的吸热效果,可以防止放置箱内热气散失;
24.进一步的,水囊内设置有支撑球,支撑球与水囊内壁相互靠近的一面固定连接,可以对水囊进行稳定的支撑,防止水流挤压水囊产生变形,同时通过设置水囊与橡胶圈,可以对放置箱进行防碰撞保护;
25.进一步的,螺纹柱的上表面固定连接有把手,环形管的上表面设置有输送管,且输送管卡接在放置箱内壁的上表面,通过转动把手,可以使螺纹柱带动螺纹筒向上移动,同时刮板对收集桶内壁粘连的晶体进行刮擦,方便对收集桶内壁进行清理,同时方便对晶体进行收集;
26.进一步的,放置板的外表面固定连接有密封环,密封环与收集桶内壁相互靠近的一面抵触,通过设置密封环,可以使放置板与密封环紧密抵触,防止在转动把手的同时螺纹柱带动螺纹筒与放置板产生晃动,保障了放置板上下移动的稳定。
27.工作原理:当需要对晶体进行收集时,此时打开箱门,此时控制电动液压杆外接电源顶动支撑板和收集桶移动至放置箱外,同时转动把手,同时螺纹柱带动螺纹筒与放置板向上移动,同时刮板对收集桶的内壁进行刮擦,同时今天掉落至放置板表面,当刮板对橡胶套内壁粘连的晶体清理完成时,此时将收集桶内的晶体到出,同时此过程中,因水囊和海绵垫自身具有吸热效果,使放置箱内热气得以保存,此时将收集桶放置在支撑板表面,同时插块插设在收集桶下表面开设的插槽内,此时转动把手将放置板复位,此时控制电动液压杆再次带动支撑板与收集箱收纳至放置箱内,此时关上箱门,同时环形管上表面设置的连接管外接输送热气装置进行工作,本装置操作简单,水囊和海绵垫具有一定的吸热效果,可以防止放置箱内热气散失,保障了本装置的使用效果,同时刮板对收集桶内壁粘连的晶体进行刮擦,且放置板对晶体进行收集,方便工作人员对晶体进行收集。
28.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
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