一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟的制作方法

文档序号:29680856发布日期:2022-04-14 21:58阅读:653来源:国知局
一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟的制作方法

1.本实用新型涉及管式炉技术领域,具体为一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟。


背景技术:

2.管式炉主要运用于冶金,玻璃,热处理,锂电正负极材料,新能源,磨具等行业,测定材料在一定气温条件下的专业设备,炉型结构简单,操作容易,便于控制,能连续生产。
3.市场上的管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟没有净化废气的装置,导致废气直接排放污染空气的问题,针对上述情况,在现有的管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟础上进行技术创新。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟,包括加工台和净化组件,所述加工台的上方安装有滑轨,且滑轨上方连接有支撑架,所述支撑架的右侧安装有载料管,且载料管的外部安装有密封圈,所述密封圈的右侧放置有加热炉,用于将加热产生的尾气进行净化的所述净化组件安装于加热炉的后方,所述净化组件包括风机、通风管道、净化箱、空气滤芯和排风口,所述风机的内部安装有通风管道,且通风管道的左侧放置有净化箱,所述净化箱的内部安装有空气滤芯,且净化箱的上方安装有排风口,所述加热炉的表面安装有用于防止加热炉热气泄漏的密封组件,且加热炉的内部安装有用于对炉内进行保温的辅助组件。
6.进一步的,所述密封组件包括密封块、安装块、转轴和卡合块,所述密封块的外部安装有安装块,且安装块的内部安装有转轴,所述转轴的外部连接有卡合块。
7.进一步的,所述加热炉的表面开设有凹槽,且卡合块与凹槽卡合连接。
8.进一步的,所述卡合块通过转轴与安装块构成卡合连接,且卡合块和安装块沿加热炉的表面均匀分布有三组。
9.进一步的,所述辅助组件包括保温层、玻璃棉和铝箔反光层,所述保温层的外部连接有玻璃棉,且玻璃棉的外部连接有铝箔反光层。
10.进一步的,所述滑轨与支撑架卡合连接,且滑轨与支撑架沿加工台的竖直中心线对称设置有两组。
11.进一步的,所述风机和净化箱通过通风管道相互贯通,且净化箱与通风管道套接连接。
12.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:采用净化装置和保温装置,净化装置是通过风机将有害气体吸入到净化箱中,随后通过滤芯进行过滤的结构,净化装置可以对产品加热产生的有害气体进行净化,防止其污染空气,具有环保的效果,保温装置是通过保
温层的保温作用,以及反光层的反射作用,对炉内的温度进行控制的结构保温装置可以对炉内的温度进行保持,使其对产品进行持续的加热,具有实用性。
13.本实用新型通过风机、通风管道、净化箱、空气滤芯和排风口的设置,在加热炉对产品加热的过程中,会产生很多的有害气体,为了不让有害气体直接排放到空气中,因此需要一种净化装置,当加热炉对产品进行熔炼时,启动风机,通过风机的吸排作用,将箱体内的有害气体进行抽取,有害气体会受到风机吸力的作用由进气口进入到净化箱的内部,当有害气体进入到箱体的内部后,会被净化箱内部的三重空气滤芯进行过滤,净化完成后,气体会由箱体的上方的排风口排出,达到净化气体的作用,净化装置可以对产品加热产生的有害气体进行净化,防止其污染空气,具有环保的效果。
14.本实用新型通过密封块、安装块、转轴、卡合块和凹槽,在加热炉对产品进行加热的过程中,为了使炉内的热量不会流失,因此需要一种密封性好的固定装置,当需要对加热炉固定时,首先拨动安装块外部的卡合块,由于卡合块通过转轴与安装块构成转动连接,因此当拨动卡合块时,卡合块会随着转轴的转动而转动,当卡合块转动到加热炉表面的凹槽上方时,按压卡合块,由于卡合块与凹槽卡合连接,因此可达到固定的效果,且在加热炉的连接处安装有密封块,通过密封块的紧密贴合,达到防止热量流失的效果,固定装置可以防止炉内的热量流失,时产品燃烧的更彻底,具有实用性。
15.本实用新型通过保温层、玻璃棉和铝箔反光层的设置,在加热炉的使用过程中,为了迅速提高炉内的温度,以保证加热的效果,因此需要一种对炉内保温的装置,当加热炉对产品进行加热时,通过炉内内部的铝箔反光层的设置,可将炉内的光源进行反射,从而将炉内的温度升高,且在铝箔反光层的外部连接有保温层和玻璃棉,通过保温层和玻璃棉的保温作用,对炉内的温度进行保温。防止热量的散失,保温装置可以对炉内的温度进行保持,使其对产品进行持续的加热,具有实用性。
附图说明
16.图1为本实用新型一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟的主视结构示意图;
17.图2为本实用新型一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟的左视结构示意图;
18.图3为本实用新型一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟的加热炉内部结构示意图。
19.图中:1、加工台;2、滑轨;3、支撑架;4、载料管;5、密封圈;6、加热炉;7、净化组件;701、风机;702、通风管道;703、净化箱;704、空气滤芯;705、排风口;8、密封组件;801、密封块;802、安装块;803、转轴;804、卡合块;9、辅助组件;901、保温层;902、玻璃棉;903、铝箔反光层;10、凹槽。
具体实施方式
20.如图1-2所示,一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟,包括加工台1和净化组件7,加工台1的上方安装有滑轨2,且滑轨2上方连接有支撑架3,滑轨2与支撑架3卡合连接,且滑轨2与支撑架3沿加工台1的竖直中心线对称设置有两组,支撑架3的右侧安装
有载料管4,且载料管4的外部安装有密封圈5,密封圈5的右侧放置有加热炉6,用于将加热产生的尾气进行净化的净化组件7安装于加热炉6的后方,净化组件7包括风机701、通风管道702、净化箱703、空气滤芯704和排风口705,风机701的内部安装有通风管道702,且通风管道702的左侧放置有净化箱703,净化箱703的内部安装有空气滤芯704,且净化箱703的上方安装有排风口705,风机701和净化箱703通过通风管道702相互贯通,且净化箱703与通风管道702套接连接,当加热炉6对产品进行熔炼时,启动风机701,通过风机701的吸排作用,将箱体内的有害气体进行抽取,有害气体会受到风机701吸力的作用由进气口进入到净化箱703的内部,当有害气体进入到箱体的内部后,会被净化箱703内部的三重空气滤芯704进行过滤,净化完成后,气体会由箱体的上方的排风口705排出,达到净化气体的作用,净化装置可以对产品加热产生的有害气体进行净化,防止其污染空气,具有环保的效果,加热炉6的表面安装有用于防止加热炉6热气泄漏的密封组件8,且加热炉6的内部安装有用于对炉内进行保温的辅助组件9,密封组件8包括密封块801、安装块802、转轴803和卡合块804,密封块801的外部安装有安装块802,且安装块802的内部安装有转轴803,转轴803的外部连接有卡合块804,加热炉6的表面开设有凹槽10,且卡合块804与凹槽10卡合连接,卡合块804通过转轴803与安装块802构成卡合连接,且卡合块804和安装块802沿加热炉6的表面均匀分布有三组,当需要对加热炉6固定时,首先拨动安装块802外部的卡合块804,由于卡合块804通过转轴803与安装块802构成转动连接,因此当拨动卡合块804时,卡合块804会随着转轴803的转动而转动,当卡合块804转动到加热炉6表面的凹槽10上方时,按压卡合块804,由于卡合块804与凹槽10卡合连接,因此可达到固定的效果,且在加热炉6的连接处安装有密封块801,通过密封块801的紧密贴合,达到防止热量流失的效果,固定装置可以防止炉内的热量流失,时产品燃烧的更彻底,具有实用性。
21.请参考图3所示,辅助组件9包括保温层901、玻璃棉902和铝箔反光层903,保温层901的外部连接有玻璃棉902,且玻璃棉902的外部连接有铝箔反光层903,在加热炉6的使用过程中,为了迅速提高炉内的温度,以保证加热的效果,因此需要一种对炉内保温的装置,当加热炉6对产品进行加热时,通过炉内内部的铝箔反光层903的设置,可将炉内的光源进行反射,从而将炉内的温度升高,且在铝箔反光层903的外部连接有保温层901和玻璃棉902,通过保温层901和玻璃棉902的保温作用,对炉内的温度进行保温。防止热量的散失,保温装置可以对炉内的温度进行保持,使其对产品进行持续的加热,具有实用性。
22.综上,该管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟,使用时,在加热炉6对产品加热的过程中,会产生很多的有害气体,为了不让有害气体直接排放到空气中,因此需要一种净化装置,当加热炉6对产品进行熔炼时,启动风机701,通过风机701的吸排作用,将箱体内的有害气体进行抽取,有害气体会受到风机701吸力的作用由进气口进入到净化箱703的内部,当有害气体进入到箱体的内部后,会被净化箱703内部的三重空气滤芯704进行过滤,净化完成后,气体会由箱体的上方的排风口705排出,达到净化气体的作用,净化装置可以对产品加热产生的有害气体进行净化,防止其污染空气,具有环保的效果,当需要对加热炉6固定时,首先拨动安装块802外部的卡合块804,由于卡合块804通过转轴803与安装块802构成转动连接,因此当拨动卡合块804时,卡合块804会随着转轴803的转动而转动,当卡合块804转动到加热炉6表面的凹槽10上方时,按压卡合块804,由于卡合块804与凹槽10卡合连接,因此可达到固定的效果,且在加热炉6的连接处安装有密封块801,通过密封块801的
紧密贴合,达到防止热量流失的效果,固定装置可以防止炉内的热量流失,时产品燃烧的更彻底,具有实用性,当加热炉6对产品进行加热时,通过炉内内部的铝箔反光层903的设置,可将炉内的光源进行反射,从而将炉内的温度升高,且在铝箔反光层903的外部连接有保温层901和玻璃棉902,通过保温层901和玻璃棉902的保温作用,对炉内的温度进行保温。防止热量的散失,保温装置可以对炉内的温度进行保持,使其对产品进行持续的加热,具有实用性。
当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1