一种溅射式玻璃镀膜装置的制作方法

文档序号:29744210发布日期:2022-04-21 20:56阅读:165来源:国知局
一种溅射式玻璃镀膜装置的制作方法

1.本技术涉及玻璃镀膜领域,尤其涉及一种溅射式玻璃镀膜装置。


背景技术:

2.溅射式玻璃镀膜是通过用离子源将金属或电介质的镀材溅射到基板上形成金属或电介质膜层,而离子束溅射系统的等离子体是聚集在离子源中,整个溅射过程可以将腔室压力维持在高真空或超高真空状态,这样可以减少了膜中的污染,溅射的环境需要真空,并且在镀膜前需要清洗玻璃,玻璃清洗后的放置难免会有灰尘落入,所以在喷射前还是需要再清洗一遍,不然对溅射镀膜的密度有影响。


技术实现要素:

3.本技术的目的在于提供一种溅射式玻璃镀膜装置,采用如下技术方案:
4.一种溅射式玻璃镀膜装置,所述机壳内设有内设有与外界连通的传输腔,所述传输腔下端壁固定连接有真空箱,所述真空箱内设有溅射腔,所述溅射腔做端壁内设有真空腔,所述机壳内设有抓取机构、抽空机构和封闭机构,所述抓取机构能够移动玻璃,所述抽空机构能够对所述溅射腔抽真空;
5.所述封闭机构包括能够放置玻璃的镀膜机构,所述真空箱固定连接有开门电机,所述开门电机动力连接有转杆,所述转杆固定连接有门,所述门固定连接有夹紧弹簧,所述夹紧弹簧固定连接有压板,所述真空箱固定连接有弹簧,所述弹簧固定连接有压紧杆,所述真空箱固定连接有继电器,所述门左端面固定连接有封闭环。
6.优选的,所述镀膜机构包括所述溅射腔下端壁固定连接的旋转电机,所述旋转电机动力连接有转轴,所述真空箱左端壁固定连接有气瓶。
7.优选的,所述溅射腔上端壁固定连接有基板,所述溅射腔前后端壁固定连接有两个滑轨,所述滑轨和动力轴啮合,所述滑轨滑动连接有放置盘,所述放置盘固定连接有电机,所述电机动力连接有齿轮。
8.优选的,所述抽空机构包括所述真空腔后端壁固定连接有偏心电机,所述偏心电机动力连接有偏心轴,所述偏心轴固定连接有偏心轮,所述真空腔滑动连接有移动块,所述移动块固定连接有连接杆,所述连接杆固定连接有定位球,所述真空腔固定连接有动力弹簧。
9.优选的,所述移动块固定连接有锥型弹簧,所述锥型弹簧固定连接有固定球,所述移动块固定连接有电磁铁,所述移动块滑动连接有固定杆,所述固定杆和所述移动块连接有固定弹簧。
10.优选的,所述抓取机构包括所述传输腔下端壁固定连接有抓手电机,所述抓手电机动力连接有旋转杆,所述旋转杆固定连接有移动框,所述移动框滑动连接有固定框,所述固定框固定连接有固定电机,所述固定电机动力连接有控制杆,所述控制杆固定连接有固定齿轮,所述固定框滑动连接有丝杆,所述固定框上端固定连接有绳子,所述移动框上端固
定连接有定滑轮,所述移动框固定连接有绕线电机,所述绕线电机动力连接有绕线杆,所述绕线杆固定连接有绕线轴。
11.优选的,丝杆右端固定连接有固定抓手,所述固定抓手固定连接有夹紧电机,所述夹紧电机动力连接有夹紧杆,所述夹紧杆螺纹连接有夹紧抓手,所述机壳右端面固定连接有集尘箱,所述集尘箱通过管道连接有吸尘器,所述传输腔前后端壁固定连接有两个传送带。
12.与现有技术相比,本发明提供了一种溅射式玻璃镀膜装置,具备以下有益效果:本发明设置了偏心轮,通过偏心轮将转动转化为上下移动,然后连接杆上下移动,从而为抽真空提供动力,使得抽空装置更加简单方便;
13.设置了吸尘器,从而能够二次清洁玻璃,防止玻璃上占有灰尘对玻璃镀膜产生影响,防止二次污染,使得玻璃镀膜的效率高,减少人工搬运,减少搬运途中的污渍污染。
附图说明
14.图1是本发明外观示意图;
15.图2是本发明的一种溅射式玻璃镀膜装置内部结构示意图;
16.图3是本发明图2中的a-a示意图;
17.图4是本发明图2中的b-b示意图;
18.图5是本发明图2的局部放大示意图;
19.图6是本发明图2中的c-c示意图;
20.图7是本发明图2的局部放大示意图。
具体实施方式
21.下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
22.如图1-图7,根据本发明的实施例的一种溅射式玻璃镀膜装置,包括机壳10,所述机壳10内设有内设有与外界连通的传输腔60,所述传输腔60下端壁固定连接有真空箱23,所述真空箱23内设有溅射腔61,所述溅射腔61做端壁内设有真空腔65,所述机壳10内设有抓取机构62、抽空机构66和封闭机构63,所述抓取机构62能够移动玻璃,所述抽空机构66能够对所述溅射腔61抽真空;
23.所述封闭机构63包括能够放置玻璃的镀膜机构64,所述真空箱23固定连接有开门电机25,所述开门电机25动力连接有转杆24,所述转杆24固定连接有门27,所述门27固定连接有夹紧弹簧16,所述夹紧弹簧16固定连接有压板15,所述真空箱23固定连接有弹簧14,所述弹簧14固定连接有压紧杆17,所述真空箱23固定连接有继电器,所述门27左端面固定连接有封闭环,开门电机25启动,从而带动转杆24转动,从而使得门27转动。
24.在本发明的实施例中,所述镀膜机构64包括所述溅射腔61下端壁固定连接的旋转电机22,所述旋转电机22动力连接有转轴21,所述转轴21固定连接有封闭球,所述真空箱23左端壁固定连接有气瓶11,所述气瓶11内装有稀有气体,所述气瓶11和所述溅射腔61之间可以通过管道连接,所述溅射腔61上端壁固定连接有基板13,所述溅射腔61前后端壁固定连接有所述基板13,所述溅射腔61前后端壁固定连接有两个滑轨28,所述滑轨28和动力轴
18啮合,所述滑轨28滑动连接有放置盘20,所述放置盘20固定连接有电机12,所述电机12动力连接有齿轮19,所述齿轮19固定连接有所述动力轴18,所述真空箱23内设有喷射装置。
25.在本发明的实施例中,所述抽空机构66包括所述真空腔65后端壁固定连接有偏心电机56,所述偏心电机56动力连接有偏心轴53,所述偏心轴53固定连接有偏心轮49,所述真空腔65滑动连接有移动块51,所述移动块51固定连接有连接杆48,所述连接杆48固定连接有定位球55,所述真空腔65固定连接有动力弹簧54,所述动力弹簧54固定连接有所述连接杆48,所述移动块51固定连接有锥型弹簧52,所述锥型弹簧52固定连接有固定球50,所述移动块51固定连接有电磁铁58,所述移动块51滑动连接有固定杆57,所述固定杆57和所述移动块51连接有固定弹簧59。
26.在本发明的实施例中,所述抓取机构62包括所述传输腔60下端壁固定连接有抓手电机31,所述抓手电机31动力连接有旋转杆26,所述旋转杆26固定连接有移动框38,所述移动框38滑动连接有固定框36,所述固定框36固定连接有固定电机44,所述固定电机44动力连接有控制杆37,所述控制杆37固定连接有固定齿轮30,所述固定框36滑动连接有丝杆29,所述丝杆29和所述固定齿轮30啮合,所述固定框36上端固定连接有绳子39,所述移动框38上端固定连接有定滑轮40,所述移动框38固定连接有绕线电机46,所述绕线电机46动力连接有绕线杆47,所述绕线杆47固定连接有绕线轴45,所述绕线轴45固定连接有所述绳子39,所述绳子39绕过所述定滑轮40,丝杆29右端固定连接有固定抓手33,所述固定抓手33固定连接有夹紧电机32,所述夹紧电机32动力连接有夹紧杆35,所述夹紧杆35螺纹连接有夹紧抓手34,所述夹紧抓手34滑动连接有所述固定抓手33,所述机壳10右端面固定连接有集尘箱43,所述集尘箱43通过管道连接有吸尘器42,所述传输腔60前后端壁固定连接有两个传送带41。
27.本发明的一种溅射式玻璃镀膜装置,其工作流程如下:
28.初始状态时,夹紧弹簧16处于压缩状态,夹紧抓手34处于最高位置,固定弹簧59、锥型弹簧52处于放松状态,动力弹簧54、弹簧14处于拉伸状态,放置盘20处于最右端,固定框36处于最低位置。
29.将玻璃片放在传送带41上,吸尘器42启动对放入的玻璃吸尘,传送带41启动,从而给带动玻璃从右边运动到左边,直到玻璃移动到夹紧抓手34和固定抓手33,夹紧电机32启动,从而带动夹紧杆35转动,从而带动夹紧抓手34向下移动,夹紧玻璃,然后真空箱23内的继电器停止,从而带动压紧杆17向上移动,从而使得压紧杆17退出门27范围,然后压板15向左移动,开门电机25启动,从而带动转杆24转动,从而给带动门27转动,然后绕线电机46启动,从而带动绕线杆47转动,从而带动绕线轴45转动,从而带动绳子39卷起,从而带动固定框36向上移动,从而带动丝杆29向上移动,从而带动固定电机44向上移动,从而带动控制杆37向上移动,从而带动固定齿轮30向上移动,从而带动固定抓手33向上移动,从而带动玻璃向上移动;
30.当固定框36向上移动到最上端的位置的时候,抓手电机31启动,从而带动旋转杆26转动,从而带动移动框38转动一百八十度,然后上端电机12启动,从而带动上端动力轴18转动,从而带动上端齿轮19转动,从而带动上端放置盘20向右移动,然后绕线电机46反向启动,从而带动绳子39放松,从而带动固定框36向下移动到上端放置盘20上,然后固定电机44启动,从而带动控制杆37转动,从而带动固定齿轮30转动,从而带动丝杆29向左移动,从而
带动固定抓手33向左移动,从而使得玻璃在放置盘20上端,然后夹紧电机32反向启动,从而使得夹紧抓手34松开玻璃,然后固定电机44反向启动,从而带动固定抓手33和夹紧抓手34向右移动,然后,上端电机12反向启动,使得上端放置盘20向左移动,然后抓手电机31反向启动,同时绕线电机46反向启动,使得固定抓手33复位;
31.然后将第二块玻璃放在传送带41,吸尘器42同时清理玻璃的灰尘,然后将第二块玻璃放入下端放置盘20上,开门电机25反向启动,从而带动门27反向移动,直到门27复位后,真空箱23内的继电器启动,从而带动压紧杆17向下移动,从而推开压板15,从而使得压板15复位,通过压紧杆17固定住门27然后通过门27内的封闭圈密封溅射腔61,此时偏心电机56启动,从而带动偏心轴53转动,从而带动偏心轮49转动,从而带带动定位球55上下移动,从而带动连接杆48上下移动,从而带动移动块51上下移动,同时电磁铁58启动,从而带动固定杆57向右移动,从而使得固定杆57脱离固定球50的范围,然后溅射腔61内的气体从移动块51内被抽出去;
32.然后直到溅射腔61内的空气被抽空,旋转电机22启动,从而带动转轴21转动,从而带动封闭球转动,打开管道口,气瓶11内的稀有气体顺着真空箱23内的管道充入溅射腔61,然后真空箱23内的发射器启动,发射器将金属或电介质的镀材射到基板13上,然后反射到玻璃上,直到玻璃镀膜完成,真空箱23的继电器停止,然后压紧杆17退出门27,然后2启动,使得门27打开,然后电机12启动,然后通过固定抓手33和夹紧抓手34的夹取使得镀膜完成的玻璃放在传送带41上,然后传送带41反向启动,从而使得玻璃向外移动,取出镀膜的玻璃。
33.以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
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