一种单晶炉复投送料系统的制作方法

1.本发明涉及单晶硅制造技术领域，尤其是涉及一种单晶炉复投送料系统。


背景技术：

2.当前的单晶炉复投送料系统分三种。一种是采用石英管容器通过单晶炉副炉室从上往下复投；第二种是在单晶炉炉盖处设置石英管通道对着坩埚内壁边缘复投；第三种是在主炉室的复投孔位置伸入石英料管在坩埚上沿复投硅料。
3.现有的单晶炉复投送料系统大多采用固定的或活动的直线振动送料器或回旋振动送料器将硅料通过石英料管振入单晶炉坩埚内。
4.振动送料不利于颗粒硅的输送，小粒径的硅料送料速度远低于大粒径硅料的送料速度，大粒径硅料在进入单晶炉时撞击硅液，造成硅液飞溅，导致了硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害。
5.因此，急需研发一种可解决送料过程中硅液飞溅问题的单晶炉复投送料系统。


技术实现要素：

6.为了解决现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种可以解决送料过程中硅液飞溅问题的单晶炉复投送料系统。
7.为了实现上述目的，本发明采用如下的技术方案：一种单晶炉复投送料系统，送料系统包括：料斗；上料机构，上料机构至少部分和料斗连通；下料机构，上料机构至少部分设置在料斗和下料机构之间；驱动组件，用于驱动上料机构和下料机构；在送料系统输送物料的情况下，上料机构至少部分和下料机构连通；上料机构包括：第一槽体；第一螺旋轴，第一螺旋轴至少部分设置在第一槽体中；下料结构包括：第二槽体；第二螺旋轴，第二螺旋轴至少部分设置在第二槽体中；在送料系统输送物料的情况下，第一槽体连通第二槽体，驱动组件驱动第一螺旋轴和第二螺旋轴，以使物料通过第一螺旋轴和第二螺旋轴输送至单晶炉中；第一螺旋轴上设置有第一叶片，第二螺旋轴上设置有第二叶片，第一叶片的直径和第二叶片的直径中至少之一沿物料的运输方向依次减小。
8.进一步地，第一叶片的最大直径和第一叶片的最小直径的差值大于等于7mm且小于等于13mm，第二叶片的最大直径和第二叶片的最小直径的差值大于等于7mm且小于等于13mm。
9.进一步地，第一叶片的最大直径和第一叶片的最小直径的差值大于等于9mm且小于等于11mm，第二叶片的最大直径和第二叶片的最小直径的差值大于等于9mm且小于等于11mm。
10.进一步地，第一叶片和第一槽体的内壁之间形成有第一输送通道，第二叶片和第二槽体的内壁之间形成有第二输送通道，第一输送通道和第二输送通道均用于输送粒径小于等于第一粒径的物料，第一螺旋轴和第二螺旋轴均用于输送粒径小于等于第二粒径的物
料，其中，第一粒径小于第二粒径。
11.进一步地，沿物料的运输方向，第一槽体的长度和第二槽体长度的比值大于等于0.5且小于等于1.5。
12.进一步地，下料机构相对上料机构包括第一状态和第二状态，当下料机构相对上料机构处于第一状态时，第一槽体和第二槽体连通，且第二槽体处于第一位置；当下料机构相对上料机构处于第二状态时，第一槽体和第二槽体不连通，且第二槽体处于第二位置。
13.进一步地，第一槽体设置有沿送料系统的上下方向延伸的第三槽体，第三槽体和第一槽体一体成型或固定连接。
14.进一步地，沿送料系统的上下方向，第一槽体和第二槽体之间的距离为第一长度，第三槽体沿上下方向的长度为第二长度，第一长度大于等于第二长度；或，第三槽体设置为可伸缩结构，当第二槽体处于第一位置时，第三槽体处于第一模式，当第二槽体处于第二位置时，第三槽体处于第二模式。
15.进一步地，下料机构和驱动组件通过可弯曲的连接轴连接；当下料机构相对上料机构处于第一状态时，连接轴处于正常状态；当下料机构相对上料机构处于第二状态时，连接轴处于弯曲状态。
16.进一步地，在送料系统输送物料的情况下，若物料从料斗输送至第一槽体，第一叶片形成有阻碍物料运动的第一阻挡机构；若物料从第一槽体输送至第二槽体，第二叶片形成有阻碍物料运动的第二阻挡机构。
17.本技术提供了一种单晶炉复投送料系统，该送料系统包括料斗、上料机构、下料机构和驱动组件，其中上料机构包括第一槽体和第一螺旋轴，下料机构包括第二槽体和第二螺旋轴，第一螺旋轴上设置有沿物料运输方向直径逐渐减小的第一叶片，第二螺旋轴上设置有沿物料运输方向直径逐渐减小的第二叶片。在物料运输过程中粒径小于等于第一粒径的部分物料被优先输送至单晶炉中，摊铺在硅液表面，剩余的部分物料随后输送至单晶炉中，掉落在粒径小于等于第一粒径的部分物料上，减缓了冲击。从而解决了大粒径物料投入单晶炉时造成的硅液飞溅的问题，避免了硅液飞溅造成的物料损失以及对单晶炉造成的损害，使得生产成本降低，并延长了单晶炉使用寿命。
附图说明
18.图1为本发明实施例中送料系统的内部结构示意图；图2为本发明实施例中送料系统的整体结构示意图；图3为本发明实施例中送料系统的剖面结构示意图；图4为本发明实施例中送料系统的上料机构局部放大示意图；图5为本发明实施例中送料系统的下料机构局部放大示意图；图6为本发明实施例中送料系统的下料机构左侧局部放大示意图；图7为本发明实施例中第一传动部的结构示意图；图8为本发明实施例中送料系统的局部放大示意图。
具体实施方式
19.以下将结合附图所示的具体实施方式对本发明进行详细描述，但这些实施方式并
不限制本发明，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本发明的保护范围内。
20.需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
21.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
22.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
23.为了清楚地说明本技术的技术方案，定义了如图1所示的前侧、后侧、左侧、右侧、上侧、下侧。
24.请参考图1和图2，其示出了本技术一个实施例提供的一种单晶炉复投送料系统100，送料系统100安装在复投器炉体的内部。送料系统100包括：料斗11、上料机构12、下料机构13和驱动组件14。
25.其中，料斗11至少部分设置在上料机构12的上方，下料机构13至少部分设置在上料机构12的下方，即上料机构12至少部分设置在料斗11和下料机构13之间。料斗11用于放置物料。上料机构12至少部分与料斗11连通，且上料机构12与料斗11位置相对固定。在送料系统100输送物料的情况下，上料机构12至少部分和下料机构13连通。驱动组件14设置在复投器炉体的外部，用于驱动上料机构12和下料机构13。在送料系统100输送物料时，物料从料斗11中因自身重力进入上料机构12中，驱动组件14驱动上料机构12将物料从上料机构12输送至下料机构13，驱动组件14驱动下料机构13将物料从下料机构13输送至单晶炉中。
26.其中，上料机构12包括：第一槽体121和第一螺旋轴122，第一螺旋轴122至少部分设置在第一槽体121中。下料机构13包括：第二槽体131和第二螺旋轴132，第二螺旋轴132至少部分设置在第二槽体131中。
27.可选地，第一螺旋轴122转动连接至第一槽体121，第二螺旋轴132转动连接至第二槽体131，从而使驱动组件14可以控制第一螺旋轴122和第二螺旋轴132转动，有利于物料输送，且限制了第一螺旋轴122的活动范围，提高送料系统100的结构稳定性。具体地，第一螺旋轴122可以通过轴承转动连接至第一槽体121，第二螺旋轴132可以通过轴承转动连接至第二槽体131。
28.在送料系统100输送物料的情况下，第一槽体121连通第二槽体131，驱动组件14驱动第一螺旋轴122和第二螺旋轴132，以使物料通过第一螺旋轴122和第二螺旋轴132输送至单晶炉中。具体地，驱动组件14驱动第一螺旋轴122，从而使物料从第一槽体121中输送至第二槽体131中，同时，驱动组件14驱动第二螺旋轴132，从而使第二槽体131中的物料输送至单晶炉中。通过上述设置，驱动组件14驱动第一螺旋轴122和第二螺旋轴132，物料被第一螺旋轴122和第二螺旋轴132带动向前运输，可以通过控制第一螺旋轴122和第二螺旋轴132转
动速度来控制物料的输送速度，相比于传统的振动送料更加有利于控制物料输送速度，更能满足使用需求。
29.作为一种可选的实现方式，料斗11与上料机构12的连接处设置有覆盖件，覆盖件包覆料斗11与上料机构12的连接处。该实现方式下，覆盖件可以补偿料斗11与上料机构12对接时的安装误差。此外，覆盖件包覆料斗11与上料机构12的连接处可以防止物料在从料斗11输送到上料机构12时外泄，避免物料被污染，提高单晶炉的成晶品质。在本实施例中，覆盖件可以为硅胶套筒。
30.可选地，在本实施例中，料斗11的内壁、第一槽体121的内壁以及第二槽体131的内壁均涂敷聚氨酯。该实现方式下，物料在送料系统100的输送过程中可以避免被污染，提高单晶炉成晶品质。
31.请参考图3、图4、图5和图6，作为一种实现方式，第一螺旋轴122上设置有第一叶片123，第二螺旋轴132上设置有第二叶片133，第一叶片123的直径沿物料的运输方向依次减小，和/或第二叶片133的直径沿物料的运输方向依次减小，即第一叶片123的直径和第二叶片133的直径中至少之一沿物料的运输方向依次减小；且第一叶片123的最大直径r1和第一叶片123的最小直径r2的差值大于等于7mm且小于等于13mm，和/或第二叶片133的最大直径r3和第二叶片133的最小直径r4的差值大于等于7mm且小于等于13mm。其中，物料的运输方向指物料从料斗11进入第一槽体121，物料通过第一槽体121运输至第二槽体131，物料通过第二槽体131运输至单晶炉中的运输方向。在本实施例中，物料的运输方向为从后往前。
32.该实现方式下，物料在第一槽体121内的输送过程中，物料中粒径小于等于第一粒径的部分物料可以通过第一叶片123与第一槽体121的内壁之间形成的区域输送至第二槽体131；物料中粒径小于等于第二粒径的部分物料可以随第一叶片123的运动输送至第二槽体131。物料在经过第一槽体121时，粒径小于等于第一粒径的部分物料会被优先输送至第二槽体131。因此物料在刚被输送至第二槽体131时，大部分为粒径小于等于第一粒径的物料。
33.需要说明的是，粒径为物料的最大宽度距离值，且第一粒径小于第二粒径。
34.同理，物料在第二槽体131内的输送过程中，物料中粒径小于等于第一粒径的部分物料可以通过第二叶片133与第二槽体131的内壁之间形成的区域输送至单晶炉中；物料中粒径小于等于第二粒径的部分物料可以随第二叶片133的运动输送至单晶炉中。物料在经过第二槽体131时，粒径小于等于第一粒径的部分物料会被优先输送至单晶炉中。
35.因此，粒径小于等于第一粒径的部分物料被优先输送至单晶炉中，摊铺在硅液表面，剩余的部分物料随后输送至单晶炉中，掉落在粒径小于等于第一粒径的部分物料上，减缓了冲击。从而解决了大粒径物料投入单晶炉时造成的硅液飞溅的问题，避免了硅液飞溅造成的物料损失以及对单晶炉造成的损害，使得生产成本降低，并延长了单晶炉使用寿命。
36.优选地，第一叶片123的最大直径r1和第一叶片123的最小直径r2的差值大于等于9mm且小于等于11mm，第二叶片133的最大直径r3和第二叶片133的最小直径r4的差值大于等于9mm且小于等于11mm。在本实施例中，第一叶片123的最大直径r1和第一叶片123的最小直径r2的差值为10mm，第二叶片133的最大直径r3和第二叶片133的最小直径r4的差值为10mm。该实现方式下，第一叶片123的直径变化较小，第二叶片133的直径变化也较小，从而使第一槽体121的内壁和第一叶片123之间、第二槽体131的内壁和第二叶片133之间不易堵
塞物料，物料的输送效率较高且物料在输送至单晶炉的过程中防止硅液飞溅的效果较好。
37.可选地，沿物料运输的方向，第一叶片123和第二叶片133均按阿基米德螺旋线形状过渡，且第一叶片123和第二叶片133均逐渐减小直径。该实现方式下，第一叶片123和第二叶片133直径减小更加平滑，不易堵塞物料。
38.可选地，第一螺旋轴122、第二螺旋轴132、第一叶片123以及第二叶片133可采用钼、石英、钨或氮化硅等非金属材料制成。该实现方式下，物料在送料系统100的输送过程中可以避免被污染，提高单晶炉成晶品质。
39.作为一种可选的实现方式，送料系统100输送物料的情况下，若物料从料斗11输送至第一槽体121，第一叶片123形成有阻碍物料运动的第一阻挡机构，即物料以一定速度进入第一槽体121后会被第一叶片123形成的第一阻挡机构阻挡减速；若物料从第一槽体121输送至第二槽体131，第二叶片133形成有阻碍物料运动的第二阻挡机构，即物料以一定速度进入第二槽体131后会被第二叶片133形成的第二阻挡机构阻挡减速。该实现方式下，物料的输送速度相较于现有技术中常规送料速度来说较低，可以有效解决现有技术中常规送料因较高的送料速度导致物料冲击液面造成的硅液飞溅问题，避免了硅液飞溅造成的物料损失以及对单晶炉造成的损害，使得生产成本降低，并延长了单晶炉使用寿命。
40.可选地，沿物料的运输方向，第一槽体121的长度l1和第二槽体131长度l2的比值大于等于0.5且小于等于1.5。进一步地，第一槽体121的长度l1和第二槽体131长度l2的比值大于等于0.7且小于等于1.3。更进一步地，第一槽体121的长度l1和第二槽体131长度l2的比值大于等于0.9且小于等于1.1。该实现方式下，第一槽体121和第二槽体131长度设置更加合理，能在较好地输送物料至单晶炉内的同时，使送料系统100的结构更加紧凑，提高送料系统100的空间利用率。
41.作为一种可选的实现方式，送料系统100中下料机构13相对上料机构12包括第一状态和第二状态，当下料机构13相对上料机构12处于第一状态时，第一槽体121和第二槽体131连通，且第二槽体131处于第一位置，此时送料系统100处于工作状态，物料可以输送至单晶炉中；当下料机构13相对上料机构12处于第二状态时，第一槽体121和第二槽体131不连通，且第二槽体131处于第二位置，此时送料系统100处于非工作状态，物料停止输送。其中，第一位置指送料系统100工作时第二槽体131所处位置，第二位置指送料系统100不工作时第二槽体131所处位置。
42.如图3所示，此时下料机构13相对上料机构12处于第一状态，第二槽体131处于第一位置，第一槽体121和第二槽体131连通，且第二槽体131部分伸入单晶炉中以便输送物料，此时送料系统100处于工作状态。当下料机构13相对上料机构12处于第二状态时，第二槽体131处于第二位置，第一槽体121和第二槽体131不连通，第二槽体131伸入单晶炉中的部分缩回，此时送料系统100不工作。
43.具体地，送料系统100还包括移动机构，第二槽体131和移动机构固定连接，移动机构用于辅助第二槽体131在第一位置和第二位置之间的移动。在本实施例中，移动机构包括车体、滑轮、轨道。车体与第二槽体131固定连接，且设置在第二槽体131下方，车体通过滑轮能够在轨道上移动。通过上述设置，使第二槽体131能够较为方便地在第一位置与第二位置之间移动，便于操作，且第二槽体131的运动范围被限定在轨道上，使第二槽体131在移动时不易错位，提高了送料系统100的结构稳定性。
44.作为一种可选的实现方式，第二槽体131的内部可设置有石英管，石英管与第二螺旋轴132同轴设置，且第二槽体131围绕石英管设置，石英管长度与第二槽体131长度相同，石英管与第二槽体131之间采用耐高温的发泡硅胶垫隔绝，石英管在第二槽体131与第一槽体121的连接处开口，用于输送物料。该实现方式下，当第二槽体131处于第一位置时，石英管伸入单晶炉内，由石英管耐高温的特性，石英管不易损坏，送料系统100使用寿命较长。
45.如图3所示，作为一种可选的实现方式，第一槽体121设置有沿送料系统100的上下方向延伸的第三槽体，第三槽体和第一槽体121一体成型或固定连接。该实现方式下，物料在通过第一槽体121后，速度较快的部分物料可以被第三槽体阻挡进而顺利进入第二槽体131，防止物料在输送过程中造成物料外泄或被污染，减少不必要的物料损失，降低生产成本。
46.作为一种可选的实现方式，沿送料系统100的上下方向，第一槽体121和第二槽体131之间的距离为第一长度，第三槽体沿上下方向的长度为第二长度，第一长度大于等于第二长度。该实现方式下，可以使第三槽体在不影响第二槽体131正常工作的情况下更好地防止物料外泄。
47.可选地，第三槽体设置为可伸缩结构，当第二槽体131处于第一位置时，第三槽体处于第一模式。即当下料机构13相对上料机构12处于第一状态，送料系统100开始工作时，第三槽体伸长，此时，第三槽体可以处于第二槽体131的上侧，第三槽体也可以至少部分处于第二槽体131中。当第二槽体131处于第二位置时，第三槽体处于第二模式。即当下料机构13相对上料机构12处于第二状态，送料系统100停止工作时，第三槽体缩短。该实现方式下，第三槽体可以根据送料系统100的工作状态伸长或者缩短，送料系统100开始工作时第三槽体处于第一模式，防止物料外泄，降低生产成本；送料系统100停止工作时第三槽体处于第二模式，减小体积，提高送料系统100的空间利用率。
48.可选地，第三槽体下方可设置有垂直向下的聚四氟弯头，聚四氟弯头与第三槽体一体成型或固定连接。聚四氟弯头具有耐化学腐蚀的特性，因此，通过该实现方式可以延长第三槽体使用寿命。
49.作为一种可选的实现方式，送料系统100中的驱动组件14包括第一驱动部141和第二驱动部142。其中第一驱动部141与上料机构12的第一螺旋轴122同轴设置，第一驱动部141用于驱动上料机构12，第二驱动部142与下料机构13的第二螺旋轴132同轴设置，第二驱动部142用于驱动下料机构13。该实现方式下，送料系统100可以通过分别控制第一驱动部141和第二驱动部142的运行速度来调节上料机构12和下料机构13中物料的输送速度，以适应不同的物料输送需求。可以理解的，第一驱动部141与上料机构12的第一螺旋轴122也可以不同轴设置，第一驱动部141通过其他传动结构将驱动力传递至上料机构12；第二驱动部142与下料机构13的第二螺旋轴132也可以不同轴设置，第二驱动部142通过其他传动结构将驱动力传递至下料机构13，本技术对此不作限制。
50.请参考图7，在本实施例中，第一驱动部141包括第一电机1411和第一减速机1412，第一电机1411和第一减速机1412通过联轴器连接；第二驱动部142的结构与第一驱动部141基本一致。该实现方式下，驱动组件14可以提供较大的输出扭矩，提高送料系统100的输送能力，且减速电机的运行速度较低，使物料在输送时的速度较低，可以有效防止物料因速度过快造成的外泄或者因速度过快撞击硅液表面造成硅液飞溅，降低了生产成本，提高了设
备生产效率。
51.可选地，送料系统100还包括传动组件15，传动组件15用于将驱动组件14输出的驱动力传递至上料机构12和下料机构13。传动组件15包括第一传动部151和第二传动部152。其中，第一传动部151的一端与第一驱动部141连接，第一传动部151的另一端与第一螺旋轴122连接，从而使第一驱动部141输出的驱动力通过第一传动部151传递至上料机构12。第二传动部152的一端与第二驱动部142连接，第二传动部152的另一端与第二螺旋轴132连接，从而使第二驱动部142输出的驱动力通过第二传动部152传递至下料机构13。具体地，在本实施例中，第一传动部151包括第一磁流体和第一联轴器。第一磁流体设置在复投器炉体的外部，第一磁流体的外部与第一驱动部141连接，第一磁流体的内部与第一联轴器的一端连接，第一联轴器的另一端与上料机构12中的第一螺旋轴122连接。第二传动部152包括第二磁流体、第二联轴器、可弯曲的连接轴1521以及第三联轴器。其中，第二磁流体设置在复投器炉体的外部，第二磁流体的外部与第二驱动部142连接，第二磁流体的内部与第二联轴器的一端连接，第二联轴器的另一端与该可弯曲的连接轴1521的一端连接，连接轴1521的另一端与第三联轴器的一端连接，第三联轴器的另一端与第二螺旋轴132连接。
52.该实现方式下，驱动组件14可以设置在复投器炉体的外部，通过传动组件15将驱动力传递进复投器炉体内，即该实现方式可以将驱动组件14输出的驱动力从常压环境传递至复投器炉体内的真空环境，从而解决了驱动组件14与物料间接接触的问题，不仅避免了真空环境下高压电气元器件的短路风险，也能保证驱动力传递过程中不对炉体气密性造成破坏。
53.请参考图8，在本实施例中，下料机构13和第二驱动部142通过第二传动部152连接，第二传动部152包括第二磁流体、第二联轴器、可弯曲的连接轴1521以及第三联轴器。当下料机构13相对上料机构12处于第一状态时，连接轴1521处于正常状态，此时送料系统100可正常工作；当下料机构13相对上料机构12处于第二状态时，连接轴1521处于弯曲状态，此时连接轴1521无法正常工作，若第二驱动部142意外启动，则第二驱动部142会过载报警。该实现方式下，送料系统100通过连接轴1521实现了对下料机构13的工作状态的控制，第二驱动部142在下料机构13处于第二状态下启动时，第二驱动部142会过载报警，避免了误操作造成的损失，提高了送料系统100的安全性能。
54.作为一种实现方式，第一叶片123和第一槽体121的内壁之间形成有第一输送通道，第二叶片133和第二槽体131的内壁之间形成有第二输送通道，第一输送通道和第二输送通道均用于输送粒径小于等于第一粒径的物料，第一螺旋轴122和第二螺旋轴132均用于输送粒径小于等于第二粒径的物料，其中，第一粒径小于第二粒径。
55.该实现方式下，物料在第一槽体121内的输送过程中，物料中粒径小于等于第一粒径的部分物料可以通过第一叶片123与第一槽体121内壁之间形成的区域输送至第二槽体131；物料中粒径小于等于第二粒径的部分物料可以随第一叶片123的运动输送至第二槽体131。物料在经过第一槽体121时，粒径小于等于第一粒径的部分物料会被优先输送至第二槽体131。因此物料在刚被输送至第二槽体131时，大部分为粒径小于等于第一粒径的物料。
56.需要说明的是，粒径为物料的最大宽度距离值，且第一粒径小于第二粒径。
57.同理，物料在第二槽体131内的输送过程中，物料中粒径小于等于第一粒径的部分物料可以通过第二叶片133与第二槽体131内壁之间形成的区域输送至单晶炉中；物料中粒
径小于等于第二粒径的部分物料可以随第二叶片133的运动输送至单晶炉中。物料在经过第二槽体131时，粒径小于等于第一粒径的部分物料会被优先输送至单晶炉中。
58.因此，粒径小于等于第一粒径的部分物料被优先输送至单晶炉中，摊铺在硅液表面，剩余的部分物料随后输送至单晶炉中，掉落在粒径小于等于第一粒径的部分物料上，减缓了冲击。从而解决了大粒径物料投入单晶炉时造成的硅液飞溅的问题，避免了硅液飞溅造成的物料损失以及对单晶炉造成的损害，使得生产成本降低，并延长了单晶炉使用寿命。
59.可以理解的，作为一种可选地实现方式，沿物料的运输方向，第一叶片123的直径不变，第二叶片133的直径不变，第一槽体121的内径逐渐增大，第二槽体131的内径逐渐增大，第一叶片123和第一槽体121的内壁之间形成有第一输送通道，第二叶片133和第二槽体131的内壁之间形成有第二输送通道。
60.作为一种可选的实现方式，送料系统100输送物料的情况下，若物料从料斗11输送至第一槽体121，第一叶片123形成有阻碍物料运动的第一阻挡机构，即物料以一定速度进入第一槽体121后会被第一叶片123形成的第一阻挡机构阻挡减速；若物料从第一槽体121输送至第二槽体131，第二叶片133形成有阻碍物料运动的第二阻挡机构，物料以一定速度进入第二槽体131后会被第二叶片133形成的第二阻挡机构阻挡减速。该实现方式下，物料的输送速度相较于现有技术中常规送料速度来说较低，可以有效解决现有技术中常规送料因较高的送料速度导致物料冲击液面造成的硅液飞溅问题，避免了硅液飞溅造成的物料损失以及对单晶炉造成的损害，使得生产成本降低，并延长了单晶炉使用寿命。
61.综上所述，本技术提供了一种单晶炉复投送料系统100，送料系统100包括料斗11、上料机构12、下料机构13和驱动组件14，其中上料机构12包括第一槽体121和第一螺旋轴122，下料机构13包括第二槽体131和第二螺旋轴132，第一螺旋轴122上设置有沿物料运输方向直径逐渐减小的第一叶片123，第二螺旋轴132上设置有沿物料运输方向直径逐渐减小的第二叶片133。在物料运输过程中粒径小于等于第一粒径的部分物料被优先输送至单晶炉中，摊铺在硅液表面，剩余的部分物料随后输送至单晶炉中，掉落在粒径小于等于第一粒径的部分物料上，减缓了冲击。从而解决了大粒径物料投入单晶炉时造成的硅液飞溅的问题，避免了硅液飞溅造成的物料损失以及对单晶炉造成的损害，使得生产成本降低，并延长了单晶炉使用寿命。
62.以上所揭露的仅为本发明的较佳实施例而已，然其并非用以限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解：在不脱离本发明及所附的权利要求的精神和范围内，改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，仍属于发明所涵盖的范围。