晶体生长炉的制作方法

1.本发明涉及晶体生长技术领域，特别是涉及一种晶体生长炉。


背景技术：

2.目前，单晶蓝宝石越来越广泛地应用于光电产业，各生产厂家通常采用泡生法来生产单晶蓝宝石，而且，通常是将籽晶置于坩埚的轴线位置进行引晶。现有的研究表明，将籽晶置于偏离坩埚轴线的位置进行偏心引晶，生长出来的晶体的质量更佳。
3.采用上述的偏心引晶的方式来生产不同规格的晶体时，籽晶偏离坩埚轴线的距离不同。为此，有必要使晶体生长炉的提拉杆能够进行水平移动，以调整籽晶偏离坩埚轴线的距离。然而，提拉杆的水平移动会破坏炉室的密封结构，导致空气中的氧气等杂质进入炉室，影响晶体的生长质量。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本发明针对上述技术问题，提供一种晶体生长炉，该晶体生长炉能够在晶体生长的过程中，将炉室密封，保证晶体的生长质量。
5.本发明提供的晶体生长炉，包括机架、提拉杆、操纵机构、炉室和密封机构，操纵机构设置于机架，提拉杆设置于操纵机构，操纵机构包括第一输出轴和第二输出轴，第一输出轴用于驱动提拉杆水平移动，第二输出轴用于驱动提拉杆沿着自身轴线转动；炉室包括具有腔体的炉体和盖合于炉体的炉盖，炉盖上设有避让通道，提拉杆穿过避让通道伸入腔体，且避让通道允许提拉杆水平移动；密封机构套设于提拉杆，用于盖封避让通道。
6.在其中一个实施方式中，密封机构包括密封座和施力组件，密封座套设于提拉杆，密封座具有盖封避让通道的密封面，施力组件连接于密封座以驱使密封座压接于炉盖。
7.如此设置，在施力组件施加的力的作用下，密封座压紧在炉盖上，密封面将避让通道密封，从而防止外界空气中的氧气等杂质通过避让通道进入炉室，保证晶体的生长质量。
8.在其中一个实施方式中，密封座具有允许提拉杆穿过的中空腔，中空腔内设有内螺纹，施力组件包括外传动套和与外传动套传动连接的内传动套，内传动套卡设于提拉杆用于随提拉杆转动，外传动套的外周面设有与内螺纹螺纹连接的外螺纹。
9.如此设置，提拉杆及其所携带的籽晶可以通过中空腔进入炉室内，从而让籽晶生长成晶棒。在晶体生长完成之前，提拉杆将一直沿着自身轴线转动。当提拉杆沿着自身轴线转动时，提拉杆带动内传动套转动，内传动套带动外传动套转动，外传动套通过螺纹传动驱动密封座向下运动。密封座会向下运动至其密封面压接于炉盖，此后，密封座不能继续向下运动，外传动套也不能转动，外传动套相对密封座静止，但提拉杆仍然转动并带动内传动套一起转动，因此，内传动套与外传动套之间发生相对滑动。内传动套对外传动套的滑动摩擦力使外传动套有发生转动的趋势，经过外传动套与密封座之间的螺纹传动，外传动套的发生转动的趋势会使密封座有发生向下运动的趋势，密封座对炉盖有向下的力，从而保证密封座一直压接于炉盖，保证密封面将避让通道密封。
10.在其中一个实施方式中，内传动套的外周面设有多个间隔设置的弹性的第一凸条，外传动套的内周面间隔设置有多个弹性的第二凸条，第一凸条与第二凸条错位设置。
11.如此设置，在密封座压接于炉盖前，第一凸条的侧面抵接于第二凸条的侧面，起到类似于齿轮传动的传动作用，从而让内传动套带动外传动套一起转动。在密封座压接于炉盖后，因为密封座不能继续向下运动，外传动套相对密封座静止，而提拉杆仍然带动内传动套一起转动，所以第一凸条与第二凸条之间发生弹性挤压与相对滑动。
12.在其中一个实施方式中，提拉杆上设有沿着提拉杆的长度方向设置的卡槽或卡块中的一者，内传动套的内壁面上设有卡槽或卡块中的另一者，卡块可滑动地卡设于卡槽。
13.如此设置，当提拉杆沿着自身轴线转动时，提拉杆能够通过卡槽与卡块之间的连接来带动内传动套转动。此外，通过卡槽与卡块的连接，提拉杆还能够沿着自身的长度方向相对内传动套发生滑动。
14.在其中一个实施方式中，施力组件还包括锁止件和第一弹性件，外传动套的内壁面上设有容置槽，第一弹性件一端固设于容置槽的槽壁另一端固设于锁止件，锁止件上设有与第一凸条错位设置的第三凸条，锁止件具有凸出于外传动套的内壁面状态下的传动状态和容置于容置槽内的滑动状态。
15.如此设置，在密封座压接于炉盖前，锁止件凸出于外传动套的内壁面，第三凸条的侧面抵接于第一凸条的侧面，起到类似于齿轮传动的传动作用，从而让内传动套带动外传动套一起转动。在密封座压接于炉盖后，因为密封座不能继续向下运动，外传动套相对密封座静止，而提拉杆仍然带动内传动套一起转动，所以第一凸条将锁止件压入容置槽且第一凸条与外传动套的内壁之间发生相对滑动。
16.在其中一个实施方式中，密封机构还包括第一密封圈，第一密封圈套设于外传动套且位于外传动套与中空腔的腔壁之间。
17.如此设置，第一密封圈能够将外传动套与中空腔腔壁之间密封，从而防止外界空气通过外传动套与中空腔腔壁之间的间隙到达避让通道，进入炉室。
18.在其中一个实施方式中，滑动组件还包括第二密封圈，第二密封圈位于密封面与炉盖之间。
19.如此设置，密封座压接于炉盖时，第二密封圈同时与密封面、炉盖紧密接触，能够更好地将密封面与炉盖之间密封。
20.在其中一个实施方式中，密封机构还包括滑动组件，密封座可滑动地连接于滑动组件，滑动组件设置于炉盖。
21.如此设置，当第一输出轴驱动提拉杆水平移动时，密封座可以通过与滑动组件发生相对滑动的方式跟随提拉杆一起水平运动。
22.在其中一个实施方式中，操纵机构还包括第一基座和第二基座，第一基座固设于机架，第一输出轴的一侧滑动连接于第一基座，第二基座连接于第一输出轴的远离第一基座的一侧，第二输出轴转动连接于第二基座，提拉杆连接于第二输出轴。
23.如此设置，提拉杆可以在第一输出轴和第二输出轴的驱动下分别发生水平移动和沿着自身轴线转动。
24.本发明至少具有以下有益效果：本发明提供的晶体生长炉通过在炉盖上设置避让通道，从而允许提拉杆水平运
动，实现偏心引晶。在晶体生长的过程中，密封机构将避让通道密封，防止外界空气中的氧气等杂质进入炉室，从而保证晶体的生长质量。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1为本发明一个实施例的晶体生长炉的结构示意图；图2为本发明一个实施例的密封机构、提拉杆、炉盖之间连接关系的剖面示意图；图3为图2所示连接关系在另一视角下的剖面示意图；图4为本发明一个实施例中施力组件与密封座之间连接关系的剖面示意图；图5为本发明一个实施例的炉盖的结构示意图；图6为图5中a处的放大示意图；图7为本发明一个实施例的提拉杆的结构示意图；图8为本发明一个实施例的内传动套的结构示意图；图9为本发明一个实施例的外传动套与第一弹性件之间连接关系的结构示意图；图10为图9中a-a方向的剖视图；图11为本发明一个实施例的锁止件的结构示意图；图12为图11所示锁止件在另一视角下的结构示意图；图13为本发明一个实施例的密封座的结构示意图；图14为图13所示密封座在另一视角下的结构示意图；图15为本发明一个实施例的滑动组件的结构示意图；图16为图15中b-b方向的剖面示意图。
27.附图标记：10、机架；20、操纵机构；21、第一输出轴；22、第二基座；23、升降组件；30、提拉杆；31、卡槽；40、炉室；41、炉体；42、炉盖；421、避让通道；422、第一凹槽；50、密封机构；51、密封座；511、密封面；512、中空腔；5121、内螺纹；513、装配块；52、施力组件；521、外传动套；5211、外螺纹；5212、容置槽；5213、凸出部；522、内传动套；5221、第一凸条；5222、卡块；523、锁止件；5231、第三凸条；524、第一弹性件；53、第一密封圈；54、第二密封圈；55、滑动组件；551、滑台；5511、装配腔；55111、装配槽；5512、第二凹槽；552、滑轨；553、第二弹性件。
具体实施方式
28.为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
29.需要说明的是，当组件被称为“固定于”或“设置于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以
是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。本技术的说明书所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
30.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
31.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”、“下”可以是第一特征直接和第二特征接触，或第一特征和第二特征间接地通过中间媒介接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
32.除非另有定义，本技术的说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本技术的说明书所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
33.本技术提供一种晶体生长炉，晶体生长炉是一种生长晶体的设备。例如，可以用于生长单晶蓝宝石的晶体生长炉。目前，常用的生产单晶蓝宝石方法是泡生法，采用泡生法生产单晶蓝宝石的具体过程是：炉室40内设置坩埚，坩埚中盛有熔融状的氧化铝熔融液，蓝宝石晶体生长炉设置有提拉杆30，提拉杆30的下端携带有籽晶，籽晶与提拉杆30同轴。向蓝宝石晶体生长炉的炉室40充入惰性气体，让炉室40处于惰性气体环境中，之后向下移动籽晶，使籽晶与氧化铝熔融液接触，当籽晶和氧化铝熔融液的固液界面的温度低于氧化铝的凝固点时，在籽晶和氧化铝熔融液的固液界面上开始生长和籽晶相同晶体结构的晶体。
34.请参阅图1，本技术提供的晶体生长炉包括机架10、操纵机构20、提拉杆30和炉室40。机架10用于承载晶体生长炉的各种机械结构，操纵机构20设置于机架10，提拉杆30设置于操纵机构20。操纵机构20包括第二输出轴（图中未示出），第二输出轴用于驱动提拉杆30沿着自身轴线转动，以带动籽晶一起转动，从而使生长出来的晶体的质量更佳。炉室40包括具有腔体的炉体41和盖合于炉体41的炉盖42。提拉杆30携带籽晶后将籽晶移动到炉室40中进行引晶。
35.在一些实施例中，为了使籽晶能够移动到炉室40中引晶，操纵机构20还包括升降组件23，升降组件23用于驱动提拉杆30升降。
36.在采用泡生法生长单晶蓝宝石时，通常的做法是将籽晶置于坩埚的轴线位置进行引晶。然而，现在有研究表明，将籽晶置于偏离坩埚轴线的位置进行偏心引晶，生长出来的晶体的质量更好。采用偏心引晶的方式来生长不同规格的晶体时，籽晶偏离坩埚轴线的距离不同，为此，有必要使晶体生长炉的提拉杆30能够进行水平移动，以调整籽晶偏离坩埚轴线的距离。但是，提拉杆30的水平移动会破坏炉室40的密封结构，导致外界空气中的氧气等杂质进入炉室40，影响晶体的生长质量。
37.鉴于此，本技术提供的晶体生长炉中，操纵机构20包括第一输出轴21，第一输出轴21用于驱动提拉杆30水平移动。炉盖42上设有避让通道421，提拉杆30穿过避让通道421伸
入炉体41的腔体，且避让通道421允许提拉杆30水平移动。如此，提拉杆30便可以在第一输出轴21的驱动下进行水平移动。本技术提供的晶体生长炉包括密封机构50，密封机构50套设于提拉杆30，用于盖封避让通道421。
38.在一些实施例中，为了实现第一输出轴21和第二输出轴的作用，操纵机构20还包括第一基座和第二基座22，第一基座固设于机架10，第一输出轴21的一侧滑动连接于第一基座，第二基座22连接于第一输出轴21的远离第一基座的一侧，第二输出轴转动连接于第二基座22，提拉杆30连接于第二输出轴。由此，第一输出轴21可以相对第一基座发生滑动，从而驱动提拉杆30水平移动。第二输出轴可以相对第二基座22发生转动，从而驱动提拉杆30沿着自身轴线转动。
39.在一些实施例中，升降组件23包括第三基座、第三滑台551和螺杆，第三基座固设于机架10且沿着竖直方向延伸，第三滑台551与第三基座滑动连接且与螺杆螺纹连接，随着螺杆的转动，第三滑台551沿着竖直方向与第三基座发生相对滑动。第一输出轴21可以为水平设置的丝杆，第一基座可以为与丝杆配合的丝杆螺母，第一基座固设于第三滑台551，第一输出轴21可以随着自身的转动沿着水平方向移动。第二基座22固定连接于第一输出轴21远离第一基座的一侧，第二输出轴转动连接于第二基座22且第二输出轴竖直设置。由此，提拉杆30可以在升降组件23、第一输出轴21和第二输出轴的驱动下分别发生升降、水平移动、沿着自身轴线转动。
40.可以理解，提拉杆30的升降和沿着自身轴线转动是可以同时进行的，而且在晶体生长过程中需要将避让通道421密封。提拉杆30的水平移动是为了将籽晶移动到偏离坩埚轴线的某一位置，该位置依据所要生产的晶体的规格来确定，当籽晶移动到该位置之后，提拉杆30便不再水平移动，为方便叙述，将该过程定义为调节偏心位置过程，调节偏心位置过程发生在晶体生长过程之前。而且，在调节偏心位置过程中，不需要将避让通道421密封。
41.在调节偏心位置过程完成后，需要将炉室40密封，才能开始晶体生长过程。虽然炉盖42将炉室40的炉体41盖合，但是炉盖42上设有避让通道421，外界空气可以通过避让通道421进入炉室40。为了保证炉室40的密封性，需要将避让通道421密封。请参阅图2和图3，在一些实施例中，密封机构50包括密封座51和施力组件52，密封座51套设于提拉杆30，密封座51具有盖封避让通道421的密封面511，施力组件52连接于密封座51以驱使密封座51压接于炉盖42。施力组件52将密封座51压接于炉盖42后，密封座51的密封面511便将避让通道421盖封。
42.请参阅图2和图3，在一些实施例中，为进一步加强炉室40的密封性，密封机构50还包括第二密封圈54，第二密封圈54位于密封面511与炉盖42之间，施力组件52将密封面511压接于炉盖42后，第二密封圈54受到挤压发生弹性形变，从而与密封面511、炉盖42紧密接触，加强炉室40的密封性。
43.进一步地，请再次参阅图5和图6，在一些实施例中，为了更好地发挥第二密封圈54的密封作用，同时也为了防止第二密封圈54在密封面511与炉盖42之间滑动，炉盖42上开设有第一凹槽422，第一凹槽422与形成避让通道421的孔壁随形，第二密封圈54与第一凹槽422仿形适配，且第二密封圈54位于第一凹槽422中后，一部分贴合于第一凹槽422的槽壁，另一部分凸出于炉盖42，施力组件52将密封面511压接于炉盖42后，第二密封圈54发生弹性形变，从而同时与密封面511、第一凹槽422的槽壁紧密接触，加强炉室40的密封性。
44.在一些实施例中，密封座51设置有耐高温的弹性层，密封面511位于该弹性层。施力组件52将密封面511压接于炉盖42后，弹性层发生弹性形变，从而与炉盖42紧密接触，防止外界空气通过避让通道421进入炉室40。这些实施例中的弹性层既可以不可拆固设于密封座51，也可以可拆固定连接于密封座51。相关领域的技术人员应当理解，弹性层可以理解为设置于密封座51上的弹性垫，也可以理解为密封座51的一部分，该弹性层部分是由耐高温的弹性材料制成。
45.请参阅图13和图14，在一些实施例中，为了将提拉杆30伸入炉室40，密封座51具有允许提拉杆30穿过的中空腔512。
46.进一步地，请再次参阅图2和图3，在一些实施例中，为了保证密封座51一直压接于炉盖42，施力组件52包括外传动套521和与外传动套521传动连接的内传动套522，内传动套522卡设于提拉杆30用于随提拉杆30转动，中空腔512内设有内螺纹5121，外传动套521的外周面设有与内螺纹5121螺纹连接的外螺纹5211。内螺纹5121与外螺纹5211之间的螺纹连接起到螺纹传动的作用，当提拉杆30沿着自身轴线转动时，提拉杆30带动内传动套522转动，内传动套522带动外传动套521转动，外传动套521通过螺纹传动驱动密封座51向下运动。密封座51会向下运动至其密封面511压接于炉盖42，此后，密封座51不能继续向下运动，外传动套521也不能转动，外传动套521相对密封座51静止，但提拉杆30仍然转动并带动内传动套522一起转动，因此，内传动套522与外传动套521之间发生相对滑动。内传动套522对外传动套521的滑动摩擦力使外传动套521有发生转动的趋势，经过外传动套521与密封座51之间的螺纹传动，外传动套521的发生转动的趋势会使密封座51有发生向下运动的趋势，密封座51对炉盖42有向下的力，从而保证密封座51一直压接于炉盖42，保证密封面511将避让通道421密封。
47.值得说明的是，为了保证外传动套521的发生转动的趋势使密封座51产生向下运动的趋势，需要限制外传动套521的沿竖直方向的平移自由度，使外传动套521在发生转动的同时不能沿竖直方向平移。由此，在密封座51压接于炉盖42之前，内传动套522带动外传动套521转动，外传动套521通过螺纹传动驱动密封座51向下运动；在密封座51压接于炉盖42之后，内传动套522与外传动套521之间发生相对滑动，内传动套522对外传动套521的滑动摩擦力使外传动套521有发生转动的趋势，经过外传动套521与密封座51之间的螺纹传动，外传动套521的发生转动的趋势会使密封座51有发生向下运动的趋势。
48.进一步地，在一些实施例中，内传动套522的外周面设有多个间隔设置的弹性的第一凸条5221，外传动套521的内周面间隔设置有多个弹性的第二凸条，第一凸条5221与第二凸条错位设置。在密封座51压接于炉盖42前，第一凸条5221的侧面抵接于第二凸条的侧面，起到类似于齿轮传动的传动作用，从而让内传动套522带动外传动套521一起转动。在密封座51压接于炉盖42后，因为密封座51不能继续向下运动，外传动套521相对密封座51静止，而提拉杆30仍然带动内传动套522一起转动，所以第一凸条5221与第二凸条之间发生弹性挤压与相对滑动。第一凸条5221与第二凸条之间的滑动摩擦力使外传动套521有发生转动的趋势，经过外传动套521与密封座51之间的螺纹传动，外传动套521的发生转动的趋势会使密封座51有发生向下运动的趋势，密封座51对炉盖42有向下的力，从而保证密封座51一直压接于炉盖42，保证密封面511将避让通道421密封。
49.优选地，请参阅图7和图8，在一些实施例中，提拉杆30上设有沿着提拉杆30的长度
方向设置的卡槽31，内传动套522的内壁面上设有卡块5222，卡块5222可滑动地卡设于卡槽31。当提拉杆30沿着自身轴线转动时，提拉杆30能够通过卡槽31与卡块5222之间的连接来带动内传动套522转动。此外，通过卡槽31与卡块5222的连接，提拉杆30还能够在升降组件23的驱动下沿着自身的长度方向相对内传动套522发生滑动。
50.请参阅图9至图12，在一些实施例中，施力组件52还包括锁止件523和第一弹性件524，外传动套521的内壁面上设有容置槽5212，第一弹性件524一端固设于容置槽5212的槽壁另一端固设于锁止件523，锁止件523上设有与第一凸条5221错位设置的第三凸条5231，锁止件523具有凸出于外传动套521的内壁面状态下的传动状态和容置于容置槽5212内的滑动状态。在密封座51压接于炉盖42前，锁止件523凸出于外传动套521的内壁面，第三凸条5231的侧面抵接于第一凸条5221的侧面，起到类似于齿轮传动的传动作用，从而让内传动套522带动外传动套521一起转动。在密封座51压接于炉盖42后，因为密封座51不能继续向下运动，外传动套521相对密封座51静止，而提拉杆30仍然带动内传动套522一起转动，所以第一凸条5221将锁止件523压入容置槽5212且第一凸条5221与外传动套521的内壁之间发生相对滑动。
51.在一些实施例中，密封机构50还包括第一密封圈53，第一密封圈53套设于外传动套521且位于外传动套521与中空腔512的腔壁之间。第一密封圈53同时与外传动套521和中空腔512的腔壁紧密接触，从而将外传动套521与中空腔512腔壁之间密封，防止外界空气通过外传动套521与中空腔512腔壁之间的间隙到达避让通道421，进入炉室40。
52.由于密封机构50套设于提拉杆30，当第一输出轴21驱动提拉杆30水平移动时，密封机构50会跟随提拉杆30一起水平移动。请参阅图2和图3，在一些实施例中，为了便于密封机构50跟随提拉杆30一起水平运动，密封机构50还包括设置于炉盖42的滑动组件55，密封座51可滑动地连接于滑动组件55。当第一输出轴21驱动提拉杆30水平移动时，密封座51可以通过与滑动组件55发生相对滑动的方式跟随提拉杆30一起水平运动。
53.进一步地，请参阅图15和图16，在一些实施例中，滑动组件55包括具有装配腔5511的滑台551和滑轨552，滑轨552固设于炉盖42，滑台551可滑动设于滑轨552，密封座51设于装配腔5511。当第一输出轴21驱动提拉杆30水平移动时，密封座51可以和滑台551一起相对滑轨552发生比较平稳的滑动。
54.优选地，请再次参阅图15和图16，在一些实施例中，为保证密封座51和滑台551一起相对滑轨552发生平稳的滑动，滑轨552的数量为2个。
55.进一步地，请再次参阅图15和图16，在一些实施例中，装配腔5511的内壁上设有装配槽55111，密封座51上设有装配块513，装配块513插设于装配槽55111且在装配块513与装配槽55111之间设有第二弹性件553，用于向密封座51施加向上方向的力。在第一输出轴21驱动提拉杆30水平移动的过程中，第二弹性件553将密封座51顶起，从而使密封座51与炉盖42脱离接触，减小密封座51滑动过程中的滑动摩擦力，从而减小第一输出轴21驱动提拉杆30水平移动的阻力。
56.优选地，请再次参阅图15和图16，在一些实施例中，为保证第二弹性件553将密封座51平稳地顶起，装配槽55111的数量为2个，装配块513与每个装配槽55111之间间隔地设有2个第二弹性件553。
57.如前所述，为了保证外传动套521的发生转动的趋势使密封座51产生向下运动的
趋势，需要限制外传动套521的沿竖直方向的平移自由度，使外传动套521在发生转动的同时不能沿竖直方向平移。请参阅图9、图10、图15和图16，在一些实施例中，外传动套521设置有凸出部5213，凸出部5213为圆柱体。在内传动套522卡设于提拉杆30且外传动套521与内传动套522螺纹连接后，凸出部5213的轴线与提拉杆30的转动中心重合。滑台551设置有与该凸出部5213仿形适配的第二凹槽5512，当凸出部5213与第二凹槽5512仿形配合后，外传动套521仍然能发生转动，但外传动套521的沿竖直方向的平移自由度被限制住。
58.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
59.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术的专利保护范围应以所附权利要求为准。