一种石英坩埚自动上料成型装置的制作方法

本发明属于石英坩埚制造设备，涉及一种石英坩埚自动上料成型装置。

背景技术：

1、石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展，石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。

2、当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚，石英坩埚在生产过程中，操作员需要手动将石英砂投入模具中，石英砂附着在模具内壁，利用成形棒刮平料层，再通过交流三相电极产生的电弧将石英砂融化成型。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种石英坩埚自动上料成型装置。

2、本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种石英坩埚自动上料成型装置，包括加工室和设置在加工室内的成型模具，其特征在于，所述的加工室的侧壁上设置有将石英砂自动抽入成型模具内的自动上料组件，所述的加工室的侧壁设置有水平支撑板，所述的自动成型组件包括设置在水平支撑板上的斜板、转动连接与斜板的螺纹杆以及用于驱动螺纹杆转动的第五电机，所述的螺纹杆上设置有与其螺纹连接的活动块，所述的活动块上设置有可水平滑动于活动块的成型杆，所述的斜板上还设置有可调节成型杆与成型模具内壁间距的平移组件，所述的加工室内设置有将成型模具的开口朝自动上料组件一侧侧翻的翻转组件。

3、在上述的一种石英坩埚自动上料成型装置中，所述的平移组件包括设置在斜板上的限位导轨，限位滑轨内滑动连接有滑动块，所述的滑动块上设置有套管，所述的成型杆的上端设置有套管内且上下滑动于套管，所述的斜板上设置有与滑动块相连接的第三驱动气缸。

4、在上述的一种石英坩埚自动上料成型装置中，所述的活动块的一端设置有活动槽，所述的活动槽内设置有可水平滑动于活动槽的卡接块。

5、在上述的一种石英坩埚自动上料成型装置中，所述的自动上料组件包括设置在加工室一侧的供料箱，所述的供料箱内设置有用于抽取石英砂的泵体，所述的泵体一侧设置有输料管，所述的输料管的另一端设置有喷头，所述的水平支撑板上设置有用于控制喷头移动的机械夹爪。

6、在上述的一种石英坩埚自动上料成型装置中，所述的输料管上还设置有电磁阀。

7、在上述的一种石英坩埚自动上料成型装置中，所述的翻转组件包括滑移底座，所述的滑移底座上竖直设置有第一安装板，所述的第一安装板之间转动连接有第一转动轴，所述的第一安装板的上设置有用于驱动第一转动轴转动的第一电机，所述的第一电机的输出端与第一转动轴键连接，所述的第一转动轴上设置有翻转架，所述的翻转架设置在第一转动轴的两端，两个所述的翻转架上设置有固定板，所述的固定板通过设置在两侧的短杆固定固定在翻转架上，所述的固定板上转动连接有旋转轴，成型模具设置在旋转轴上，所述的固定板的底部设置有用于驱动旋转轴转动的第二电机。

8、在上述的一种石英坩埚自动上料成型装置中，所述的成型杆的上端还设置限位片，限位片的设置能够避免成型杆从套管中脱出。

9、与现有技术相比，本发明通过设置自动上料组件和自动成型组件，石英砂倒入储料箱后能够实现自动上料和定型等操作，从而实现对石英坩埚的自动化生产，减少了传统需要人工上料、定型等操作，从而减少了人工成本，提高生产效率，同时通过设置平移组件，工作人员能够根据所需石英坩埚的厚度，通过调节成型杆的位置来调节成型杆与成型模具之间的间距，从而控制成型后石英坩埚的厚度。

技术特征：

1.一种石英坩埚自动上料成型装置，包括加工室(1)和设置在加工室(1)内的成型模具(2)，其特征在于，所述的加工室(1)的侧壁上设置有将石英砂自动抽入成型模具(2)内的自动上料组件(9)，所述的加工室(1)的侧壁设置有水平支撑板(94)，所述的自动成型组件(10)包括设置在水平支撑板(94)上的斜板(101)、转动连接与斜板(101)的螺纹杆(102)以及用于驱动螺纹杆(102)转动的第五电机(107)，所述的螺纹杆(102)上设置有与其螺纹连接的活动块(103)，所述的活动块(103)上设置有可水平滑动于活动块(103)的成型杆(106)，所述的斜板(101)上还设置有可调节成型杆(106)与成型模具(2)内壁间距的平移组件(11)，所述的加工室(1)内设置有将成型模具(2)的开口朝自动上料组件(9)一侧侧翻的翻转组件(3)。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚自动上料成型装置，其特征在于：所述的平移组件(11)包括设置在斜板(101)上的限位导轨(111)，限位滑轨内滑动连接有滑动块(112)，所述的滑动块(112)上设置有套管(113)，所述的成型杆(106)的上端设置有套管(113)内且上下滑动于套管(113)，所述的斜板(101)上设置有与滑动块(112)相连接的第三驱动气缸(114)。

3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚自动上料成型装置，其特征在于：所述的活动块(103)的一端设置有活动槽(104)，所述的活动槽(104)内设置有可水平滑动于活动槽(104)的卡接块(105)。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚自动上料成型装置，其特征在于：所述的自动上料组件(9)包括设置在加工室(1)一侧的供料箱(91)，所述的供料箱(91)内设置有用于抽取石英砂的泵体(97)，所述的泵体(97)一侧设置有输料管(92)，所述的输料管(92)的另一端设置有喷头(93)，所述的水平支撑板(94)上设置有用于控制喷头(93)移动的机械夹爪(95)。

5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚自动上料成型装置，其特征在于：所述的输料管(92)上还设置有电磁阀(96)。

6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚自动上料成型装置，其特征在于：所述的翻转组件(3)包括滑移底座(31)，所述的滑移底座(31)上竖直设置有第一安装板(32)，所述的第一安装板(32)之间转动连接有第一转动轴(33)，所述的第一安装板(32)的上设置有用于驱动第一转动轴(33)转动的第一电机(34)，所述的第一电机(34)的输出端与第一转动轴(33)键连接，所述的第一转动轴(33)上设置有翻转架(35)，所述的翻转架(35)设置在第一转动轴(33)的两端，两个所述的翻转架(35)上设置有固定板(36)，所述的固定板(36)通过设置在两侧的短杆固定固定在翻转架(35)上，所述的固定板(36)上转动连接有旋转轴(37)，成型模具(2)设置在旋转轴(37)上，所述的固定板(36)的底部设置有用于驱动旋转轴(37)转动的第二电机(38)。

7.根据权利要求1所述的一种石英坩埚自动上料成型装置，其特征在于：所述的成型杆(106)的上端还设置限位片(16)。

技术总结
本发明涉一种石英坩埚自动上料成型装置，包括加工室和设置在加工室内的成型模具，其特征在于，所述的加工室的侧壁上设置有将石英砂自动抽入成型模具内的自动上料组件，所述的加工室的侧壁设置有水平支撑板，所述的自动成型组件包括设置在水平支撑板上的斜板、转动连接与斜板的螺纹杆以及用于驱动螺纹杆转动的第五电机，所述的螺纹杆上设置有与其螺纹连接的活动块，所述的活动块上设置有可水平滑动于活动块的成型杆，所述的斜板上还设置有可调节成型杆与成型模具内壁间距的平移组件，本发明通过设置平移组件，工作人员能够根据所需石英坩埚的厚度，通过调节成型杆的位置来调节成型杆与成型模具之间的间距，从而控制成型后石英坩埚的厚度。

技术研发人员：陶飞,周勇,吴伟华,毛炳权
受保护的技术使用者：浙江美晶新材料股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12