一种炉盖隔水条的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，尤其是一种炉盖隔水条。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉由提拉头、副室、炉盖、炉筒、下炉筒、底座机架、坩埚下传动装置、分水器已经水路布置、氩气管道布置、真空泵以及真空除尘装置、电源以及电控柜构成。
3.单晶炉炉盖包括外封头和内封头，外封头设置在内封头外侧，外封头和内封头之间设置有水道，单晶炉的工作环境是高温高压的，散热不及时会有安全隐患，严重的甚至可能产生爆炸，现有炉盖中的水道设计层数太少，散热效率不高且操作人员在进行观察操作时极易被观察视窗烫伤，给操作人员带来了很大的安全隐患。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是：提供一种散热效果好、降低操作人员安全隐患的一种炉盖隔水条。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：包括炉盖内封板，所述炉盖内封板为倒扣的碗状，所述炉盖内封板中部设置有第一安装孔，所述炉盖内封板上设置有隔水条组，所述隔水条组焊接在炉盖内封板的表面，所述隔水条组包括第一隔水条，所述第一隔水条一端与第一安装孔连接，所述第一隔水条另一端依次连接第二安装孔、第三安装孔、第四安装孔、第五安装孔以及第六安装孔，所述炉盖内封板边缘设置有定位阶梯。通过设置隔水条组，隔水条组形成水道，冷却水通过水管进入水道，对炉盖进行冷却散热，避免单晶炉内部温度过高产生安全隐患，同时避免安装在炉盖内的部件应温度过高导致的玻璃破裂的问题，保护炉盖内的部件，通过设置定位阶梯式炉盖内封板方便与外盖连接密封，优选的定位阶梯上还可以设置定位孔用于固定炉盖内封板与外盖，防止水流窜出。
6.进一步的，所述第一安装孔为颈部内筒安装口，所述第二安装孔为加料提升口，所述第三安装孔为观察窗口，所述第四安装孔为红外线检测装置，所述第五安装孔为水冷屏提升口，所述第六安装孔为相机安装口。
7.较佳的，所述观察窗口的形状为长椭圆形，所述观察窗口设置于所述颈部内筒安装口下方，所述观察窗口为双层结构，所述观察窗内层为石英玻璃，所述观察窗口外层为镀金玻璃。镀金玻璃对热辐射和红外线的反射能力强，确保单晶炉内的高温不会对观察人员产生损害。
8.进一步的，所述红外线检测装置设置于水冷屏提升口与观察窗口之间，所述红外线检测装置为红外测温仪。实时监测炉体内晶体生长面的温度和炉体内的温度，使生长出的单晶体质量更高。
9.较佳的，所述相机安装口设置于红外线检测装置一侧，所述相机安装口内设置有
ccd相机。通过ccd相机拍出的图片测量出的炉体液面距离像素值和单晶棒直径像素值，来换算实际的液位及单晶棒直径，实现单晶硅生产过程的自动化、智能化控制，提高单晶棒的等径生成质量，以提升半导体行业的生产效率。
10.进一步的，所述第一隔水条呈螺旋形分布在炉盖内封板的圆周上，所述第一隔水条为不锈钢板，所述第一隔水条上设置有扰流板。通过将第一隔水条设置成螺旋型，延长冷却水流流通时间，增强散热效果，通过设置扰流板减缓冷却水流速，提高冷却效果。
11.较佳的，所述水冷屏提升口外侧的第一隔水条设置有缺口，所述缺口通过第二隔水条连接。
12.进一步的，所述第一隔水条与第二隔水条垂直于炉盖内封板的表面。防止水流溢出，便于和外盖体连接。
13.较佳的，所述定位阶梯上还设置有rc接头，相邻所述rc接头相对于炉盖内封板的圆心间隔4.5
°
。通过设置rc接头连接进水管和出水管进行水冷散热，有效降低炉体内部温度，防止内部部件损坏。
14.进一步，所述接头连接有进水管，所述进水管与第一隔水条连通，所述远离进水管一侧设置有出水管，所述进水管及出水管外端与供水设备连通。
15.采用本实用新型的技术方案的有益效果是：通过设置隔水条组，隔水条组形成水道，冷却水通过水管进入水道，对炉盖进行冷却散热，避免单晶炉内部温度过高产生安全隐患，同时降低炉盖内部件的温度，使得操作者不会被烫伤，降低操作人员的安全隐患。
16.通过将第一隔水条设置成螺旋型，延长冷却水流流通时间，增强散热效果，通过设置扰流板减缓冷却水流速，提高冷却效果。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
18.图1为本实用新型所述的一种炉盖隔水条的正面结构示意图；
19.图2为本实用新型所述的一种炉盖隔水条的三维结构示意图；
20.图3为本实用新型所述的一种炉盖隔水条的俯视图。
具体实施方式
21.现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。本实用新型利用结构示意图等进行详细描述，示意图只是实例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间。
22.参照图1~图3，本实用新型公开了一种炉盖隔水条，包括：炉盖内封板100，所述炉盖内封板100为倒扣的碗状，所述炉盖内封板100中部设置有第一安装孔101，所述炉盖内封板100上设置有隔水条组200，所述隔水条组200焊接在炉盖内封板100的表面，所述隔水条组200包括第一隔水条201，所述第一隔水条201一端与第一安装孔101连接，所述第一隔水
条201另一端依次连接第二安装孔102、第三安装孔103、第四安装孔104、第五安装孔105以及第六安装孔106，所述炉盖内封板100边缘设置有定位阶梯300。通过设置隔水条组200，隔水条组200形成水道，冷却水通过水管进入水道，对炉盖进行冷却散热，避免单晶炉内部温度过高产生安全隐患，同时降低炉盖内部件的温度，使得操作者不会被烫伤，降低操作人员的安全隐患，避免安装在炉盖内的部件应温度过高导致的玻璃破裂的问题，保护炉盖内的部件，通过设置定位阶梯300便于炉盖内封板100方便与外盖连接密封，优选的定位阶梯300上还可以设置定位孔用于固定炉盖内封板100和外盖，防止水流窜出。
23.进一步，所述第一安装孔101为颈部内筒安装口101a，所述第二安装孔102为加料提升口102a，所述第三安装孔103为观察窗口103a，所述第四安装孔104为红外线检测装置104a，所述第五安装孔105为水冷屏提升口105a，所述第六安装孔106为相机安装口106a。
24.较佳的，所述观察窗口103a的形状为长椭圆形，所述观察窗口103a设置于所述颈部内筒安装口101a下方，所述观察窗口103a为双层结构，所述观察窗103a内层为石英玻璃，所述观察窗口103a外层为镀金玻璃。镀金玻璃对热辐射和红外线的反射能力强，确保单晶炉内的高温不会对观察人员产生损害。
25.进一步，所述红外线检测装置104a设置于水冷屏提升口105a与观察窗口103a之间，所述红外线检测装置104a为红外测温仪。实时监测炉体内晶体生长面的温度和炉体内的温度，使生长出的单晶体质量更高。
26.较佳的，所述相机安装口106a设置于红外线检测装置104a一侧，所述相机安装口106a内设置有ccd相机。通过ccd相机拍出的图片测量出的炉体液面距离像素值和单晶棒直径像素值，来换算实际的液位及单晶棒直径，实现单晶硅生产过程的自动化、智能化控制，提高单晶棒的等径生成质量，以提升半导体行业的生产效率。
27.进一步，所述第一隔水条201呈螺旋形分布在炉盖内封板100的圆周上，所述第一隔水条201为不锈钢板，所述第一隔水条201上设置有扰流板202。通过将第一隔水条设置成螺旋型，延长冷却水流流通时间，增强散热效果，通过设置扰流板减缓冷却水流速，提高冷却效果。
28.较佳的，所述水冷屏提升口105a外侧的第一隔水条201设置有缺口，所述缺口通过第二隔水条203连接。
29.进一步，所述第一隔水条201与第二隔水条203垂直于炉盖内封板100的表面。防止水流溢出，便于和外盖体连接。
30.较佳的，所述定位阶梯300上还设置有rc接头301，相邻所述rc接头301相对于炉盖内封板100的圆心间隔4.5
°
。通过设置rc接头301连接进水管和出水管进行水冷散热，有效降低炉体内部温度，防止内部部件损坏。
31.进一步，所述rc接头301连接有进水管，所述进水管与第一隔水条201连通，所述远离进水管一侧设置有出水管，所述进水管及出水管外端与供水设备连通。
32.以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。