一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖的制作方法

1.本实用新型属于石英坩埚技术领域，尤其是涉及一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖。


背景技术：

2.在太阳能光伏制造行业，直拉法制造硅单晶的各项工艺技术日益完善，趋向成熟。将石英坩埚放入单晶炉时，通常采用真空埚盖吊装的方式，将石英坩埚与真空埚盖紧紧结合在一起。不同规格的石英坩埚需要适配不同尺寸的真空埚盖，造成生产现场真空埚盖的数量和种类繁多，增加了生产成本和操作难度。由于多晶硅料外形不规则，装满后原料高度往往高于石英坩埚上沿水平线，操作不便。目前颗粒硅料的使用越来越广泛，颗粒硅料装料后，原料高度处在石英坩埚上沿水平线下方，更有利于真空埚盖的吊装。现针对颗粒硅料的吊装提供一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖。


技术实现要素：

3.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖，有效的解决了颗粒硅料吊装时，真空埚盖种类繁多的问题。
4.本实用新型采用的技术方案是：一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖，包括：
5.坩埚盖体，顶部设有吊环用于吊装，所述吊环一侧设有真空阀；
6.吸附部，设置在所述坩埚盖体底部，所述真空阀将石英坩埚内抽成真空，使所述吸附部可与不同尺寸的石英坩埚吸附。
7.进一步，所述吸附部沿所述坩埚盖体底部径向朝外延伸形成吸附平面，所述吸附平面与石英坩埚进行吸附。
8.进一步，所述吸附平面上设有限位凸起。
9.进一步，所述吸附平面上设有密封垫。
10.进一步，所述吸附平面上设有凹槽，所述凹槽内设置所述密封垫。
11.进一步，所述吊环设置在所述坩埚盖体顶部中央。
12.进一步，所述坩埚盖体顶部一侧设有把手，所述把手上设有防滑层。
13.进一步，所述坩埚盖体顶部设有气压表。
14.本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，吊装颗粒硅料时，一种真空埚盖可适用于多种尺寸的石英坩埚，结构简单，降低了生产成本，操作便捷。
附图说明
15.图1是本实用新型实施例一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖的一种结构示意图。
16.图2是本实用新型实施例一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖的一种结构示意图。
17.图3是本实用新型实施例一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖吸附平面与密封垫的连接图。
18.图中：
19.1、坩埚盖体
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2、吸附部
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3、吸附平面
20.4、限位凸起
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5、把手
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6、吊环
21.7、真空阀
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8、气压表
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9、原料
22.10、石英坩埚
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11、密封垫
具体实施方式
23.本实用新型实施例提供了一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖，下面结合附图对本实用新型的实施例做出说明。
24.如图1和图2所示，本实用新型实施例一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖，包括坩埚盖体1和吸附部2，坩埚盖体1顶部设置吊环6和真空阀7。吊环6用于石英坩埚10的吊装，通过真空阀7作用使石英坩埚10内部抽成负压，在内外压差的作用下，石英坩埚10与真空埚盖紧紧结合在一起。吸附部2设置在坩埚盖体1底部，吸附部2可与不同尺寸的石英坩埚10进行吸附。坩埚盖体1的形状不做限制，盖体顶部可以为圆弧形，也可以为平面。
25.具体的，吸附部2沿坩埚盖体1底部径向朝外延伸形成吸附平面3，吸附平面3为光滑平面，真空阀7将石英坩埚10内部抽成负压后，光滑的吸附平面3与石英坩埚10进行吸附，从而实现石英坩埚10的吊装。在某些实施例中，吸附平面3为环形平面，设置在坩埚盖体1底部，环形的吸附平面3可与不同尺寸的坩埚进行吸附。不设置任何限位凸起4，即没有任何级别限制时，可满足一定范围内任意不同尺寸坩埚的吊装需求，更好的适配不同尺寸的石英坩埚10。
26.具体的，在某些实施例中，吸附平面3上设有限位凸起4。限位凸起4的数量不做限制。在某些实施例中，在吸附平面3的最外侧圆周设有限位凸起4，将坩埚盖体1盖在坩埚上时可进行粗略限位。在某些实施例中，在吸附平面3上设置有多个限位凸起4，限位凸起4沿圆环吸附平面径向间隔设置。限位凸起4将吸附平面分割为对应不同尺寸石英坩埚的吸附平面。一个坩埚盖体1可适配多个不同尺寸的石英坩埚10。相对于不设限位凸起4的坩埚盖体1，设置限位凸起4的坩埚盖体1更易于与石英坩埚10对中，不过适配的石英坩埚10种类较少。
27.优选的，吸附平面3上设有密封垫11。为了吸附部2与石英坩埚10更好的吸附，保证密封性，在吸附平面3上安装密封垫11，使吸附部2更好的与石英坩埚10进行吸附，保证密封性，避免漏气，保证吊装的安全性。在某些实施例中，密封垫11为橡胶密封垫11。
28.优选的，如图3所示，吸附平面3上设有凹槽，密封垫11设置在凹槽内。在某些实施例中，吸附平面3上设有凹槽，密封垫11的截面形状为t型，密封垫11竖直端卡在凹槽内，水平端与吸附平面3接触，增大密封垫11与吸附平面3的接触面积，进一步提高了密封性。
29.优选的，吊环6设置在坩埚盖体1的顶部中央，使吊装更加平稳。
30.优选的，为了便于操作，在坩埚盖体1顶部一侧设有把手5，把手5上设有防滑层，在某些实施例中，把手5上设置橡胶防滑层，防滑层上设有波浪条纹。
31.优选的，为了便于抽真空，确保吸附层与坩埚完全吸附，在坩埚盖体1顶部设置气
压表8。在进行抽真空时，通过气压表8随时注意内部气压。
32.实施例一：如图1所示，一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖，包括坩埚盖体1和吸附部2。坩埚盖体1顶部为圆弧形，坩埚盖体1顶部中央安装有吊环6，用于吊装。在吊环6的一侧设有真空阀7和气压表8，在吊环6的另外一侧设有把手5。吸附部2沿坩埚盖体1底部径向朝外延伸形成环形吸附平面3，在吸附平面3的最外侧圆周设有限位凸起4。吸附平面3上设有凹槽，凹槽内安装有橡胶密封垫11，密封垫11截面为t型，竖直端卡在凹槽内，水平端与吸附平面3接触。把手5上设置橡胶防滑层，防滑层上设有波浪条纹。通过真空阀7门将石英坩埚10内部抽成负压，石英坩埚10与吸附部2紧紧结合在一起，可实现多种不同尺寸石英坩埚10无级别的吊装。
33.实施例二：如图2所示，一种适用于多种尺寸石英坩埚的真空埚盖，包括坩埚盖体1和吸附部2。坩埚盖体1顶部为平面，坩埚盖体1顶部中央安装有吊环6，用于吊装。在吊环6的一侧设有真空阀7和气压表8，在吊环6的另外一侧设有把手5。吸附部2沿坩埚盖体1底部径向朝外延伸形成环形吸附平面3，吸附平面3上设置三个限位凸起4，三个限位凸起4沿吸附平面3圆环径向间隔分布。限位凸起4将吸附平面3分割为对应不同尺寸石英坩埚的吸附平面。每个限位凸起4之间的吸附平面3上设有橡胶密封垫11，把手5上设置橡胶防滑层，防滑层上设有波浪条纹。通过真空阀7门将石英坩埚10内部抽成负压，石英坩埚10与吸附部2紧紧结合在一起，可实现三种不同尺寸石英坩埚10的吊装。
34.本实用新型具有的优点和积极效果是：
35.通过设置吸附部2，可使一个真空坩埚盖实现多种不同尺寸石英坩埚10的吊装，通过设置密封垫11，保证了密封性，吊装的安全性。颗粒硅料在装料后原料9高度与石英坩埚10上沿水平线持平甚至低于水平线，真空坩埚盖与颗粒硅料无接触，操作便捷，结构简单。
36.以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。