一种高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉制备技术领域，具体为一种高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶硅是硅的单晶体，其具有基本完整的点阵结构，由于单晶硅在不同的方向具有不同的性质(各向异性)，是一种良好的半导体材料，制备单晶硅的主要方法是直拉法，从而需要通过单晶炉进行制备加工，并且在完成制备后需要通过取晶运晶装置进行搬运移动。
3.目前直拉式单晶炉用取晶运晶装置在对晶棒进行搬运移动时稳定性低，不便对晶棒牢固的固定在运晶架内，从而导致在运晶时易出现晃动的情况，从而降低了运晶的稳定。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置，具备搬运稳定等优点，解决了上述背景技术中的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述搬运稳定的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置，包括运输架，所述运输架的顶部固定连接有电机箱，所述电机箱的内壁固定连接有电机，所述电机的输出轴通过联轴器固定连接有丝杆，所述丝杆的外壁活动连接有活动块，所述活动块的外壁固定连接有安装架。
8.所述安装架的顶部固定连接有液压缸，所述液压缸的输出端固定连接有运晶架，所述运晶架的外壁固定连接有定位带，所述定位带的顶部固定连接有定位垫，所述运晶架的外壁固定连接有定位柱，所述定位柱的一端固定连接有限位块，所述定位柱的外壁活动连接有弹力环，所述弹力环的外壁固定连接有弹力带，能够将晶棒稳定的固定在运晶架上，并且在运晶时提高稳定性，避免固定不牢导致晶棒在移动时出现晃动产生不稳的情况，进一步提高了取晶运晶装置的使用效果，且满足了使用需求。
9.优选的，所述运输架的一侧开设有凹槽，所述凹槽的内壁活动连接有滑块，且滑块的一侧与活动块的外壁固定连接，所述运输架的顶部固定连接有伸缩套管，且伸缩套管的一端与安装架的底部固定连接，能够当液压缸带动运晶架进行移动时起到支撑的作用，并且起到限位效果，使其能够稳定的带动运晶架向上或者向下移动，避免在调节时出现晃动产生不稳的情况。
10.优选的，所述运输架的底部固定连接有万向轮，所述运输架的一侧固定连接有把手，且把手的外壁固定连接有海绵防磨套，能够当使用者握住把手时提高之间的贴合度，同时提高手部的舒适度，避免摩擦。
11.优选的，所述运输架的内顶壁设置有轴承，且轴承的内圈与丝杆的一端固定连接，且运输架通过轴承与丝杆活动连接，能够对丝杆起到很好的支撑作用，从而提高丝杆转动时的稳定。
12.优选的，所述定位垫的直径小于定位带的直径，且定位垫为弧形海绵定位垫，能够对晶棒起到很好的定位作用，并且避免与晶棒造成摩擦。且提高固定时的稳定。
13.优选的，所述定位带的顶部开设有安装槽，且定位带通过安装槽与定位柱活动连接，能够稳定的将晶棒固定在运晶架内，从而提高搬运移动时的稳定，避免产生晃动以及不稳。
14.优选的，所述弹力带的一端与运晶架的外壁固定连接，所述弹力带和弹力环分别为橡胶弹力带和橡胶弹力环，能够稳定的将晶棒固定在运晶架内，从而提高搬运移动时的稳定，避免产生晃动以及不稳。
15.(三)有益效果
16.与现有技术相比，本实用新型提供了一种高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置，具备以下有益效果：
17.1、该高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置，通过定位带、定位垫、安装槽、定位柱、限位块、弹力环和弹力带，能够将晶棒稳定的固定在运晶架13上，并且在运晶时提高稳定性，避免固定不牢导致晶棒在移动时出现晃动产生不稳的情况，进一步提高了取晶运晶装置的使用效果，且满足了使用需求。
18.2、该高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置，通过凹槽、滑块和伸缩套管，能够当液压缸带动运晶架进行移动时起到支撑的作用，并且起到限位效果，使其能够稳定的带动运晶架向上或者向下移动，避免在调节时出现晃动产生不稳的情况。
附图说明
19.图1为本实用新型结构示意图；
20.图2为本实用新型结构示意图；
21.图3为本实用新型结构示意图；
22.图4为本实用新型结构示意图；
23.图5为本实用新型结构示意图。
24.图中：1、运输架；2、万向轮；3、把手；4、电机箱；5、电机；6、丝杆；7、凹槽；8、滑块；9、活动块；10、安装架；11、伸缩套管；12、液压缸；13、运晶架；14、定位带；15、定位垫；16、安装槽；17、定位柱；18、限位块；19、弹力环；20、弹力带。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.实施例1
27.本实用新型所提供的高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置的较佳实施例如图1
至图5所示：一种高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置，包括运输架1，运输架1的顶部固定连接有电机箱4，电机箱4的内壁固定连接有电机5，电机5的输出轴通过联轴器固定连接有丝杆6，丝杆6的外壁活动连接有活动块9，活动块9的外壁固定连接有安装架10。
28.安装架10的顶部固定连接有液压缸12，液压缸12的输出端固定连接有运晶架13，运晶架13的外壁固定连接有定位带14，定位带14的顶部固定连接有定位垫15，运晶架13的外壁固定连接有定位柱17，定位柱17的一端固定连接有限位块18，定位柱17的外壁活动连接有弹力环19，弹力环19的外壁固定连接有弹力带20，能够将晶棒稳定的固定在运晶架13上，并且在运晶时提高稳定性，避免固定不牢导致晶棒在移动时出现晃动产生不稳的情况，进一步提高了取晶运晶装置的使用效果，且满足了使用需求。
29.本实施例中，运输架1的一侧开设有凹槽7，凹槽7的内壁活动连接有滑块8，且滑块8的一侧与活动块9的外壁固定连接，运输架1的顶部固定连接有伸缩套管11，且伸缩套管11的一端与安装架10的底部固定连接，能够当液压缸12带动运晶架13进行移动时起到支撑的作用，并且起到限位效果，使其能够稳定的带动运晶架13向上或者向下移动，避免在调节时出现晃动产生不稳的情况。
30.实施例2
31.在实施例1的基础上，本实用新型所提供的高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置的较佳实施例如图1至图5所示：运输架1的底部固定连接有万向轮2，运输架1的一侧固定连接有把手3，且把手3的外壁固定连接有海绵防磨套，能够当使用者握住把手3时提高之间的贴合度，同时提高手部的舒适度，避免摩擦。
32.本实施例中，运输架1的内顶壁设置有轴承，且轴承的内圈与丝杆6的一端固定连接，且运输架1通过轴承与丝杆6活动连接，能够对丝杆6起到很好的支撑作用，从而提高丝杆6转动时的稳定。
33.进一步的，定位垫15的直径小于定位带14的直径，且定位垫15为弧形海绵定位垫，能够对晶棒起到很好的定位作用，并且避免与晶棒造成摩擦。且提高固定时的稳定。
34.更进一步的，定位带14的顶部开设有安装槽16，且定位带14通过安装槽16与定位柱17活动连接，能够稳定的将晶棒固定在运晶架13内，从而提高搬运移动时的稳定，避免产生晃动以及不稳。
35.除此之外，弹力带20的一端与运晶架13的外壁固定连接，弹力带20和弹力环19分别为橡胶弹力带和橡胶弹力环，能够稳定的将晶棒固定在运晶架13内，从而提高搬运移动时的稳定，避免产生晃动以及不稳。
36.在使用时，将晶棒放置在运晶架13内，然后在将定位带14上的安装槽16套在定位柱17外，并使定位带14和内部的地位内垫15对晶棒进行限位固定，在拉动弹力带20延伸长度使其弹力环19能够固定在定位柱17外，并且定位柱17外设置有限位块18，能够对弹力环19起到限位防脱的作用，并且使定位带14能够稳定的固定在运晶架13外，同时能够将晶棒牢固的安装在运晶架13内进行运晶工作，从而有效避免晶棒在搬运移动时出现晃动产生不稳的情况。
37.综上所述，该高效生产直拉式单晶炉用取晶运晶装置，能够将晶棒稳定的固定在运晶架13上，并且在运晶时提高稳定性，避免固定不牢导致晶棒在移动时出现晃动产生不稳的情况，同时当液压缸12带动运晶架13进行移动时起到支撑的作用，并且起到限位效果，
使其能够稳定的带动运晶架13向上或者向下移动，避免在调节时出现晃动产生不稳的情况。
38.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
39.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。