一种电弧坩埚制造机主机基座装置的制作方法

文档序号:33663069发布日期:2023-03-29 11:11阅读:40来源:国知局
一种电弧坩埚制造机主机基座装置的制作方法

1.本实用新型涉及造机主机基座技术领域,尤其涉及一种电弧坩埚制造机主机基座装置。


背景技术:

2.石英坩埚是用高纯石英砂经过高温熔化形成的一种玻璃态器皿,在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器,坩埚制造机用于制造石英坩埚,它是由加热电源、升降机构、往复倾动台三大机构组成,升降机构由基座,电极升降机构和遮热板升降机构构成,基座一般通过膨胀螺丝固定在地基上,主机架与主机形成一定的角度焊接在基座上,熔制过程中需要热源的位置始终停留在坩埚的中心位置。
3.熔制角度不能微调,安装精度要求较高,前后发生变化时主机不能移动,影响对电极使用寿命和坩埚熔制的质量,降低产品合格率,生产成本高。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种电弧坩埚制造机主机基座装置。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种电弧坩埚制造机主机基座装置,包括底板,所述底板顶壁左侧固定连接有电机一,所述底板顶壁固定连接有底座,所述底座顶部固定连接有电机二,所述电机一输出端固定连接有锥齿轮三,所述锥齿轮三外侧壁啮合连接有联动齿轮,所述联动齿轮外侧壁啮合连接有锥齿轮二,所述锥齿轮二顶部转动连接有第一平齿轮,所述第一平齿轮顶部转动连接有锥齿轮一,所述锥齿轮一外侧壁啮合连接有侧轮,所述电机二输出端固定连接有第二平齿轮,所述第二平齿轮外侧壁顶部固定连接有第三平齿轮,所述底板顶部左侧固定连接有侧板三,所述侧板三右侧壁固定连接有环形轮。
6.作为上述技术方案的进一步描述:
7.所述底板顶部设置有顶板,所述第一平齿轮与第三平齿轮均转动连接在顶板顶部,所述底板顶部右侧固定连接有侧板二。
8.作为上述技术方案的进一步描述:
9.所述锥齿轮二与锥齿轮三之间设置为平行关系,所述侧轮外侧壁前侧转动连接有支撑杆。
10.作为上述技术方案的进一步描述:
11.所述底板左侧壁固定连接有侧板一,所述侧板一前侧壁底部固定连接有底篮,所述侧板一前侧壁中部固定连接有斜角支撑座。
12.作为上述技术方案的进一步描述:
13.所述斜角支撑座外侧壁滑动连接有滑条,所述滑条顶部固定连接有置物台,所述置物台顶部设置有高温防熔板。
14.作为上述技术方案的进一步描述:
15.所述支撑杆前端固定连接有连接块,所述连接块前侧壁固定连接有工作台。
16.作为上述技术方案的进一步描述:
17.所述锥齿轮二贯穿第一平齿轮并延伸至锥齿轮一底部,所述联动齿轮底部固定连接在环形轮内侧壁,所述第一平齿轮外侧壁与第三平齿轮相啮合,所述第二平齿轮与环形轮相啮合,所述锥齿轮一与侧轮相啮合。
18.本实用新型具有如下有益效果:
19.1、本实用新型中,首先通过侧轮、锥齿轮一、第三平齿轮、第二平齿轮、锥齿轮二、锥齿轮三、联动齿轮、环形轮之间的配合达到了转向的效果,解决了熔制角度不能微调,安装精度要求较高,前后发生变化时主机不能移动,影响对电极使用寿命和坩埚熔制的质量,降低产品合格率,生产成本高的问题。
20.2、本实用新型中,通过高温防熔板、置物台、斜角支撑座、滑条之间的配合达到了可更换的效果,解决了工作平台不能适应所有大小的石英坩埚进行加工。
附图说明
21.图1为本实用新型提出的一种电弧坩埚制造机主机基座装置的立体示意图;
22.图2为本实用新型提出的一种电弧坩埚制造机主机基座装置的正视图;
23.图3为本实用新型提出的一种电弧坩埚制造机主机基座装置的滑轨示意图;
24.图4为图2中a处放大图。
25.图例说明:
26.1、底板;2、侧板一;3、底篮;4、斜角支撑座;5、高温防熔板;6、置物台;7、工作台;8、支撑杆;9、侧板二;10、滑条;11、连接块;12、锥齿轮一;13、侧轮;14、第一平齿轮;15、顶板;16、侧板三;17、锥齿轮二;18、联动齿轮;19、环形轮;20、锥齿轮三;21、电机一;22、底座;23、电机二;24、第二平齿轮;25、第三平齿轮。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
28.参照图1-4,本实用新型提供的一种实施例:一种电弧坩埚制造机主机基座装置,包括底板1,底板1顶壁左侧固定连接有电机一21,电机一21带动锥齿轮三20旋转同时侧边联动齿轮18发生联动,底板1顶壁固定连接有底座22,底座22顶部固定连接有电机二23,当底座22顶部的电机二23输出端带动第二平齿轮24旋转,电机一21输出端固定连接有锥齿轮三20,带动锥齿轮三20顶部的锥齿轮二17发生转动,锥齿轮三20外侧壁啮合连接有联动齿轮18,联动齿轮18外侧壁啮合连接有锥齿轮二17,锥齿轮二17顶部转动连接有第一平齿轮14,锥齿轮二17顶部的锥齿轮一12发生转动时侧边的侧轮13也发生转动,侧轮13上的支撑杆8可带动连接块11前端的工作台7进行左右旋转调节角度,第一平齿轮14顶部转动连接有锥齿轮一12,锥齿轮一12外侧壁啮合连接有侧轮13,电机二23输出端固定连接有第二平齿
轮24,第二平齿轮24与环形轮19相啮合,带动联动齿轮18在锥齿轮二17与锥齿轮三20外侧壁上做圆周运动,第二平齿轮24顶部第三平齿轮25与第一平齿轮14相啮合,从而带动支撑杆8前端连接块11上的工作台7进行圆周运动第二平齿轮24外侧壁顶部固定连接有第三平齿轮25,底板1顶部左侧固定连接有侧板三16,侧板三16右侧壁固定连接有环形轮19。
29.底板1顶部设置有顶板15,第一平齿轮14与第三平齿轮25均转动连接在顶板15顶部,底板1顶部右侧固定连接有侧板二9,锥齿轮二17与锥齿轮三20之间设置为平行关系,侧轮13外侧壁前侧转动连接有支撑杆8,底板1左侧壁固定连接有侧板一2,侧板一2前侧壁底部固定连接有底篮3,底篮3作为置物作用,侧板一2前侧壁中部固定连接有斜角支撑座4,使用此底座时可将置物台6进行更换,根据所加工坩埚大小进行更换,置物台6底部的滑条10在斜角支撑座4上滑动,斜角支撑座4外侧壁滑动连接有滑条10,滑条10顶部固定连接有置物台6,置物台6顶部设置有高温防熔板5,将其取出或安装,置物台6上部的高温防熔板5防止加工时因高温而损坏置物台6,支撑杆8前端固定连接有连接块11,连接块11前侧壁固定连接有工作台7,锥齿轮二17贯穿第一平齿轮14并延伸至锥齿轮一12底部,联动齿轮18底部固定连接在环形轮19内侧壁,第一平齿轮14外侧壁与第三平齿轮25相啮合,第二平齿轮24与环形轮19相啮合,锥齿轮一12与侧轮13相啮合。
30.工作原理:使用此底座时可将置物台6进行更换,根据所加工坩埚大小进行更换,置物台6底部的滑条10在斜角支撑座4上滑动,将其取出或安装,置物台6上部的高温防熔板5防止加工时因高温而损坏置物台6,底篮3作为置物作用,电机一21带动锥齿轮三20旋转同时侧边联动齿轮18发生联动,带动锥齿轮三20顶部的锥齿轮二17发生转动,锥齿轮二17顶部的锥齿轮一12发生转动时侧边的侧轮13也发生转动,侧轮13上的支撑杆8可带动连接块11前端的工作台7进行左右旋转调节角度,当底座22顶部的电机二23输出端带动第二平齿轮24旋转,第二平齿轮24与环形轮19相啮合,带动联动齿轮18在锥齿轮二17与锥齿轮三20外侧壁上做圆周运动,第二平齿轮24顶部第三平齿轮25与第一平齿轮14相啮合,从而带动支撑杆8前端连接块11上的工作台7进行圆周运动。
31.最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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