一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置的制作方法

本发明涉及碳化硅长晶炉送料，具体为一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置。

背景技术：

1、经检索公开号为cn207130359u的中国专利公开了一种碳化硅长晶炉。其包括设在长晶炉上部的炉盖、设在长晶炉内的坩埚，其特征是：炉盖上设有与长晶炉内部连通的安装座孔，在安装座孔上密封安装有密闭的隔离舱，隔离舱内设有加料管、可带动加料管上下移动的传动机构，加料管上端开口，其下端带有落料孔，隔离舱外部设有加料机构，加料机构包括落料管和可转动的加料仓，落料管的头端连接有落料仓，落料仓与落料管之间设有隔板，隔板带有弧形状的开口a，加料仓同轴设置在落料仓内，加料仓的底部与隔板相接触，加料仓的底部带有弧形状的开口b，加料仓的传动机构设置在落料仓的上部，落料管的下端穿过隔离舱伸入加料管内。

2、该碳化硅长晶炉虽然可以在加料时保证整体密封性，避免外界环境对长晶炉造成影响，但是在操作人员向炉体装料时，需要在伸向机架内部的炉体下盖上进行物料的排列和叠装，由于机架内部的空间非常狭小，在炉体下盖上直接装料时，需要多名操作人员同时进行，有限的操作空间使得操作人员的工作效率降低，劳动强度也大大增加，同时碳化硅长晶炉对炉内长晶原料的排列顺序要求较高，在装料时，物料需要按照一定顺序从上到下、从内到外精确排好，对物料在炉体内部的同心度要求较高。而机架内部的空间有限，并且长晶炉的炉体一般安装在机架上，炉口的位置较高，人工操作时，无法使用专用的定位工装来保证物料在炉体内的同心度等定位精度问题，因此，直接在炉体下盖装料，物料位置的精准度难以控制，为此我们提出一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置用于解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，包括安装板，所述安装板的两侧分别开设有若干安装槽口，所述安装板的一端固定连接支撑筒体的底部，所述支撑筒体的一侧开设有竖向滑口，所述竖向滑口的顶部连通有横向滑口，所述横向滑口开设在支撑筒体的顶部，所述支撑筒体内活动设有送料组件，所述送料组件固定连接活动环，所述活动环滑动套接在支撑筒体外，所述活动环的一侧外壁固定连接伸缩件的一端，所述伸缩件的另一端固定连接夹持机构，所述夹持机构的底部连接有放置盘。

3、优选的，所述送料组件包括螺杆、螺纹环、滑块、支撑块，所述螺杆的顶端转动连接支撑筒体的顶部内壁，所述螺杆的底端转动连接支撑筒体的底部内壁，所述螺杆外通过螺纹结构套接螺纹环，所述螺纹环滑动套设在支撑筒体内，所述螺纹环的一侧外壁固定连接滑块，所述滑块滑动连接竖向滑口，所述滑块远离螺纹环的一端底部固定连接支撑块，所述支撑块固定连接活动环的底壁。

4、优选的，所述滑块的宽度与横向滑口的开口宽度相等，所述滑块的高度与竖向滑口的开口宽度相等，所述螺杆与支撑筒体同心设置。

5、优选的，所述送料组件还包括从动锥齿轮、主动锥齿轮、转轴、手轮，所述从动锥齿轮固定套接在螺杆的底部，所述从动锥齿轮的一侧啮合连接主动锥齿轮，所述主动锥齿轮固定连接转轴，所述转轴转动连接支撑筒体的底部，所述转轴远离主动锥齿轮的一端固定连接手轮，所述手轮活动设在支撑筒体外。

6、优选的，所述伸缩件包括支撑板、活动板、通口、限位螺栓、活动腔，所述支撑板的一端固定连接活动环，所述支撑板的另一端开设有活动腔，所述活动腔内滑动套接活动板，所述活动板的一端固定连接夹持机构，所述活动板靠近活动环的一端通过螺纹结构连接限位螺栓，所述限位螺栓滑动设在通口内，所述通口开设在支撑板的顶端中部。

7、优选的，所述夹持机构包括筒体、松紧组件、圆盘、夹紧组件，所述筒体的外壁固定连接活动板的端部，所述筒体内滑动套接松紧组件，所述松紧组件的一端固定连接圆盘，所述圆盘活动设在筒体外，所述松紧组件的外侧滑动抵靠若干夹紧组件，所述夹紧组件活动设在筒体内。

8、优选的，所述松紧组件包括活动杆、弹簧、支撑环、圆台块、顶杆，所述活动杆滑动套接筒体的顶部，所述活动杆的底部固定套接支撑环，所述支撑环活动设在筒体内，所述支撑环的顶端固定连接弹簧，所述弹簧的顶端固定连接筒体的顶部内壁，所述活动杆的底端固定连接圆台块，所述圆台块的底端固定连接顶杆，所述圆台块滑动抵靠夹紧组件，所述活动杆、圆台块、顶杆和筒体同心设置。

9、优选的，所述夹紧组件圆周均布设置至少三个并且结构完全一致，所述夹紧组件包括圆槽、拉簧、卡爪部、连接杆，所述圆槽内凹设在筒体的内壁，所述圆槽内壁固定连接拉簧的一端，所述拉簧的另一端固定连接卡爪部的顶端，所述卡爪部转动连接连接杆，所述连接杆的两端分别转动连接筒体的内壁。

10、优选的，所述放置盘的中心开设有圆孔，所述圆孔的一端开设有环形槽，所述卡爪部包括上连杆、中连杆、连接孔、下连杆、卡块，所述上连杆的一端固定连接拉簧，所述上连杆的另一端固定连接中连杆，所述上连杆和中连杆之间贯穿设有连接孔，所述连接孔内转动套接连接杆，所述中连杆远离上连杆的一端固定连接下连杆，所述下连杆的底部侧壁固定连接卡块，所述下连杆抵靠圆孔，所述卡块卡接环形槽。

11、优选的，所述上连杆和中连杆朝向筒体圆心的夹角为钝角，所述中连杆和下连杆朝向筒体圆心的夹角大于180度并且夹角处设有圆角，所述中连杆和下连杆夹角处的圆角滑动抵靠圆台块的外壁，所述卡块为三棱柱结构，所述弹簧的弹力大于拉簧的拉力，所述圆台块与中连杆和下连杆夹角处之间接触的摩擦力小于拉簧的拉力。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、1、本发明提供的送料组件，以升降配合旋转的方式，同时横向滑口和竖向滑口的配合，限制旋转的角度，使装料、送料的位置更加固定且精准，同时可以适用炉口较高的碳化硅长晶炉，无需人工在攀爬操作；

14、2、本发明提供的夹持机构对放置盘进行夹紧支撑，同时放置盘位置固定，有利于提高装料时的物料排列精度和进入炉体内部的物料的同心度，还可以配合支撑筒体使送料组件旋转至碳化硅长晶炉的位置更加精准；

15、3、夹持机构配合碳化硅长晶炉炉体下盖的升降，对放置盘进行解锁脱离，使放置盘落至碳化硅长晶炉的炉体下盖的上，再由炉体下盖带动放置盘到达炉体内的指定位置，提高了物料的位置精度和进入炉体内的同心度，有利于制备出更高产率和质量的碳化硅晶体。

技术特征：

1.一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，包括安装板(1)，所述安装板(1)的两侧分别开设有若干安装槽口(11)，其特征在于：所述安装板(1)的一端固定连接支撑筒体(2)的底部，所述支撑筒体(2)的一侧开设有竖向滑口(22)，所述竖向滑口(22)的顶部连通有横向滑口(21)，所述横向滑口(21)开设在支撑筒体(2)的顶部，所述支撑筒体(2)内活动设有送料组件(7)，所述送料组件(7)固定连接活动环(3)，所述活动环(3)滑动套接在支撑筒体(2)外，所述活动环(3)的一侧外壁固定连接伸缩件(4)的一端，所述伸缩件(4)的另一端固定连接夹持机构(5)，所述夹持机构(5)的底部连接有放置盘(6)。

2.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，其特征在于：所述送料组件(7)包括螺杆(71)、螺纹环(72)、滑块(73)、支撑块(74)，所述螺杆(71)的顶端转动连接支撑筒体(2)的顶部内壁，所述螺杆(71)的底端转动连接支撑筒体(2)的底部内壁，所述螺杆(71)外通过螺纹结构套接螺纹环(72)，所述螺纹环(72)滑动套设在支撑筒体(2)内，所述螺纹环(72)的一侧外壁固定连接滑块(73)，所述滑块(73)滑动连接竖向滑口(22)，所述滑块(73)远离螺纹环(72)的一端底部固定连接支撑块(74)，所述支撑块(74)固定连接活动环(3)的底壁。

3.根据权利要求2所述的一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，其特征在于：所述滑块(73)的宽度与横向滑口(21)的开口宽度相等，所述滑块(73)的高度与竖向滑口(22)的开口宽度相等，所述螺杆(71)与支撑筒体(2)同心设置。

4.根据权利要求2所述的一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，其特征在于：所述送料组件(7)还包括从动锥齿轮(75)、主动锥齿轮(76)、转轴(77)、手轮(78)，所述从动锥齿轮(75)固定套接在螺杆(71)的底部，所述从动锥齿轮(75)的一侧啮合连接主动锥齿轮(76)，所述主动锥齿轮(76)固定连接转轴(77)，所述转轴(77)转动连接支撑筒体(2)的底部，所述转轴(77)远离主动锥齿轮(76)的一端固定连接手轮(78)，所述手轮(78)活动设在支撑筒体(2)外。

5.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，其特征在于：所述伸缩件(4)包括支撑板(41)、活动板(42)、通口(43)、限位螺栓(44)、活动腔(45)，所述支撑板(41)的一端固定连接活动环(3)，所述支撑板(41)的另一端开设有活动腔(45)，所述活动腔(45)内滑动套接活动板(42)，所述活动板(42)的一端固定连接夹持机构(5)，所述活动板(42)靠近活动环(3)的一端通过螺纹结构连接限位螺栓(44)，所述限位螺栓(44)滑动设在通口(43)内，所述通口(43)开设在支撑板(41)的顶端中部。

6.根据权利要求5所述的一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，其特征在于：所述夹持机构(5)包括筒体(51)、松紧组件(52)、圆盘(53)、夹紧组件(54)，所述筒体(51)的外壁固定连接活动板(42)的端部，所述筒体(51)内滑动套接松紧组件(52)，所述松紧组件(52)的一端固定连接圆盘(53)，所述圆盘(53)活动设在筒体(51)外，所述松紧组件(52)的外侧滑动抵靠若干夹紧组件(54)，所述夹紧组件(54)活动设在筒体(51)内。

7.根据权利要求6所述的一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，其特征在于：所述松紧组件(52)包括活动杆(521)、弹簧(522)、支撑环(523)、圆台块(524)、顶杆(525)，所述活动杆(521)滑动套接筒体(51)的顶部，所述活动杆(521)的底部固定套接支撑环(523)，所述支撑环(523)活动设在筒体(51)内，所述支撑环(523)的顶端固定连接弹簧(522)，所述弹簧(522)的顶端固定连接筒体(51)的顶部内壁，所述活动杆(521)的底端固定连接圆台块(524)，所述圆台块(524)的底端固定连接顶杆(525)，所述圆台块(524)滑动抵靠夹紧组件(54)，所述活动杆(521)、圆台块(524)、顶杆(525)和筒体(51)同心设置。

8.根据权利要求7所述的一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，其特征在于：所述夹紧组件(54)圆周均布设置至少三个并且结构完全一致，所述夹紧组件(54)包括圆槽(541)、拉簧(542)、卡爪部(543)、连接杆(544)，所述圆槽(541)内凹设在筒体(51)的内壁，所述圆槽(541)内壁固定连接拉簧(542)的一端，所述拉簧(542)的另一端固定连接卡爪部(543)的顶端，所述卡爪部(543)转动连接连接杆(544)，所述连接杆(544)的两端分别转动连接筒体(51)的内壁。

9.根据权利要求8所述的一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，其特征在于：所述放置盘(6)的中心开设有圆孔(62)，所述圆孔(62)的一端开设有环形槽(61)，所述卡爪部(543)包括上连杆(5431)、中连杆(5432)、连接孔(5433)、下连杆(5434)、卡块(5435)，所述上连杆(5431)的一端固定连接拉簧(542)，所述上连杆(5431)的另一端固定连接中连杆(5432)，所述上连杆(5431)和中连杆(5432)之间贯穿设有连接孔(5433)，所述连接孔(5433)内转动套接连接杆(544)，所述中连杆(5432)远离上连杆(5431)的一端固定连接下连杆(5434)，所述下连杆(5434)的底部侧壁固定连接卡块(5435)，所述下连杆(5434)抵靠圆孔(62)，所述卡块(5435)卡接环形槽(61)。

10.根据权利要求9所述的一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，其特征在于：所述上连杆(5431)和中连杆(5432)朝向筒体(51)圆心的夹角为钝角，所述中连杆(5432)和下连杆(5434)朝向筒体(51)圆心的夹角大于180度并且夹角处设有圆角，所述中连杆(5432)和下连杆(5434)夹角处的圆角滑动抵靠圆台块(524)的外壁，所述卡块(5435)为三棱柱结构，所述弹簧(522)的弹力大于拉簧(542)的拉力，所述圆台块(524)与中连杆(5432)和下连杆(5434)夹角处之间接触的摩擦力小于拉簧(542)的拉力。

技术总结
本发明公开了一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，包括安装板，安装板的两侧分别开设有若干安装槽口，安装板的一端固定连接支撑筒体的底部，支撑筒体的一侧开设有竖向滑口，竖向滑口的顶部连通有横向滑口，横向滑口开设在支撑筒体的顶部，支撑筒体内活动设有送料组件，送料组件固定连接活动环，活动环滑动套接在支撑筒体外，活动环的一侧外壁固定连接伸缩件的一端，伸缩件的另一端固定连接夹持机构，夹持机构的底部连接有放置盘。本发明提供的送料组件，以升降配合旋转的方式，同时横向滑口和竖向滑口的配合，限制旋转的角度，使装料、送料的位置更加固定且精准，同时可以适用炉口较高的碳化硅长晶炉，无需人工在攀爬操作。

技术研发人员：奚衍罡
受保护的技术使用者：南通罡丰科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15