一种单晶炉炉体保温装置的制作方法

本发明属于单晶炉，具体的说是一种单晶炉炉体保温装置。

背景技术：

1、单晶炉是一种能够在惰性气体环境中，利用石墨加热器将多种晶材料熔化，并且以直拉法生长无错位单晶的装置。

2、单晶炉在工作时，主要利用发热圈为单晶炉内部提供热量，热量不断增高，并且热量会传导至坩埚，会将坩埚内放入的硅料进行熔化，熔化后进行晶体生长，以及冷却成型等操作。

3、在使用单晶炉熔化硅料时，由于单晶炉时常会需要对内部进行冷却，发热圈所产生的热量大多向外排出或者其他方式减少，并且炉内再次升温加热时，发热圈还需要再次耗能产生热量，从而导致许多的热量造成浪费。

4、为此，本发明提供一种单晶炉炉体保温装置。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种单晶炉炉体保温装置，包括单晶炉筒；所述单晶炉筒的底端设置有限位座；所述限位座的底端固接有支撑底座；所述单晶炉筒的顶端设置有单晶炉盖；所述单晶炉盖的顶端安装有阀体；所述阀体的顶端固接有副室；所述单晶炉筒的内部开设有保温腔；所述单晶炉筒的内部靠近保温腔处设置有回收组件，回收组件用于对单晶炉筒内部热量回收；所述单晶炉筒的内部设置有进料组件，进料组件用于输送料物。

3、优选的，所述回收组件包括风筒、风扇架、电机盒和扇叶；所述风筒固接在单晶炉筒的内部，且风筒位于靠近保温腔处；所述风扇架固接在风筒的内部；所述电机盒固接在风扇架的内壁中部，且电机盒内部安装有伺服电机；所述伺服电机的输出端固接有转杆；多个所述扇叶固接在转杆外部。

4、优选的，所述进料组件包括坩埚、连接管头和导流管；所述坩埚固接在单晶炉筒的中心内部；所述连接管头固接在单晶炉筒的外部；所述导流管固接在连接管头的外部，且导流管远离连接管头的一端设置于坩埚的上方。

5、优选的，所述导流管的外部固接有金属筒，且金属筒位于保温腔处；所述单晶炉筒的内部固接有金属板，且金属板与金属筒相连接。

6、优选的，所述风筒的内部固接有过滤网板；所述过滤网板位于风筒的内壁中部。

7、优选的，所述过滤网板的外部螺纹连接有丝杆；所述丝杆的外部螺纹连接有堵块；所述堵块的外部设置有限位组件，限位组件用于堵块限位滑动在丝杆外部；所述风筒的内部固接有拦板，且拦板位于过滤网板与堵块之间；所述转杆的外部设置有对接组件，对接组件用于调节堵块的位置。

8、优选的，所述对接组件包括连接杆、一号圆块、对接块和二号圆块；所述连接杆固接在转杆远离电机盒的一端；所述一号圆块固接在连接杆远离转杆的外部；所述对接块通过电滑块滑动连接在一号圆块的内部；所述二号圆块固接在丝杆靠近一号圆块的一端；所述二号圆块靠近一号圆块的外部开设有对接槽，且对接槽与对接块相对应。

9、优选的，所述限位组件包括滑轨板和连接滑板；所述滑轨板固接在风筒的内部且靠近堵块处；所述连接滑板滑动连接在滑轨板的内壁，且连接滑板远离滑轨板的一端固接堵块外部。

10、优选的，所述连接滑板靠近拦板的一侧固接有挤压块；所述拦板的内部通过弹性件滑动连接有封堵板，封堵板能够被挤压块挤压滑出拦板内部。

11、优选的，所述丝杆的外部固接有转盘；所述转盘的外部固接有刮板，且刮板设置有多个。

12、本发明的有益效果如下：

13、1.本发明所述的一种单晶炉炉体保温装置，通过设置的伺服电机带动多个扇叶正向转动，能够将单晶炉筒中心内部的热量抽取至保温腔内暂存，起到对多余热量回收的作用，热量暂存在保温腔内，能够对单晶炉筒内壁保温，伺服电机带动多个扇叶反向转动，能够将保温腔内暂存的热量回送，起到对余热回收循环使用的效果，利用连接管头配合导流管投料，在投料过程中金属筒将保温腔内热量传导至导流管上，起到对料物预热的作用，并且配合金属板吸热紧贴单晶炉筒内壁，提高对单晶炉筒内壁的保温效果。

14、2.本发明所述的一种单晶炉炉体保温装置，通过设置的过滤网板对抽取的热量过滤，减少杂质氧化物进入保温腔内，利用一号圆块内部电滑块带动对接块对接二号圆块，转杆同步带动丝杆转动，堵块与丝杆螺纹配合靠近拦板，能够实现对多个扇叶抽取的风力调节，并且在堵块平移的过程中，连接滑板滑动在滑轨板的内壁，起到对堵块限位平移的效果，依靠挤压块随连接滑板插入拦板内部，并对封堵板挤压滑动，起到对拦板与堵块之间封堵的作用，依靠转盘配合多个刮板固定在丝杆的外部，多个刮板能够随丝杆转动刮扫过滤网板外壁，保证多个扇叶的热量抽取效果。

技术特征：

1.一种单晶炉炉体保温装置，其特征在于：包括单晶炉筒（1）；所述单晶炉筒（1）的底端设置有限位座（11）；所述限位座（11）的底端固接有支撑底座（12）；所述单晶炉筒（1）的顶端设置有单晶炉盖（13）；所述单晶炉盖（13）的顶端安装有阀体（14）；所述阀体（14）的顶端固接有副室（15）；所述单晶炉筒（1）的内部开设有保温腔（16）；所述单晶炉筒（1）的内部靠近保温腔（16）处设置有回收组件，回收组件用于对单晶炉筒（1）内部热量回收；所述单晶炉筒（1）的内部设置有进料组件，进料组件用于输送料物。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体保温装置，其特征在于：所述回收组件包括风筒（2）、风扇架（21）、电机盒（22）和扇叶（23）；所述风筒（2）固接在单晶炉筒（1）的内部，且风筒（2）位于靠近保温腔（16）处；所述风扇架（21）固接在风筒（2）的内部；所述电机盒（22）固接在风扇架（21）的内壁中部，且电机盒（22）内部安装有伺服电机；所述伺服电机的输出端固接有转杆；多个所述扇叶（23）固接在转杆外部。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体保温装置，其特征在于：所述进料组件包括坩埚（3）、连接管头（31）和导流管（32）；所述坩埚（3）固接在单晶炉筒（1）的中心内部；所述连接管头（31）固接在单晶炉筒（1）的外部；所述导流管（32）固接在连接管头（31）的外部，且导流管（32）远离连接管头（31）的一端设置于坩埚（3）的上方。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉炉体保温装置，其特征在于：所述导流管（32）的外部固接有金属筒（4），且金属筒（4）位于保温腔（16）处；所述单晶炉筒（1）的内部固接有金属板（41），且金属板（41）与金属筒（4）相连接。

5.根据权利要求2所述的一种单晶炉炉体保温装置，其特征在于：所述风筒（2）的内部固接有过滤网板（5）；所述过滤网板（5）位于风筒（2）的内壁中部。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉炉体保温装置，其特征在于：所述过滤网板（5）的外部螺纹连接有丝杆（6）；所述丝杆（6）的外部螺纹连接有堵块（61）；所述堵块（61）的外部设置有限位组件，限位组件用于堵块（61）限位滑动在丝杆（6）外部；所述风筒（2）的内部固接有拦板（62），且拦板（62）位于过滤网板（5）与堵块（61）之间；所述转杆的外部设置有对接组件，对接组件用于调节堵块（61）的位置。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉炉体保温装置，其特征在于：所述对接组件包括连接杆（7）、一号圆块（71）、对接块（72）和二号圆块（73）；所述连接杆（7）固接在转杆远离电机盒（22）的一端；所述一号圆块（71）固接在连接杆（7）远离转杆的外部；所述对接块（72）通过电滑块滑动连接在一号圆块（71）的内部；所述二号圆块（73）固接在丝杆（6）靠近一号圆块（71）的一端；所述二号圆块（73）靠近一号圆块（71）的外部开设有对接槽，且对接槽与对接块（72）相对应。

8.根据权利要求7所述的一种单晶炉炉体保温装置，其特征在于：所述限位组件包括滑轨板（8）和连接滑板（81）；所述滑轨板（8）固接在风筒（2）的内部且靠近堵块（61）处；所述连接滑板（81）滑动连接在滑轨板（8）的内壁，且连接滑板（81）远离滑轨板（8）的一端固接堵块（61）外部。

9.根据权利要求8所述的一种单晶炉炉体保温装置，其特征在于：所述连接滑板（81）靠近拦板（62）的一侧固接有挤压块（9）；所述拦板（62）的内部通过弹性件滑动连接有封堵板（91），封堵板（91）能够被挤压块（9）挤压滑出拦板（62）内部。

10.根据权利要求6所述的一种单晶炉炉体保温装置，其特征在于：所述丝杆（6）的外部固接有转盘（92）；所述转盘（92）的外部固接有刮板（93），且刮板（93）设置有多个。

技术总结
本发明属于单晶炉技术领域，具体的说是一种单晶炉炉体保温装置，包括单晶炉筒；所述单晶炉筒的底端设置有限位座；所述限位座的底端固接有支撑底座；通过设置的伺服电机带动多个扇叶正向转动，能够将单晶炉筒中心内部的热量抽取至保温腔内暂存，起到对多余热量回收的作用，热量暂存在保温腔内，能够对单晶炉筒内壁保温，伺服电机带动多个扇叶反向转动，能够将保温腔内暂存的热量回送，起到对余热回收循环使用的效果，利用连接管头配合导流管投料，在投料过程中金属筒将保温腔内热量传导至导流管上，起到对料物预热的作用，并且配合金属板吸热紧贴单晶炉筒内壁，提高对单晶炉筒内壁的保温效果。

技术研发人员：刘陈亚,蔡学良,杨宝,张怿
受保护的技术使用者：连城凯克斯科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/21